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发明公开
组织均匀的高熔点金属板及其制造方法无效

公开(公告)号：CN1789476A

公开(公告)日：2006-06-21

申请号：CN200510128891.X

申请日：2002-02-20

申请人： H.C.施塔克公司

发明人： P·R·杰普森 , H·乌伦胡特 , P·库马尔

IPC分类号： C22F1/18

CPC分类号： C23C14/3414 , C22C27/02 , C22F1/18

摘要： 本发明提供一种高熔点金属板，它包括厚度、中心和边缘，其中所述高熔点金属板具有{100}和{111}晶面取向的晶粒以固定比例混合。本发明也涉及该金属板的制造方法，以及该金属板作为溅射靶的应用。该均匀组织是(100)和(111)取向的两种晶粒基本固定比例的混合，为控制薄膜厚度提供了一个更可预知的溅射速度，从而改善溅射效果。