公开(公告)号：CN102165372A

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：CN200980137614.1

申请日：2009-08-26

Applicant: ASML荷兰有限公司 ,  皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： W·A·索尔 ,  A·M·雅库尼恩 ,  M·J·J·杰克 ,  D·马修 ,  H·J·凯特拉里基 ,  F·C·范登荷尤维尔 ,  P·E·M·库基皮尔斯

IPC: G03F7/20 ,  G02B5/20 ,  G21K1/06

CPC classification number: G03F7/7095 ,  B82Y10/00 ,  G02B5/208 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70575 ,  G21K1/10 ,  G21K2201/061

Abstract: 一种透射光谱纯度滤光片(100)，配置成透射极紫外辐射。光谱纯度滤光片(102F)包括滤光片部分(100)，所述滤光片部分(100)具有配置成透射极紫外辐射并抑制第二类型辐射的透射的多个孔(104)。每个孔(104)通过各向异性蚀刻工艺制造。

公开(公告)号：CN102165372B

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN200980137614.1

申请日：2009-08-26

Applicant: ASML荷兰有限公司 ,  皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： W·A·索尔 ,  A·M·雅库尼恩 ,  M·J·J·杰克 ,  D·马修 ,  H·J·凯特拉里基 ,  F·C·范登荷尤维尔 ,  P·E·M·库基皮尔斯

IPC: G03F7/20 ,  G02B5/20 ,  G21K1/06

CPC classification number: G03F7/7095 ,  B82Y10/00 ,  G02B5/208 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70575 ,  G21K1/10 ,  G21K2201/061

Abstract: 一种透射光谱纯度滤光片(100)，配置成透射极紫外辐射。光谱纯度滤光片(102F)包括滤光片部分(100)，所述滤光片部分(100)具有配置成透射极紫外辐射并抑制第二类型辐射的透射的多个孔(104)。每个孔(104)通过各向异性蚀刻工艺制造。