公开(公告)号：CN103681186A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310405430.7

申请日：2013-09-09

申请人： FEI公司

发明人： P.斯塔 ,  P.赫拉文卡 ,  L.特马

IPC分类号： H01J37/22

CPC分类号： H01J37/14 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1035 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/248

摘要： 一种用于扫描电子显微镜的复合物镜，所述透镜包括由第一透镜线圈激励的传统的磁透镜、由第二透镜线圈激励的浸没磁透镜以及由样品和静电透镜电极之间的电压差激励的浸没静电透镜和静电透镜电极。对于静电浸没透镜的预定激励，利用第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励的若干组合，电子射束可在样品上聚焦。电子检测器定位成靠近样品处以检测反向散射电子（BSE）。发明人发现当例如通过将检测器形成为像素显示的检测器或显示环（205，206，207）的检测器，检测器能够区分靠近轴冲击检测器的BSE（202）和更远离轴冲击检测器的BSE（204）时，可获得更多BSE的信息。发明人还发现，通过调谐第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励比率，到BSE冲击检测器的轴的距离可改变，因此复合透镜可被制成用作能量可选择的检测器。

公开(公告)号：CN105588644A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201510768758.4

申请日：2015-11-12

申请人： FEI公司

发明人： J.S.法伯 ,  L.特马 ,  T.布内特 ,  L.诺瓦克

IPC分类号： G01J5/02 ,  H01J37/26

摘要： 本发明涉及一种使用带电粒子显微镜的方法，带电粒子显微镜被装配用于利用带电粒子（200）的初级束流检查安装在样品支持器（101）上的样品（100），带电粒子显微镜配备有用于检测响应于利用初级束流辐照样品而从样品发出的次级粒子的固态检测器（202），固态检测器在样品的直接光学视图中，方法包括在具有快速热学响应时间的加热器上提供样品，其特征在于方法包括使用固态检测器对样品和/或样品支持器的温度的非接触式测量。加热器（例如MEMS加热器）的加热可以是由激光器导致的非接触式加热、微波加热、感应或电子束流加热，或者可以由金属化加热轨迹导致。