公开(公告)号：CN1720195A

公开(公告)日：2006-01-11

申请号：CN200380105137.3

申请日：2003-12-04

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： D·K·史密斯 ,  M·M·贝森 ,  W·M·霍尔比 ,  S·F·霍尼

IPC: C01B7/20 ,  B01J19/08 ,  B01J19/24 ,  C25B1/24

CPC classification number: B01J19/088 ,  B01J2219/00164 ,  B01J2219/0894 ,  C01B7/20

Abstract: 本发明涉及用来产生和循环氟的设备和方法，申请人认识到氟分离器单独使用或与等离子体发生器结合，能在用于薄膜加工的地点生产足够量的氟。氟分离器可以是冷凝器，膜分离装置，是固体电解质的氟离子导体或前述的组合形式。在某些实施方式中，含氟的反应产物通过氟分离器。在其他实施方式中，分离的氟单独或与其他含氟原料结合通入等离子体发生器。氟分离器将氟循环，并从体系中除去废产物。

公开(公告)号：CN101297480B

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN200680040216.4

申请日：2006-10-31

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·P·纳加拉卡迪 ,  M·基西内夫斯基 ,  A·沙基 ,  T·E·卡尔外迪斯 ,  W·S·小米奇尼 ,  D·古德曼 ,  W·M·霍尔比 ,  J·A·史密斯 ,  I·拜斯卓柯

IPC: H03H7/40

CPC classification number: H03H7/40

Abstract: 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。

公开(公告)号：CN101068614A

公开(公告)日：2007-11-07

申请号：CN200580041519.3

申请日：2005-12-02

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： W·M·霍尔比 ,  X·陈

IPC: B01J12/00 ,  C23C16/452 ,  H01J37/32

CPC classification number: B01J19/088 ,  B01J2219/0875 ,  C23C16/452 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/3244

Abstract: 一种用于活化和离解气体的方法和设备，包括用位于一个室中的等离子体产生活化气体。相对于该室的出口设置下游气体进口，使活化气体能够促进通过该气体进口引入的下游气体的离解，其中离解的下游气体基本不会与所述室的内表面发生相互作用。

公开(公告)号：CN100515927C

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200380105137.3

申请日：2003-12-04

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： D·K·史密斯 ,  M·M·贝森 ,  W·M·霍尔比 ,  S·F·霍尼

IPC: C01B7/20 ,  B01J19/08 ,  B01J19/24 ,  C25B1/24

CPC classification number: B01J19/088 ,  B01J2219/00164 ,  B01J2219/0894 ,  C01B7/20

Abstract: 本发明涉及用来产生和循环氟的设备和方法，申请人认识到氟分离器单独使用或与等离子体发生器结合，能在用于薄膜加工的地点生产足够量的氟。氟分离器可以是冷凝器，膜分离装置，是固体电解质的氟离子导体或前述的组合形式。在某些实施方式中，含氟的反应产物通过氟分离器。在其他实施方式中，分离的氟单独或与其他含氟原料结合通入等离子体发生器。氟分离器将氟循环，并从体系中除去废产物。

公开(公告)号：CN101297480A

公开(公告)日：2008-10-29

申请号：CN200680040216.4

申请日：2006-10-31

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·P·纳加拉卡迪 ,  M·基西内夫斯基 ,  A·沙基 ,  T·E·卡尔外迪斯 ,  W·S·米奇尼 ,  D·古德曼 ,  W·M·霍尔比 ,  J·A·史密斯

IPC: H03H7/40

CPC classification number: H03H7/40

Abstract: 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。