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公开(公告)号：CN1971836A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610171931.3
申请日：2006-11-02
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/26 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明描述了在诸如SEM或TEM这些粒子透镜中用来校正色差的校正器。为了降低对这种校正器的电源稳定性的要求，粒子射束通过该校正器所具有的能量低于粒子射束通过被校正的透镜所具有的能量。
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