公开(公告)号：CN104224216B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201410247938.3

申请日：2014-06-06

Applicant: FEI 公司

Inventor： U.鲁伊肯 ,  R.肖恩马克斯 ,  J.A.M.安托纽斯

IPC: A61B6/03

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/046 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及用于电子断层成像术的改进的方法。电子断层成像术是耗时的过程，因为必须获取典型地在50‑100个图像之间的大量的图像以形成一个断层成像。本发明教导了通过连续而非逐步地倾斜样本来缩短更快得多地获取该量的图像所需的时间的方法。由此消除了减少各步骤之间的振动所需的时间。

公开(公告)号：CN104224216A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410247938.3

申请日：2014-06-06

Applicant: FEI公司

Inventor： U.鲁伊肯 ,  R.肖恩马克斯 ,  J.A.M.安托纽斯

IPC: A61B6/03

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/046 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及用于电子断层成像术的改进的方法。电子断层成像术是耗时的过程，因为必须获取典型地在50-100个图像之间的大量的图像以形成一个断层成像。本发明教导了通过连续而非逐步地倾斜样本来缩短更快得多地获取该量的图像所需的时间的方法。由此消除了减少各步骤之间的振动所需的时间。