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公开(公告)号：CN110662644B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN201780091229.2
申请日：2017-08-11
申请人： HRL实验室有限责任公司
IPC分类号： B29C64/286 , B29C64/129 , G03F7/20 , B33Y40/00 , B33Y30/00
摘要： 本申请提供一种用于自底向上的立体光刻装置的孔系统，所述孔系统包括具有下部开口的储液器、孔和边界密封件，所述孔包括定位在储液器内并覆盖下部开口的柔性隔膜，所述边界密封件包括围绕柔性隔膜的周边定位，所述边界密封件包括一个或多个边界密封部件，并且抵靠储液器固定柔性隔膜的周边。柔性隔膜由对立体光刻装置中使用的液体树脂以及由该装置制造的固化的光聚合物树脂部件具有低亲和性的材料形成。另外，当将固化的树脂部件从孔中拉出时，柔性隔膜能够变形，因此使得在固化的树脂和孔之间的界面处发生较低能量的混合模式粘合破坏，并且降低了对固化的光聚合物部件的内聚破坏的机会。
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公开(公告)号：CN107074525B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201580056506.7
申请日：2015-08-17
申请人： HRL实验室有限责任公司
摘要： 一种用于形成较大厚度的微晶结构的系统和方法。在一个实施例中，光单体树脂被存放在具有透明底部的模具中，使用脱模剂涂覆该透明底部的内表面。基板被放置在于光单体树脂的顶面接触的位置。使用一个或多个准直光源从下方穿过光掩膜照射光单体，以形成聚合物波导，向上延伸到基板，形成与基板接触的微晶结构。形成微晶结构的层之后，使用平移‑旋转系统提升基板，向模具中添加外加的光单体树脂，再次穿过光掩膜照射该光单体树脂以形成微晶结构的附加层。多次重复该过程以形成堆叠微晶结构。
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公开(公告)号：CN105190220B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201480013119.0
申请日：2014-03-03
申请人： HRL实验室有限责任公司
CPC分类号： F16F7/121 , B32B3/12 , B32B5/18 , B32B9/005 , B32B9/04 , B32B15/04 , B32B15/18 , B32B15/20 , B32B27/302 , B32B27/32 , B32B27/34 , B32B27/365 , B32B2307/558 , B32B2307/718 , B32B2571/00 , B32B2571/02 , B32B2605/00 , B60N3/048 , F41H5/007 , F41H5/02 , F41H7/042
摘要： 本发明公开了压缩加载时具有改进的能量吸收性能的结构化材料。在多个实施例中，这种材料由微桁架结构形成，该微桁架结构由在第一表面和第二表面之间的空间中互相贯通的管子构成。对于施加到该两个表面的压缩载荷，这些结构的应力‑应变响应通过将部分而不是全部管子延伸到两个表面、调节该结构中的重复晶胞的层数、将节点布置成从沿着正交于表面的线的对齐偏移或者包括多个联锁的微桁架结构制造。
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公开(公告)号：CN110662644A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201780091229.2
申请日：2017-08-11
申请人： HRL实验室有限责任公司
IPC分类号： B29C64/286 , B29C64/129 , G03F7/20 , B33Y40/00 , B33Y30/00
摘要： 本申请提供一种用于自底向上的立体光刻装置的孔系统，所述孔系统包括具有下部开口的储液器、孔和边界密封件，所述孔包括定位在储液器内并覆盖下部开口的柔性隔膜，所述边界密封件包括围绕柔性隔膜的周边定位，所述边界密封件包括一个或多个边界密封部件，并且抵靠储液器固定柔性隔膜的周边。柔性隔膜由对立体光刻装置中使用的液体树脂以及由该装置制造的固化的光聚合物树脂部件具有低亲和性的材料形成。另外，当将固化的树脂部件从孔中拉出时，柔性隔膜能够变形，因此使得在固化的树脂和孔之间的界面处发生较低能量的混合模式粘合破坏，并且降低了对固化的光聚合物部件的内聚破坏的机会。
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公开(公告)号：CN106029952B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201480075928.4
申请日：2014-12-18
申请人： HRL实验室有限责任公司
摘要： 本发明公开了制造具有至少一个镀区域和至少一个未镀区域的结构的方法。该方法包括在具有接受金属镀的第一区域和不接受金属镀的第二区域的聚合物结构上镀金属。第一区域可以包括完全固化的聚合物光波导件，第二区域可以包括部分固化的聚合物光波导件。第一区域可以包括第一聚合物组分，第二区域可以包括不同于第一聚合物组分的第二聚合物组分。
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公开(公告)号：CN107074525A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580056506.7
申请日：2015-08-17
申请人： HRL实验室有限责任公司
CPC分类号： G02B6/1225 , B29C64/129 , B29C64/286 , B29K2096/00 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y80/00 , G02B1/002 , G02B6/138 , G02B2006/12173 , G03F7/0037 , G03F7/2012 , G03F7/70416
摘要： 一种用于形成较大厚度的微晶结构的系统和方法。在一个实施例中，光单体树脂被存放在具有透明底部的模具中，使用脱模剂涂覆该透明底部的内表面。基板被放置在于光单体树脂的顶面接触的位置。使用一个或多个准直光源从下方穿过光掩膜照射光单体，以形成聚合物波导，向上延伸到基板，形成与基板接触的微晶结构。形成微晶结构的层之后，使用平移‑旋转系统提升基板，向模具中添加外加的光单体树脂，再次穿过光掩膜照射该光单体树脂以形成微晶结构的附加层。多次重复该过程以形成堆叠微晶结构。
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公开(公告)号：CN106029952A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201480075928.4
申请日：2014-12-18
申请人： HRL实验室有限责任公司
CPC分类号： G02B1/12 , G02B1/14 , G02B6/136 , G02B6/138 , Y10T428/24149
摘要： 本发明公开了制造具有至少一个镀区域和至少一个未镀区域的结构的方法。该方法包括在具有接受金属镀的第一区域和不接受金属镀的第二区域的聚合物结构上镀金属。第一区域可以包括完全固化的聚合物光波导件，第二区域可以包括部分固化的聚合物光波导件。第一区域可以包括第一聚合物组分，第二区域可以包括不同于第一聚合物组分的第二聚合物组分。
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公开(公告)号：CN105190220A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480013119.0
申请日：2014-03-03
申请人： HRL实验室有限责任公司
CPC分类号： F16F7/121 , B32B3/12 , B32B5/18 , B32B9/005 , B32B9/04 , B32B15/04 , B32B15/18 , B32B15/20 , B32B27/302 , B32B27/32 , B32B27/34 , B32B27/365 , B32B2307/558 , B32B2307/718 , B32B2571/00 , B32B2571/02 , B32B2605/00 , B60N3/048 , F41H5/007 , F41H5/02 , F41H7/042
摘要： 本发明公开了压缩加载时具有改进的能量吸收性能的结构化材料。在多个实施例中，这种材料由微桁架结构形成，该微桁架结构由在第一表面和第二表面之间的空间中互相贯通的管子构成。对于施加到该两个表面的压缩载荷，这些结构的应力-应变响应通过将部分而不是全部管子延伸到两个表面、调节该结构中的重复晶胞的层数、将节点布置成从沿着正交于表面的线的对齐偏移或者包括多个联锁的微桁架结构制造。
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