公开(公告)号：CN110382161A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201880016177.7

申请日：2018-03-05

Applicant: LPKF激光电子股份公司

Inventor： R.奥斯特霍尔特 ,  N.安布罗修斯 ,  A.施诺尔 ,  D.邓克尔 ,  K.黑尔 ,  M.德尔格 ,  S.温克

IPC: B23K26/402 ,  B23K26/00 ,  C23C14/12 ,  C23C14/04

Abstract: 本发明涉及一种用于由例如玻璃、蓝宝石或者硅材质的板形的衬底(2)制造工程用掩膜(1)的方法。掩膜(1)的至少一个开口借助激光诱导的深度刻蚀制成，其中，衬底(2)至少对于激光诱导的深度刻蚀时使用的激光波长是透明的。为此，衬底(2)为了尤其闭合的轮廓(3)的分离通过激光器的脉冲沿预先定义的加工线(4)被改变。连接梁形式的加工线(4)的局部的中断(即所谓的虚断线)保证了待分离的轮廓(3)甚至在用腐蚀溶液处理之后也还暂时与板形的衬底(2)连接。以这种方式被预处理的板形的衬底(2)在后续步骤中被用腐蚀溶液、例如氢氟酸(HF)或者氢氧化钾(KOH)处理，由此使得衬底(2)的未被改性的区域均匀地和各向同性地被腐蚀。改性区域相对于衬底(2)的未处理区域各向异性地反应，因此最初在处理过的位置形成定向凹空，直到衬底(2)的材料在所述位点最终完全溶解。

公开(公告)号：CN110382161B

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN201880016177.7

申请日：2018-03-05

Applicant: LPKF激光电子股份公司

Inventor： R.奥斯特霍尔特 ,  N.安布罗修斯 ,  A.施诺尔 ,  D.邓克尔 ,  K.黑尔 ,  M.德尔格 ,  S.温克

IPC: B23K26/402 ,  B23K26/00 ,  C23C14/12 ,  C23C14/04

Abstract: 本发明涉及一种用于由例如玻璃、蓝宝石或者硅材质的板形的衬底(2)制造工程用掩膜(1)的方法。掩膜(1)的至少一个开口借助激光诱导的深度刻蚀制成，其中，衬底(2)至少对于激光诱导的深度刻蚀时使用的激光波长是透明的。为此，衬底(2)为了尤其闭合的轮廓(3)的分离通过激光器的脉冲沿预先定义的加工线(4)被改变。连接梁形式的加工线(4)的局部的中断(即所谓的虚断线)保证了待分离的轮廓(3)甚至在用腐蚀溶液处理之后也还暂时与板形的衬底(2)连接。以这种方式被预处理的板形的衬底(2)在后续步骤中被用腐蚀溶液、例如氢氟酸(HF)或者氢氧化钾(KOH)处理，由此使得衬底(2)的未被改性的区域均匀地和各向同性地被腐蚀。改性区域相对于衬底(2)的未处理区域各向异性地反应，因此最初在处理过的位置形成定向凹空，直到衬底(2)的材料在所述位点最终完全溶解。