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公开(公告)号：CN106796861A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580030835.4
申请日：2015-04-14
申请人： 加坦公司
发明人： 亚历山大·约瑟夫·古本斯 , 保罗·穆尼 , 马修·兰特
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/26
CPC分类号： G01T1/2018 , H01J37/244 , H01J2237/2441 , H01J2237/2443 , H01J2237/2446 , H01J2237/24485
摘要： 本发明公开了布置在一个检测器中的多个电子能量转换机构的混合布置方式，从而能以下列方式从两个能量转换器1002,1001中获取电子图像，即，图像的选定高光照部分能通过间接耦合1003的闪烁体检测器1002成像，而检测器1001的高敏感性/直接电子部分获取的其余图像无需重新调整光束位置或机械定位检测器部分。本发明还公开了使图像各像素的线性和计数处理之间的动态或同时切换机构，因此无需严格限制计数量率即可线性获取高光照区域，并可通过计数获取低光照区域，而切换点由信号质量在线性模式和计数模式之间突变的量率确定。
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公开(公告)号：CN103681186B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201310405430.7
申请日：2013-09-09
IPC分类号： H01J37/22
CPC分类号： H01J37/14 , H01J37/145 , H01J37/28 , H01J2237/1035 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/248
摘要： 一种用于扫描电子显微镜的复合物镜，所述透镜包括由第一透镜线圈激励的传统的磁透镜、由第二透镜线圈激励的浸没磁透镜以及由样品和静电透镜电极之间的电压差激励的浸没静电透镜和静电透镜电极。对于静电浸没透镜的预定激励，利用第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励的若干组合，电子射束可在样品上聚焦。电子检测器定位成靠近样品处以检测反向散射电子BSE）。发明人发现当例如通过将检测器形成为像素显示的检测器或显示环（205，206，207）的检测器，检测器能够区分靠近轴冲击检测器的BSE202）和更远离轴冲击检测器的BSE（204）时，可获得更多BSE的信息。发明人还发现，通过调谐第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励比率，到BSE冲击检测器的轴的距离可改变，因此复合透镜可被制成用作能量可选择的检测器。
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公开(公告)号：CN103681189A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310414456.8
申请日：2013-09-12
申请人： FEI公司
CPC分类号： G01N23/046 , G01N23/2251 , G01N2223/419 , G06T11/005 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/226 , H01J2237/24485 , H01J2237/24585 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802 , H01J2237/2807
摘要： 一种执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法，包括下面的步骤：提供带电粒子束；在能够相对于所述束被倾斜的样本夹持器上提供所述样本；导向所述束通过所述样本并且以便在图像检测器处形成所述样本的图像；在第一系列的样本倾斜角的每一个处重复此过程以便获得对应的图像集合；数学地组合来自所述集合的图像以便构造合成图像，所述方法包括下面的步骤：选择第二系列的样本倾斜角；在所述第二系列的样本倾斜角的每一个处，使用频谱检测器来生成所述样本的频谱图，从而获得频谱图的集合；分析所述频谱图以得到与所述样本有关的合成数据；在构造所述合成图像中采用所述合成数据，所述频谱图例如可以使用从包括EDX、EELS、EFTEM及其组合的组中选择的技术而被获得。
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公开(公告)号：CN103681189B
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201310414456.8
申请日：2013-09-12
CPC分类号： G01N23/046 , G01N23/2251 , G01N2223/419 , G06T11/005 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/226 , H01J2237/24485 , H01J2237/24585 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802 , H01J2237/2807
摘要： 一种执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法，包括下面的步骤：–提供带电粒子束；–在能够相对于所述束被倾斜的样本夹持器上提供所述样本；–导向所述束通过所述样本并且以便在图像检测器处形成所述样本的图像；–在第一系列的样本倾斜角的每一个处重复此过程以便获得对应的图像集合；–数学地组合来自所述集合的图像以便构造合成图像，所述方法包括下面的步骤：–选择第二系列的样本倾斜角；–在所述第二系列的样本倾斜角的每一个处，使用频谱检测器来生成所述样本的频谱图，从而获得频谱图的集合；–分析所述频谱图以得到与所述样本有关的合成数据；–在构造所述合成图像中采用所述合成数据，所述频谱图例如可以使用从包括EDX、EELS、EFTEM及其组合的组中选择的技术而被获得。
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公开(公告)号：CN103779159B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201310506512.0
申请日：2013-10-24
IPC分类号： H01J37/12
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/12 , H01J2237/1501 , H01J2237/24485 , H01J2237/2449 , H01J2237/24514
摘要： 一种减速场分析器使用带电粒子束系统的现有部件，消除了对插入单独的减速场分析器装置的需要。使用现有柱的部件减少了分析束所需的时间。使用现有柱的成像能力便于束与分析器的对准。
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公开(公告)号：CN102384922B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201110246288.7
申请日：2011-08-25
申请人： FEI公司
发明人： U.吕肯 , F.J.P.舒尔曼斯 , C.S.库伊曼
IPC分类号： G01N23/08
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/26 , H01J2237/05 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802 , H01J2237/2817
摘要： 本发明涉及一种用于透射电子显微镜的检测器系统，其包括用于记录图样的第一检测器和用于记录所述图样特征的位置的第二检测器。第二检测器优选地是位置灵敏检测器，其提供可以被用作反馈以便稳定所述图样在第一检测器上的位置的精确且快速的位置信息。在一个实施例中，第一检测器检测电子能量损失电子谱，并且位于第一检测器后方并检测穿过第一检测器的电子的第二检测器检测零损失峰的位置并且调节电子路径，以便稳定所述谱在第一检测器上的位置。
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公开(公告)号：CN101499433A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200810174800.X
申请日：2008-11-05
申请人： 以色列商·应用材料以色列公司
发明人： 尤金·T·布洛克
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/265 , G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2831 , G01R31/307 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/24485 , H01J2237/24564 , H01J2237/24592
摘要： 一种用于电测试半导体晶片的系统，该系统包括(a)至少一个带电粒子束聚焦影响组件和(b)适于收集从晶片散射的带电粒子的至少一个检测器；其中该系统适于用离焦带电粒子束扫描样品的第一区域以便影响第一区域的充电，用聚焦带电粒子束扫描第一区域的至少一部分并检测从该至少一部分散射的电子。该系统在离焦带电粒子束保持影响第一区域的同时，扫描该至少一部分。一种用于电测试半导体晶片的方法，该方法包括用离焦带电粒子束扫描样品的第一区域以便影响第一区域的充电；以及在检测从第一区域的至少一部分散射的电子的同时，用聚焦带电粒子束扫描该至少一部分，在由离焦带电粒子束引起的充电保持影响第一区域的同时，扫描该至少一部分。
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公开(公告)号：CN105388173A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510644709.X
申请日：2015-08-25
申请人： FEI公司
IPC分类号： G01N23/203
CPC分类号： G01N23/203 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J2237/2442 , H01J2237/2446 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/24495 , H01J2237/24585 , H01J2237/2555 , H01J2237/31745
摘要： 本发明涉及获取EBSP图样的方法。本发明涉及一种获取带电粒子设备中的样品(126)的能量背散射图样(EBSP)图像的方法，所述样品显示出一个平坦表面，所述带电粒子设备被装配有用于产生精细聚焦的电子束的电子镜筒(110)、用于检测EBSP图样的位敏检测器(128)以及用于保持并定位所述样品的样品支架(124)，所述方法包括步骤：相对于所述电子束定位所述样品，将所述电子束引导至所述样品上的撞击点，从而导致背散射电子辐照所述检测器，并且当所述电子束保持静止时从所述检测器获取信号，其特征在于：所述检测器被装配成选择性地检测具有高于预定阈值的能量的电子，并且具有高于所述阈值的能量的电子的信号被用于形成EBSP图像。
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公开(公告)号：CN102549704B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201080043248.6
申请日：2010-08-31
申请人： 迪特马尔·丰内曼
发明人： 迪特马尔·丰内曼
IPC分类号： H01J37/05
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/252 , H01J2237/053 , H01J2237/0535 , H01J2237/24485
摘要： 本发明涉及带电粒子影像能量过滤器，其具有带入口平面和出口平面的环状能量分析器，优选地具有半球状分析器。为了提供影像能量过滤器以及具有这样的影像能量过滤器的分光计，其具有更高水平的位置和角度分辨率，且可以更大的接受角度操作，根据本发明提出：提供用于带电粒子的镜子部件，且其被如此设置以使通过出口平面离开环状能量分析器的带电粒子由该镜子部件被反射回该环状能量分析器，从而该带电粒子又一次在相反进行方向穿过环状能量分析器。
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公开(公告)号：CN103681186A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310405430.7
申请日：2013-09-09
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/22
CPC分类号： H01J37/14 , H01J37/145 , H01J37/28 , H01J2237/1035 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/248
摘要： 一种用于扫描电子显微镜的复合物镜，所述透镜包括由第一透镜线圈激励的传统的磁透镜、由第二透镜线圈激励的浸没磁透镜以及由样品和静电透镜电极之间的电压差激励的浸没静电透镜和静电透镜电极。对于静电浸没透镜的预定激励，利用第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励的若干组合，电子射束可在样品上聚焦。电子检测器定位成靠近样品处以检测反向散射电子（BSE）。发明人发现当例如通过将检测器形成为像素显示的检测器或显示环（205，206，207）的检测器，检测器能够区分靠近轴冲击检测器的BSE（202）和更远离轴冲击检测器的BSE（204）时，可获得更多BSE的信息。发明人还发现，通过调谐第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励比率，到BSE冲击检测器的轴的距离可改变，因此复合透镜可被制成用作能量可选择的检测器。
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