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公开(公告)号：CN111065759A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201880058227.8
申请日：2018-07-31
申请人： IPG光子公司
IPC分类号： C23C14/58 , B23K26/082 , C23C16/56 , B23K26/352 , B23K26/08 , H01S3/10
摘要： 一种对沉积在基底上的薄膜进行光纤激光加工的方法包括：提供来自至少一个光纤激光器的激光束，该激光束通过光束成形单元被引导到薄膜上。光束成形光学器件被配置成将激光束成形为线光束，该线光束照射薄膜表面上的第一照射薄膜区域Ab，其中照射薄膜区域Ab是薄膜区域Af的一部分。通过在连续的照射之间使光束成形光学器件和膜在第一方向上以距离dy相对彼此连续移位，在膜表面上形成一系列均匀的照射薄膜区域Ab，由此限定第一细长列。此后，光束成形光学器件和膜在横向于第一方向的第二方向上以距离dx彼此相关地移位，距离dx小于照射膜区域Ab的长度。通过执行用于形成各个列的步骤，细长列彼此交叠，从而覆盖期望的薄膜区域Af。选择距离dx和dy，使得膜区域Af的每个位置在累积的预定持续时间内曝光于成形的激光束。
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公开(公告)号：CN111133639B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201880060545.8
申请日：2018-07-31
申请人： IPG光子公司
IPC分类号： H01S3/10 , H01L21/268
摘要： 一种表面处理方法和装置包括：操作准连续波光纤激光器，并对激光光束进行预扫描成形，以使瞬时斑点光束具有预定的几何尺寸、强度分布和功率；以最优角速度和角范围操作扫描器，以将预扫描光束分成朝着正被加工的表面偏转的多个子光束；引导子光束通过后扫描光学组件，以提供具有预定几何尺寸、功率、以及角速度和范围的斑点光束，选择所述预定几何尺寸、功率、以及角速度和范围的斑点光束以使瞬时斑点光束在扫描方向上以期望扫描速度拖曳期望长度，这允许将处理过的表面曝光预定的曝光持续时间，并具有预定的注量分布，从而为处理过的表面提供与准分子激光器或突发模式光纤激光器加工过的表面相当的质量。
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公开(公告)号：CN111133639A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201880060545.8
申请日：2018-07-31
申请人： IPG光子公司
IPC分类号： H01S3/10 , H01L21/268
摘要： 一种表面处理方法和装置包括：操作准连续波光纤激光器，并对激光光束进行预扫描成形，以使瞬时斑点光束具有预定的几何尺寸、强度分布和功率；以最优角速度和角范围操作扫描器，以将预扫描光束分成朝着正被加工的表面偏转的多个子光束；引导子光束通过后扫描光学组件，以提供具有预定几何尺寸、功率、以及角速度和范围的斑点光束，选择所述预定几何尺寸、功率、以及角速度和范围的斑点光束以使瞬时斑点光束在扫描方向上以期望扫描速度拖曳期望长度，这允许将处理过的表面曝光预定的曝光持续时间，并具有预定的注量分布，从而为处理过的表面提供与准分子激光器或突发模式光纤激光器加工过的表面相当的质量。
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公开(公告)号：CN111065759B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN201880058227.8
申请日：2018-07-31
申请人： IPG光子公司
IPC分类号： C23C14/58 , B23K26/082 , C23C16/56 , B23K26/352 , B23K26/08 , H01S3/10
摘要： 一种对沉积在基底上的薄膜进行光纤激光加工的方法包括：提供来自至少一个光纤激光器的激光束，该激光束通过光束成形单元被引导到薄膜上。光束成形光学器件被配置成将激光束成形为线光束，该线光束照射薄膜表面上的第一照射薄膜区域Ab，其中照射薄膜区域Ab是薄膜区域Af的一部分。通过在连续的照射之间使光束成形光学器件和膜在第一方向上以距离dy相对彼此连续移位，在膜表面上形成一系列均匀的照射薄膜区域Ab，由此限定第一细长列。此后，光束成形光学器件和膜在横向于第一方向的第二方向上以距离dx彼此相关地移位，距离dx小于照射膜区域Ab的长度。通过执行用于形成各个列的步骤，细长列彼此交叠，从而覆盖期望的薄膜区域Af。选择距离dx和dy，使得膜区域Af的每个位置在累积的预定持续时间内曝光于成形的激光束。
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公开(公告)号：CN109154562A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201780028544.0
申请日：2017-05-08
申请人： IPG光子公司
摘要： 一种测量具有晶体结构的激光退火薄膜的形态特性的方法，所述晶体结构由至少一行并排定位的晶粒限定，每个晶粒具有长度(Lg)和宽度(Wg)，所述长度对于所述晶粒一致的，其中，行的长度(Lr)对应于晶粒的累积宽度Wg并产生各个衍射级次的衍射，方法包括：产生单色光；修整单色光以在0°(入射)和掠射角之间的范围内变化的角度进入到激光退火薄膜的表面上；测量从表面衍射的单色光的性质的变化，从而测量激光退火薄膜沿着一行的长度(Lr)的形态特性。
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