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公开(公告)号：CN102197482B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN200980142722.8
申请日：2009-10-24
申请人： NXP股份有限公司
发明人： 阿尔瑙德·劳伦·罗塞特 , 马雷克·克莱 , 吕迪格·冈特·毛佐克 , 克劳斯·赖曼 , 麦克尔·约伦
IPC分类号： H01L27/02 , G11C11/56 , H01L27/115
CPC分类号： H01L27/0251 , G11C11/22 , G11C11/221 , H01L27/11502 , H01L28/55
摘要： 本发明涉及一种电部件，包括：至少一个第一MIM电容器，具有第一电极材料的第一电容器电极与第二电极材料的第二电容器电极之间的介电常数至少为100的铁电绝缘层。第一电极材料和第二电极材料被选择为使得第一MIM电容器根据第一电极与第二电极之间可施加的DC电压表现出非对称电容滞后，所述非对称电容滞后使第一MIM电容器在没有DC电压的情况下根据最后施加到电容器的切换电压的极性而采用至少两个可能的不同电容值之一，所述切换电压具有大于阈值电压量的量。本发明还适用于ESD传感器、存储器和高频设备。
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公开(公告)号：CN102197482A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200980142722.8
申请日：2009-10-24
申请人： NXP股份有限公司
发明人： 阿尔瑙德·劳伦·罗塞特 , 马雷克·克莱 , 吕迪格·冈特·毛佐克 , 克劳斯·赖曼 , 麦克尔·约伦
IPC分类号： H01L27/02 , G11C11/56 , H01L27/115
CPC分类号： H01L27/0251 , G11C11/22 , G11C11/221 , H01L27/11502 , H01L28/55
摘要： 本发明涉及一种电部件，包括：至少一个第一MIM电容器，具有第一电极材料的第一电容器电极与第二电极材料的第二电容器电极之间的介电常数至少为100的铁电绝缘层。第一电极材料和第二电极材料被选择为使得第一MIM电容器根据第一电极与第二电极之间可施加的DC电压表现出非对称电容滞后，所述非对称电容滞后使第一MIM电容器在没有DC电压的情况下根据最后施加到电容器的切换电压的极性而采用至少两个可能的不同电容值之一，所述切换电压具有大于阈值电压量的量。本发明还适用于ESD传感器、存储器和高频设备。
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公开(公告)号：CN101682315B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200880019916.4
申请日：2008-06-09
申请人： NXP股份有限公司
CPC分类号： H01G5/16 , H01G5/013 , H01G5/0136 , H01G7/06 , H01G2005/02 , H03J5/248
摘要： 一种MEMS可调电容器，包括第一和第二相对的电容器电极(10、12)，其中，MEMS开关可移动所述第二电容器电极(12)，以改变电容器电介质间隔，从而调节电容。可调电介质材料(14)和不可调电介质材料串联在第一和第二电极之间。可调电介质材料占据电极间隔的尺寸gd，不可调电介质材料占据电极间隔的尺寸g。面向可移动的第二电极(12)的第三电极(20)用于电控制可调电介质材料。控制器适于改变电容器电介质间隔，以获得MEMS电容器的电容调整的第一连续范围，并调节电介质材料(14)，以获得MEMS电容器的电容调整的第二连续范围，从而提供包括第一范围和第二范围的连续的模拟调整范围。这种布置提供了MEMS功能和电介质调节功能的独立控制，并提供了连续的可调性。
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公开(公告)号：CN101682315A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880019916.4
申请日：2008-06-09
申请人： NXP股份有限公司
CPC分类号： H01G5/16 , H01G5/013 , H01G5/0136 , H01G7/06 , H01G2005/02 , H03J5/248
摘要： 一种MEMS可调电容器，包括第一和第二相对的电容器电极(10、12)，其中，MEMS开关可移动所述第二电容器电极(12)，以改变电容器电介质间隔，从而调节电容。可调电介质材料(14)和不可调电介质材料串联在第一和第二电极之间。可调电介质材料占据电极间隔的尺寸gd，不可调电介质材料占据电极间隔的尺寸g。面向可移动的第二电极(12)的第三电极(20)用于电控制可调电介质材料。控制器适于改变电容器电介质间隔，以获得MEMS电容器的电容调整的第一连续范围，并调节电介质材料(14)，以获得MEMS电容器的电容调整的第二连续范围，从而提供包括第一范围和第二范围的连续的模拟调整范围。这种布置提供了MEMS功能和电介质调节功能的独立控制，并提供了连续的可调性。
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