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公开(公告)号：CN106104245B
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201580015799.4
申请日：2015-02-13
申请人： MKS 仪器公司
IPC分类号： G01L21/12
摘要： 描述了使用低热导率支撑元件的微型皮氏真空计。微型皮氏计或真空传感器可包括：加热元件，所述加热元件可操作以加热气体并产生对应于所述气体的压力的信号；平台，所述平台构造成接收加热元件，所述平台具有第一热导率系数；以及支撑元件，所述支撑元件连接至基板且构造成将带有所述加热元件的所述平台支撑于所述基板中设置的孔口中，所述支撑元件具有第二热导率系数，其中，第二热导率系数小于第一热导率系数。还描述了包括微型皮氏计的多模压力感测。
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公开(公告)号：CN106104245A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201580015799.4
申请日：2015-02-13
申请人： MKS仪器公司
IPC分类号： G01L21/12
摘要： 描述了使用低热导率支撑元件的微型皮氏真空计。微型皮氏计或真空传感器可包括：加热元件，所述加热元件可操作以加热气体并产生对应于所述气体的压力的信号；平台，所述平台构造成接收加热元件，所述平台具有第一热导率系数；以及支撑元件，所述支撑元件连接至基板且构造成将带有所述加热元件的所述平台支撑于所述基板中设置的孔口中，所述支撑元件具有第二热导率系数，其中，第二热导率系数小于第一热导率系数。还描述了包括微型皮氏计的多模压力感测。
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公开(公告)号：CN105637336A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201480016452.7
申请日：2014-04-22
申请人： MKS仪器公司
CPC分类号： F15D1/0005 , G01L19/0007 , G01L19/0627 , G01L19/0636 , Y10T29/49 , G01L9/12 , G01L19/06
摘要： 一种压力传感器系统可感测气体或液体的压力。该系统可包括具有用于气体或液体的入口端口的壳体；该壳体内的压力传感器；以及被设置在入口端口与压力传感器之间的挡板。该挡板可具有被定向成接收进入该入口端口的气体或液体的一个或多个入口；被定向成将接收到的气体或液体传送到该压力传感器的一个或多个出口；以及防止气体或液体除了通过一个或多个出口以外从该挡板逸出的一个或多个密封的流动通道。出口中的至少一个可被定位在与该压力传感器上的位置相距不超过一毫米的范围内。压力传感器和挡板可在利用微机电系统(MEMS)技术沉积、图案化、蚀刻、晶片键合、或晶片减薄一系列层的工艺期间同时制成。
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公开(公告)号：CN105190272A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480010161.7
申请日：2014-02-14
申请人： MKS仪器公司
CPC分类号： G01L19/0092 , G01L9/0072
摘要： 压力传感器可测量气体或液体压力。腔室可具有接收气体或液体的入口。柔性膜片可位于腔室内，所述柔性膜片具有在气体或液体流动通过入口之后暴露于气体或液体的表面。压力传感器系统可感测由气体或液体的压力变化所导致的柔性膜片的变化。压力不敏感传感器系统可感测柔性膜片中的不由气体或液体压力变化所导致的变化。压力不敏感传感器系统可对于柔性膜片中的由气体或液体压力变化所导致的变化不敏感。
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公开(公告)号：CN105102951A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480018735.5
申请日：2014-04-01
申请人： MKS仪器公司
CPC分类号： G01L9/0047 , G01L9/0072 , G01L27/00 , Y10T29/49826
摘要： 一种自校准压力传感器系统，所述自校准压力传感器系统可以测量气体或液体的压力。所述系统可以包括压力传感器、参考传感器和漂移补偿系统。所述压力传感器可以包括压力感测柔性隔膜，所述压力感测柔性隔膜具有暴露于所述气体或所述液体的一侧和形成密封腔的壁的另一侧。所述参考传感器可以包括参考柔性隔膜，所述参考柔性隔膜具有都在所述相同密封腔内或都暴露于所述相同密封腔的两侧。所述漂移补偿系统可以基于来自所述压力传感器的信号产生表示所述气体或所述液体的所述压力的信息，并且基于来自所述参考传感器的信号的变化来补偿来自所述压力传感器的信号的漂移。所述压力感测柔性隔膜和所述参考柔性隔膜可以在实质上相同的时间通过以单一连续步骤沉积或生长单层材料来制成。
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