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公开(公告)号：CN104241066A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410245642.8
申请日：2014-06-05
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/09 , H01J37/3005 , H01J2237/12 , H01J2237/20207
摘要： 本发明公开了一种对带电粒子设备中的样品成像的方法。本发明涉及配备有离子束柱(102)和电子束柱(101)的双束设备，电子束柱包含静电浸没透镜(116)。当倾斜样品(104)时，静电浸没场失真并且失去绕电子光轴的对称。结果倾斜引入有害影响，诸如横向色像差和束位移。另外在样品的非倾斜位置中检测二次电子或后向散射电子的柱内检测器(141)将在当倾斜样品时归因于失去浸没场对称而表现出这些电子的混合。本发明示出如何通过关于最靠近样品的接地电极对平台进行偏置来消除或至少减少这些缺点。
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公开(公告)号：CN104241066B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410245642.8
申请日：2014-06-05
申请人： FEI 公司
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/09 , H01J37/3005 , H01J2237/12 , H01J2237/20207
摘要： 公开了一种对带电粒子设备中的样品成像的方法。本发明涉及配备有离子束柱(102)和电子束柱(101)的双束设备，电子束柱包含静电浸没透镜(116)。当倾斜样品(104)时，静电浸没场失真并且失去绕电子光轴的对称。结果倾斜引入有害影响，诸如横向色像差和束位移。另外在样品的非倾斜位置中检测二次电子或后向散射电子的柱内检测器(141)将在当倾斜样品时归因于失去浸没场对称而表现出这些电子的混合。本发明示出如何通过关于最靠近样品的接地电极对平台进行偏置来消除或至少减少这些缺点。
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公开(公告)号：CN103681186A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310405430.7
申请日：2013-09-09
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/22
CPC分类号： H01J37/14 , H01J37/145 , H01J37/28 , H01J2237/1035 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/248
摘要： 一种用于扫描电子显微镜的复合物镜，所述透镜包括由第一透镜线圈激励的传统的磁透镜、由第二透镜线圈激励的浸没磁透镜以及由样品和静电透镜电极之间的电压差激励的浸没静电透镜和静电透镜电极。对于静电浸没透镜的预定激励，利用第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励的若干组合，电子射束可在样品上聚焦。电子检测器定位成靠近样品处以检测反向散射电子（BSE）。发明人发现当例如通过将检测器形成为像素显示的检测器或显示环（205，206，207）的检测器，检测器能够区分靠近轴冲击检测器的BSE（202）和更远离轴冲击检测器的BSE（204）时，可获得更多BSE的信息。发明人还发现，通过调谐第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励比率，到BSE冲击检测器的轴的距离可改变，因此复合透镜可被制成用作能量可选择的检测器。
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