公开(公告)号：CN108112267A

公开(公告)日：2018-06-01

申请号：CN201680054143.8

申请日：2016-08-23

Applicant: ASML荷兰有限公司 ,  ASML控股股份有限公司

Inventor： A·波洛 ,  S·G·J·马斯杰森 ,  P·A·J·廷尼曼斯 ,  S·D·克斯顿 ,  R·J·哈弗林

IPC: G03F9/00 ,  G02B6/293

Abstract: 一种光刻设备包括被配置用于确定包括周期性结构的对准目标的位置的对准传感器。对准传感器包括解多路复用器(700)以解多路复用多个强度通道(一个示出为在光纤702处的输出)。解多路复用器包括串联设置的多个级以及许多解多路复用部件(706，708a,b，710a-d，712a-h)，每个解多路复用部件可操作用于划分输入辐射束为两个辐射束部分。第一级具有设置用于接收入射辐射束作为输入辐射束的第一解多路复用部件(706)。每个后续级设置使其具有两倍于前一级的解多路复用部件的数目，在第一级之后每个级的每个解多路复用部件接收从前一级的解多路复用部件输出的辐射束部分的一个作为输入。

公开(公告)号：CN108112267B

公开(公告)日：2020-10-02

申请号：CN201680054143.8

申请日：2016-08-23

Applicant: ASML荷兰有限公司 ,  ASML控股股份有限公司

Inventor： A·波洛 ,  S·G·J·马斯杰森 ,  P·A·J·廷尼曼斯 ,  S·D·克斯顿 ,  R·J·哈弗林

IPC: G03F9/00 ,  G02B6/293

Abstract: 一种光刻设备包括被配置用于确定包括周期性结构的对准目标的位置的对准传感器。对准传感器包括解多路复用器(700)以解多路复用多个强度通道(一个示出为在光纤702处的输出)。解多路复用器包括串联设置的多个级以及许多解多路复用部件(706，708a,b，710a‑d，712a‑h)，每个解多路复用部件可操作用于划分输入辐射束为两个辐射束部分。第一级具有设置用于接收入射辐射束作为输入辐射束的第一解多路复用部件(706)。每个后续级设置使其具有两倍于前一级的解多路复用部件的数目，在第一级之后每个级的每个解多路复用部件接收从前一级的解多路复用部件输出的辐射束部分的一个作为输入。

公开(公告)号：CN109313403A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780034762.5

申请日：2017-03-17

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： 梁敬培 ,  陈涛 ,  R·J·哈弗林 ,  I·M·P·阿尔茨 ,  A·朱博尔 ,  J·卡博尼

IPC: G03F9/00 ,  G02F1/365

Abstract: 一种测量装置，包括：锥形光纤，该锥形光纤具有用于接收辐射的输入并且具有用于朝向测量目标提供在光谱上增宽的输出辐射的输出，锥形光纤被配置为在光谱上增宽在输入处接收的辐射；以及检测器系统，被配置为从测量目标接收输出辐射的重定向部分。