公开(公告)号：CN101013269A

公开(公告)日：2007-08-08

申请号：CN200710008372.9

申请日：2007-01-29

申请人： ASML荷兰有限公司 ,  卡尔蔡司SMT股份公司

发明人： E·R·卢普斯特拉 ,  A·F·P·恩格伦 ,  B·A·J·卢蒂克休斯 ,  M·J·A·鲁宾格 ,  J·M·A·哈詹伯格 ,  L·C·乔里特斯马 ,  J·W·德克勒克 ,  B·格尤帕特 ,  P·沙普 ,  A·A·范比泽科姆 ,  P·F·W·M·曼迪杰斯 ,  F·索格 ,  P·多弗尔

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/70308 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70933

摘要： 一种光刻装置，在其投影系统的光瞳平面中具有更换光学元件的组件。该光学元件可以是光瞳滤光器，并且可以与中间掩模标准规定的物理尺寸一致，例如具有大体上等于5、6或9英寸的侧边。

公开(公告)号：CN101013269B

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN200710008372.9

申请日：2007-01-29

申请人： ASML荷兰有限公司 ,  卡尔蔡司SMT股份公司

发明人： E·R·卢普斯特拉 ,  A·F·P·恩格伦 ,  B·A·J·卢蒂克休斯 ,  M·J·A·鲁宾格 ,  J·M·A·哈詹伯格 ,  L·C·乔里特斯马 ,  J·W·德克勒克 ,  B·格尤帕特 ,  P·沙普 ,  A·A·范比泽科姆 ,  P·F·W·M·曼迪杰斯 ,  F·索格 ,  P·多弗尔

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/70308 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70933

摘要： 一种光刻装置，在其投影系统的光瞳平面中具有更换光学元件的组件。该光学元件可以是光瞳滤光器，并且可以与中间掩模标准规定的物理尺寸一致，例如具有大体上等于5、6或9英寸的侧边。