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公开(公告)号：CN111929963B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202010834509.1
申请日：2015-09-16
申请人： IPG光子公司
发明人： 曼纽尔·莱昂纳多 , 伊格尔·山马尔特瑟夫 , 阿列克谢·阿夫多欣 , 格雷格里·基顿
摘要： 一种宽线红光发生器配置有单模(SM)脉冲型镱(“Yb”)光纤激光泵浦源，所述泵浦源输出选自1030‑1120nm波长范围的泵浦波长下的基模(“FM”)泵浦光。所公开的发生器还包括接合到Yb光纤激光器泵浦源的输出端的SM光纤拉曼转换器。拉曼转换器引起泵浦光的“n”阶频率斯托克斯移位，以输出1220和1300nm波长范围内的拉曼移位波长下的泵浦光，该泵浦光具有至少10nm的宽光谱线。所公开的光发生器还具有单通二次谐波发生器(“SHG”)，所述单通二次谐波发生器具有光谱接受线宽足以覆盖泵浦光的宽光谱线的三硼酸锂(“LBO”)非线性光学晶体。SHG产生具有至少4nm的宽光谱线的SM脉冲型宽线红光。
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公开(公告)号：CN111929963A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010834509.1
申请日：2015-09-16
申请人： IPG光子公司
发明人： 曼纽尔·莱昂纳多 , 伊格尔·山马尔特瑟夫 , 阿列克谢·阿夫多欣 , 格雷格里·基顿
摘要： 一种宽线红光发生器配置有单模(SM)脉冲型镱(“Yb”)光纤激光泵浦源，所述泵浦源输出选自1030-1120nm波长范围的泵浦波长下的基模(“FM”)泵浦光。所公开的发生器还包括接合到Yb光纤激光器泵浦源的输出端的SM光纤拉曼转换器。拉曼转换器引起泵浦光的“n”阶频率斯托克斯移位，以输出1220和1300nm波长范围内的拉曼移位波长下的泵浦光，该泵浦光具有至少10nm的宽光谱线。所公开的光发生器还具有单通二次谐波发生器(“SHG”)，所述单通二次谐波发生器具有光谱接受线宽足以覆盖泵浦光的宽光谱线的三硼酸锂(“LBO”)非线性光学晶体。SHG产生具有至少4nm的宽光谱线的SM脉冲型宽线红光。
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公开(公告)号：CN107924827B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN201680049828.3
申请日：2016-06-29
申请人： IPG光子公司
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/324 , H01L21/02
摘要： 提供了一种用于通过部分熔融激光退火(LA)或连续横向固化(SLS)退火工艺来使非晶硅(a‑Si)面板结晶的系统。所述系统包括至少一个单横模(SM)准连续波(QCW)光纤激光源，其发射脉冲谐波光束；光束调节组件，其位于所述光纤激光源下游并被配置为变换谐波光束，使得所述谐波光束具有期望的发散和空间分布特性；光束速度和分布组件，其能够操作用于在物平面中以期望的扫描速度提供具有期望的强度分布的调节后的谐波光束；光束成像组件，用于以期望的缩小方式将物平面中的调节后的谐波光束沿至少一个光轴成像在像平面上，使得调节后的谐波光束的宽度减小到窄线宽；以及面板处理组件，其能够操作用于提供成像后的窄线宽光束与面板之间的相对位置和速度，以便在曝光时间内至少两次照射所述a‑Si面板的每个位置。
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公开(公告)号：CN106716246B
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201580049934.7
申请日：2015-09-16
申请人： IPG光子公司
发明人： 曼纽尔·莱昂纳多 , 伊格尔·山马尔特瑟夫 , 阿列克谢·阿夫多欣 , 格雷格里·基顿
摘要： 一种宽线红光发生器配置有单模(SM)脉冲型镱(“Yb”)光纤激光泵浦源，所述泵浦源输出选自1030‑1120nm波长范围的泵浦波长下的基模(“FM”)泵浦光。所公开的发生器还包括接合到Yb光纤激光器泵浦源的输出端的SM光纤拉曼转换器。拉曼转换器引起泵浦光的“n”阶频率斯托克斯移位，以输出1220和1300nm波长范围内的拉曼移位波长下的泵浦光，该泵浦光具有至少10nm的宽光谱线。所公开的光发生器还具有单通二次谐波发生器(“SHG”)，所述单通二次谐波发生器具有光谱接受线宽足以覆盖泵浦光的宽光谱线的三硼酸锂(“LBO”)非线性光学晶体。SHG产生具有至少4nm的宽光谱线的SM脉冲型宽线红光。
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公开(公告)号：CN111065759A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201880058227.8
申请日：2018-07-31
申请人： IPG光子公司
IPC分类号： C23C14/58 , B23K26/082 , C23C16/56 , B23K26/352 , B23K26/08 , H01S3/10
摘要： 一种对沉积在基底上的薄膜进行光纤激光加工的方法包括：提供来自至少一个光纤激光器的激光束，该激光束通过光束成形单元被引导到薄膜上。光束成形光学器件被配置成将激光束成形为线光束，该线光束照射薄膜表面上的第一照射薄膜区域Ab，其中照射薄膜区域Ab是薄膜区域Af的一部分。通过在连续的照射之间使光束成形光学器件和膜在第一方向上以距离dy相对彼此连续移位，在膜表面上形成一系列均匀的照射薄膜区域Ab，由此限定第一细长列。此后，光束成形光学器件和膜在横向于第一方向的第二方向上以距离dx彼此相关地移位，距离dx小于照射膜区域Ab的长度。通过执行用于形成各个列的步骤，细长列彼此交叠，从而覆盖期望的薄膜区域Af。选择距离dx和dy，使得膜区域Af的每个位置在累积的预定持续时间内曝光于成形的激光束。
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公开(公告)号：CN106716246A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580049934.7
申请日：2015-09-16
申请人： IPG光子公司
发明人： 曼纽尔·莱昂纳多 , 伊格尔·山马尔特瑟夫 , 阿列克谢·阿夫多欣 , 格雷格里·基顿
摘要： 一种宽线红光发生器配置有单模(SM)脉冲型镱(“Yb”)光纤激光泵浦源，所述泵浦源输出选自1030‑1120nm波长范围的泵浦波长下的基模(“FM”)泵浦光。所公开的发生器还包括接合到Yb光纤激光器泵浦源的输出端的SM光纤拉曼转换器。拉曼转换器引起泵浦光的“n”阶频率斯托克斯移位，以输出1220和1300nm波长范围内的拉曼移位波长下的泵浦光，该泵浦光具有至少10nm的宽光谱线。所公开的光发生器还具有单通二次谐波发生器(“SHG”)，所述单通二次谐波发生器具有光谱接受线宽足以覆盖泵浦光的宽光谱线的三硼酸锂(“LBO”)非线性光学晶体。SHG产生具有至少4nm的宽光谱线的SM脉冲型宽线红光。
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公开(公告)号：CN111065759B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN201880058227.8
申请日：2018-07-31
申请人： IPG光子公司
IPC分类号： C23C14/58 , B23K26/082 , C23C16/56 , B23K26/352 , B23K26/08 , H01S3/10
摘要： 一种对沉积在基底上的薄膜进行光纤激光加工的方法包括：提供来自至少一个光纤激光器的激光束，该激光束通过光束成形单元被引导到薄膜上。光束成形光学器件被配置成将激光束成形为线光束，该线光束照射薄膜表面上的第一照射薄膜区域Ab，其中照射薄膜区域Ab是薄膜区域Af的一部分。通过在连续的照射之间使光束成形光学器件和膜在第一方向上以距离dy相对彼此连续移位，在膜表面上形成一系列均匀的照射薄膜区域Ab，由此限定第一细长列。此后，光束成形光学器件和膜在横向于第一方向的第二方向上以距离dx彼此相关地移位，距离dx小于照射膜区域Ab的长度。通过执行用于形成各个列的步骤，细长列彼此交叠，从而覆盖期望的薄膜区域Af。选择距离dx和dy，使得膜区域Af的每个位置在累积的预定持续时间内曝光于成形的激光束。
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公开(公告)号：CN106716247B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201580049943.6
申请日：2015-09-16
申请人： IPG光子公司
发明人： 曼纽尔·莱昂纳多 , 伊格尔·山马尔特瑟夫 , 阿列克谢·阿夫多欣 , 格雷格里·基顿
IPC分类号： H01S3/30 , G02B27/48 , H01S3/00 , H04N13/363 , H01S3/16 , H04N9/31 , H01S3/23 , H01S3/094 , G03B21/20 , G02F1/37 , H04N13/334 , H01S3/067 , G02F1/355
摘要： 一种用于照明投影机系统的RGB光源包括红光激光器、绿光激光器和蓝光激光器，每个激光器输出具有至少4nm光谱线宽的随机偏振(RP)单模(SM)光。绿光激光器具有MOPFA结构的泵，其输出基波波长在1μm波长范围内的脉冲泵浦光束，并且还包括SHG。SHG包括接收脉冲泵浦光束并输出BB绿光脉冲序列的LBO非线性晶体。红光激光器配置有QCW光纤激光泵和带有LBO非线性晶体的频率转换器，其中该LBO非线性晶体输出6xx nm波长范围内的红光脉冲序列。
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公开(公告)号：CN107924827A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680049828.3
申请日：2016-06-29
申请人： IPG光子公司
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/324 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/02691 , H01L21/02532 , H01L21/02678 , H01L21/02683 , H01L21/02686
摘要： 提供了一种用于通过部分熔融激光退火(LA)或连续横向固化(SLS)退火工艺来使非晶硅(a-Si)面板结晶的系统。所述系统包括至少一个单横模(SM)准连续波(QCW)光纤激光源，其发射脉冲谐波光束；光束调节组件，其位于所述光纤激光源下游并被配置为变换谐波光束，使得所述谐波光束具有期望的发散和空间分布特性；光束速度和分布组件，其能够操作用于在物平面中以期望的扫描速度提供具有期望的强度分布的调节后的谐波光束；光束成像组件，用于以期望的缩小方式将物平面中的调节后的谐波光束沿至少一个光轴成像在像平面上，使得调节后的谐波光束的宽度减小到窄线宽；以及面板处理组件，其能够操作用于提供成像后的窄线宽光束与面板之间的相对位置和速度，以便在曝光时间内至少两次照射所述a-Si面板的每个位置。
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公开(公告)号：CN106716247A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580049943.6
申请日：2015-09-16
申请人： IPG光子公司
发明人： 曼纽尔·莱昂纳多 , 伊格尔·山马尔特瑟夫 , 阿列克谢·阿夫多欣 , 格雷格里·基顿
摘要： 一种用于照明投影机系统的RGB光源包括红光激光器、绿光激光器和蓝光激光器，每个激光器输出具有至少4nm光谱线宽的随机偏振(RP)单模(SM)光。绿光激光器具有MOPFA结构的泵，其输出基波波长在1μm波长范围内的脉冲泵浦光束，并且还包括SHG。SHG包括接收脉冲泵浦光束并输出BB绿光脉冲序列的LBO非线性晶体。红光激光器配置有QCW光纤激光泵和带有LBO非线性晶体的频率转换器，其中该LBO非线性晶体输出6xx nm波长范围内的红光脉冲序列。
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