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发明公开
用于显微镜的改进的检测器审中-公开

公开(公告)号：CN118280797A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202311847483.4

申请日：2023-12-29

申请人： FEI 公司

发明人： L·梅勒 , G·N·A·范维恩 , P·C·蒂梅杰

IPC分类号： H01J37/244

摘要： 本文描述了用于显微镜的改进的检测器。在一个方面，一种装置可以包括：以阵列布置的多个电子单元；多个像素，该多个像素中的每个像素耦合到多个电子单元中的相关联的电子单元，其中多个像素的第一像素子集由第一材料形成，并且其中多个像素的第二像素子集由第二材料形成，第二材料不同于第一材料；和多个电连接件，该多个电连接件设置在多个电子单元与多个像素之间，其中每个电连接件将相应的电子单元与相关联的像素连接。