公开(公告)号：CN116457916A

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202180073042.6

申请日：2021-02-01

申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

发明人： D·辛纳 ,  T·普拉奇

IPC分类号： H01L21/18

摘要： 本发明涉及基底支架、接合装置、用于基底支架的制造方法以及接合方法。

公开(公告)号：CN115552590A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202080101440.X

申请日：2020-06-29

申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

发明人： D·辛纳 ,  T·瓦根莱特纳 ,  J·M·苏斯 ,  T·普拉奇 ,  J·马林格

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/683

摘要： 提出了一种用于弯曲基底(7)的基底保持器(1',1'',1''')以及一种相应的方法，该基底保持器具有：‑用于固定基底(7)的固定板(3)；‑用于弯曲固定板(3)的弯曲器件(6,6',6'')，其中，固定板(3)如此构造，使得基底(7)的曲率可有针对性地进行调整。

公开(公告)号：CN115398133A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202080100222.4

申请日：2020-06-30

申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

发明人： D·辛纳 ,  F·P·林德纳 ,  T·普拉奇 ,  P·斯塔岑格鲁伯

IPC分类号： F16K11/076 ,  F16K11/085 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/68 ,  G01B11/27 ,  G01B11/26 ,  G03F7/20

摘要： 本发明涉及一种用于对准基板的装置和方法。