公开(公告)号：CN103843107A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201280030689.1

申请日：2012-06-21

申请人： FEI公司

发明人： S.克罗格 ,  A.B.威尔斯 ,  J.B.麦金 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/08 ,  H01J37/10

CPC分类号： H05H1/24 ,  H01J27/16 ,  H01J37/08 ,  H01J37/321 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/31749 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4652

摘要： 一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室和和流体，不主动地对该流体进行泵送，该流体包围等离子体室以便在等离子体室与在接地电势下的附近部件之间提供高压隔离，如导电屏蔽。一个或多个冷却装置通过使用蒸发冷却和热管将来自等离子体室的热量消散到周围环境中来对等离子体室进行冷却。

公开(公告)号：CN103843107B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201280030689.1

申请日：2012-06-21

申请人： FEI 公司

发明人： S.克罗格 ,  A.B.威尔斯 ,  J.B.麦金 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/08 ,  H01J37/10

CPC分类号： H05H1/24 ,  H01J27/16 ,  H01J37/08 ,  H01J37/321 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/31749 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4652

摘要： 一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室和和流体，不主动地对该流体进行泵送，该流体包围等离子体室以便在等离子体室与在接地电势下的附近部件之间提供高压隔离，如导电屏蔽。一个或多个冷却装置通过使用蒸发冷却和热管将来自等离子体室的热量消散到周围环境中来对等离子体室进行冷却。

公开(公告)号：CN103512781A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201310231578.3

申请日：2013-06-09

申请人： FEI公司

发明人： A.B.威尔斯 ,  N.W.帕克 ,  C.D.钱德勒 ,  M.W.乌特劳特

IPC分类号： G01N1/28

CPC分类号： G01N1/32 ,  H01J37/3023 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/31745

摘要： 一种用于在衬底中生成基本上平坦的面的方法和系统，该方法包括：将一个或多个射束引导到衬底的第一表面处以从衬底中的第一位置移除材料，射束从第一表面的法线偏移非零垂落角；在垂直于第一表面的平面内扫动这一个或多个射束以在衬底中研磨出一个或多个初始切口，这些初始切口使基本上垂直于第一表面的第二表面暴露；使衬底围绕轴线旋转非零旋转角，该轴线不同于与第一射束正交或平行于第一射束的轴线；在不改变第一非零垂落角的情况下将第一射束引导到第二表面处，以从衬底中移除另外的材料；以及使这一个或多个射束在第二表面上按图案进行扫描，以在衬底中研磨出一个或多个最终切口。

公开(公告)号：CN103621187B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201280030726.9

申请日：2012-06-21

申请人： FEI公司

发明人： S.克罗格 ,  A.格劳佩拉 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特 ,  A.B.威尔斯 ,  J.B.麦金

IPC分类号： H05H1/00

CPC分类号： H01J27/16 ,  H01J37/08 ,  H01J37/321 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/31749 ,  H05H1/28 ,  H05H1/30 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4652 ,  H05H2001/4682

摘要： 一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括提供改进的电隔离与减少后的电容RF耦合的导电屏蔽以及使等离子体绝缘并且对其进行冷却的介电流体。可以将导电屏蔽封闭在固体介电介质内。可以通过泵使介电流体循环或不可以通过泵使其循环。热管可以用于对介电流体进行冷却。

公开(公告)号：CN103621187A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280030726.9

申请日：2012-06-21

申请人： FEI公司

发明人： S.克罗格 ,  A.格劳佩拉 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特 ,  A.B.威尔斯 ,  J.B.麦金

IPC分类号： H05H1/00

CPC分类号： H01J27/16 ,  H01J37/08 ,  H01J37/321 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/31749 ,  H05H1/28 ,  H05H1/30 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4652 ,  H05H2001/4682

摘要： 一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括提供改进的电隔离与减少后的电容RF耦合的导电屏蔽以及使等离子体绝缘并且对其进行冷却的介电流体。可以将导电屏蔽封闭在固体介电介质内。可以通过泵使介电流体循环或不可以通过泵使其循环。热管可以用于对介电流体进行冷却。