公开(公告)号：CN1845300B

公开(公告)日：2010-04-14

申请号：CN200610059549.3

申请日：2006-03-06

申请人： LSI罗吉克公司

发明人： R·舒尔茨 ,  G·希普利 ,  D·艾尔曼

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01R31/2831 ,  G01R31/318533

摘要： 一种用于通过至少两个不同的交叉测试路径识别各种电路模块从而收集并分析集成电路测试载体测试数据的系统和方法。在一个实施例中，工艺测试电路可以以阵列的方式排列和相互连接，这样可以沿行或列来对它们进行测试。当一个沿特定行与特定列的故障被识别时，在该交叉处的工艺测试电路可以被标识为故障点。

公开(公告)号：CN1845300A

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：CN200610059549.3

申请日：2006-03-06

申请人： LSI罗吉克公司

发明人： R·舒尔茨 ,  G·希普利 ,  D·艾尔曼

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01R31/2831 ,  G01R31/318533

摘要： 一种用于通过至少两个不同的交叉测试路径识别各种电路模块从而收集并分析集成电路测试载体测试数据的系统和方法。在一个实施例中，工艺测试电路可以以阵列的方式排列和相互连接，这样可以沿行或列来对它们进行测试。当一个沿特定行与特定列的故障被识别时，在该交叉处的工艺测试电路可以被标识为故障点。