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公开(公告)号：CN102049231B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201010521909.3
申请日：2010-10-26
IPC分类号： B01J19/00
CPC分类号： B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00824 , B01J2219/00831 , B01J2219/00833 , B01J2219/0086 , B01J2219/00905 , B01J2219/0097 , B01L3/502761 , B01L7/54 , B01L2200/0668 , B01L2300/0822 , B01L2400/0415 , B01L2400/0439 , B01L2400/0442 , B01L2400/0487 , G01N2021/058 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2004 , Y10T436/143333
摘要： 用于观测流体中的颗粒的微反应器，特别用于观测流体中的小颗粒、细胞、细菌、病毒或蛋白质分子。微反应器具有形成在两层(102、104)之间的第一通道(106)以容纳流体，第一通道包括入口(112)和出口(114)，这两层隔开第一距离。同样的第二通道(108)邻近第一通道设置，第二通道具有入口(118)和出口(116)。第一通道和第二通道通过间隙连接，在间隙处至少一个层具有窗口(120)，该窗口对于检查方法为可透过的，在窗口处这两层隔开非常小的距离例如1微米或更小。
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公开(公告)号：CN105384142A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510644710.2
申请日：2015-08-25
申请人： FEI公司
发明人： G·N·A·范维恩 , C·S·库伊曼 , L·R·S·哈斯佩斯拉格
IPC分类号： B81B7/02
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/2441 , H01J2237/2447 , H01J2237/2802 , H01L27/1461 , H01L27/14643 , H01L31/105
摘要： 本发明涉及改进的辐射传感器及其在带电粒子显微镜中的应用。一种包括层状结构的像素化CMOS辐射传感器(例如在4T钉扎光电二极管器件中)，该层状结构包含：-p型Si基底；-所述基底内的n掺杂区域；-p+掺杂钉扎层，覆盖所述n掺杂区域；-SiOx层，覆盖所述p+掺杂钉扎层并且用作金属前介质层或者金属间介质层；其中硼薄膜沉积在所述p+掺杂钉扎层和所述SiOx层之间。这样的(纯)硼薄膜的应用用于将漏电流降低一个或者多个数量级。甚至相对薄的硼薄膜(例如，厚度为1-2nm)能够产生这种效果。
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公开(公告)号：CN102049231A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010521909.3
申请日：2010-10-26
IPC分类号： B01J19/00
CPC分类号： B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00824 , B01J2219/00831 , B01J2219/00833 , B01J2219/0086 , B01J2219/00905 , B01J2219/0097 , B01L3/502761 , B01L7/54 , B01L2200/0668 , B01L2300/0822 , B01L2400/0415 , B01L2400/0439 , B01L2400/0442 , B01L2400/0487 , G01N2021/058 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2004 , Y10T436/143333
摘要： 用于观测流体中的颗粒的微反应器，特别用于观测流体中的小颗粒、细胞、细菌、病毒或蛋白质分子。微反应器具有形成在两层(102、104)之间的第一通道(106)以容纳流体，第一通道包括入口(112)和出口(114)，这两层隔开第一距离。同样的第二通道(108)邻近第一通道设置，第二通道具有入口(118)和出口(116)。第一通道和第二通道通过间隙连接，在间隙处至少一个层具有窗口(120)，该窗口对于检查方法为可透过的，在窗口处这两层隔开非常小的距离例如1微米或更小。
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公开(公告)号：CN118280797A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202311847483.4
申请日：2023-12-29
申请人： FEI 公司
IPC分类号： H01J37/244
摘要： 本文描述了用于显微镜的改进的检测器。在一个方面，一种装置可以包括：以阵列布置的多个电子单元；多个像素，该多个像素中的每个像素耦合到多个电子单元中的相关联的电子单元，其中多个像素的第一像素子集由第一材料形成，并且其中多个像素的第二像素子集由第二材料形成，第二材料不同于第一材料；和多个电连接件，该多个电连接件设置在多个电子单元与多个像素之间，其中每个电连接件将相应的电子单元与相关联的像素连接。
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公开(公告)号：CN108447758A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810146111.1
申请日：2018-02-12
申请人： FEI公司
发明人： A·穆罕默迪-盖达里 , L·米尔 , P·C·蒂默杰 , G·N·A·范维恩 , H·N·斯林格兰
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
摘要： 本发明涉及一种操作带电粒子显微镜的方法，包括：-在样本架上设置样本；-使用源来产生受束流电流波动影响的带电粒子束；-使用位于所述源和样本架之间的电子束电流传感器来拦截一部分电子束，并且产生与电子束的拦截部分的电流成比例的拦截信号，所述电子束电流传感器包括布置成使具有相关探针电流的电子束探针穿过的孔；-在样本上扫描所述探针，从而以样本电流照射样本，其中停留时间与样本上的每个扫描位置相关联；-使用检测器检测响应于所述探针的照射而从样本放射的辐射，并且产生相关联的检测器信号；-使用所述拦截信号作为补偿器的输入，以抑制所述检测器信号中所述电流波动的影响；其中：-电子束电流传感器配置为具有朝向源定向的传感层的半导体器件，其中：■电子束的所述拦截部分的每个带电粒子在所述传感层中产生电子/空穴对；■产生的电子被吸引到半导体器件的阳极；■产生的空穴被吸引到半导体器件的阴极；从而产生所述拦截信号。
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