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公开(公告)号：CN117690823A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311350609.7
申请日：2016-02-16
申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
摘要： 本发明涉及在微电子和微系统技术领域中用于接合两个衬底的方法与设备。为了使所述衬底的边缘处的接合质量、尤其是接合准确度得以提高，本发明建议：在接合期间使所述接合波受影响。所述方法包括：a)将所述第一衬底和第二衬底固定到相应的第一和第二容纳装置，其中所述第一衬底被固定到所述第一容纳装置的第一容纳面，并且所述第二衬底被固定到所述第二容纳装置的第二容纳面；b)相对于彼此来布置所述第一衬底与第二衬底；c)使所述第一衬底与第二衬底朝彼此接近；d)使所述第一衬底与第二衬底在接合起始点处接触；e)产生从所述接合起始点延伸至所述第一和第二衬底的侧边缘的接合波；f)在所述接合波的走向过程中影响所述接合波，其方式为，通过使用机械致动装置使得第一容纳装置的第一容纳面变形并且因此使得固定在所述第一容纳面上的第一衬底变形。
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公开(公告)号：CN108886015A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780019137.3
申请日：2017-04-04
申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
发明人： A.费屈雷尔
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67115 , H01L21/67092 , H01L21/6835 , H01L2221/68318 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834
摘要： 本发明涉及用于接合两个衬底的方法与装置。
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公开(公告)号：CN108028212B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN201580075099.4
申请日：2015-11-03
申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
发明人： A.费屈雷尔
摘要： 建议了一种用于至少部分溶解临时压接的衬底叠层(2)的连接层(4)的装置(22)，带有如下特征：‑装置(22)具有至少一个环形物(1)，其中，衬底叠层(2)可被放置在至少一个环形物(1)内，‑至少一个环形物(1)具有多个喷嘴(1a)，其中，喷嘴(1a)至少在至少一个环形物(1)的周缘的部分上分布地布置，‑喷嘴(1a)朝向连接层(4)定向，‑装置(22)构造成，使得溶剂可由喷嘴(1a)被喷洒到连接层(4)的边缘区域上。此外建议了一种用于至少部分溶解连接层(4)的方法。
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公开(公告)号：CN108028212A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201580075099.4
申请日：2015-11-03
申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
发明人： A.费屈雷尔
CPC分类号： H01L21/67051 , B26F3/004 , B32B43/006 , H01L21/67092 , H01L21/67757 , H01L21/6836 , H01L2221/68327 , H01L2221/68381
摘要： 建议了一种用于至少部分溶解临时压接的衬底叠层(2)的连接层(4)的装置(22)，带有如下特征：‑装置(22)具有至少一个环形物(1)，其中，衬底叠层(2)可被放置在至少一个环形物(1)内，‑至少一个环形物(1)具有多个喷嘴(1a)，其中，喷嘴(1a)至少在至少一个环形物(1)的周缘的部分上分布地布置，‑喷嘴(1a)朝向连接层(4)定向，‑装置(22)构造成，使得溶剂可由喷嘴(1a)被喷洒到连接层(4)的边缘区域上。此外建议了一种用于至少部分溶解连接层(4)的方法。
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公开(公告)号：CN107210246A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201580072902.9
申请日：2015-10-22
申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
发明人： A.费屈雷尔
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明涉及一种用于利用膜层涂装基体（6）的方法，其特征在于，所述装置具有用于安设热塑性的膜层材料（4）的安设器件（1）和用于使得膜层材料（4）分配在所述基体（6）上以用于构造所述膜层的分配器件。此外，本发明涉及一种对应的装置。
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