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公开(公告)号:CN101484976B
公开(公告)日:2011-02-23
申请号:CN200780025065.X
申请日:2007-04-30
Applicant: NXP股份有限公司
Inventor: 里昂内尔·古依拉德 , 弗兰克斯·勒科内克 , 弗拉迪·罗兹伯姆 , 约翰·H·克鲁维克 , 戴维·D·R·切夫里
IPC: H01L21/02 , H01L27/08 , H01L21/334
CPC classification number: H01L27/0805 , H01L27/10817 , H01L27/10829 , H01L27/10852 , H01L27/10861 , H01L28/40 , H01L28/82 , H01L28/90 , H01L29/6609 , H01L29/66181 , H01L29/861
Abstract: 本发明涉及一种包括电元件(102)的电器件(100),所述电元件包括具有第一表面(106)和支柱(108)的第一电极(104),所述支柱在第一方向(110)从所述第一表面延伸,所述支柱具有从所述第一表面平行于所述第一方向而测量的长度,所述支柱具有垂直于所述第一方向的截面(112),而且所述支柱具有侧壁表面(114),所述侧壁表面围绕所述支柱并且在所述第一方向上延伸,其特征在于,所述支柱包括沿着所述支柱的长度的至少一部分延伸的刻痕(116)和突出(118)中任意一个,以赋予所述支柱(108)改进的机械稳定性。该电极允许以成本有效的方式制成具有改进特性的诸如电容器、储能器件或二极管的电元件。
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公开(公告)号:CN101484976A
公开(公告)日:2009-07-15
申请号:CN200780025065.X
申请日:2007-04-30
Applicant: NXP股份有限公司
Inventor: 里昂内尔·古依拉德 , 弗兰克斯·勒科内克 , 弗拉迪·罗兹伯姆 , 约翰·H·克鲁维克 , 戴维·D·R·切夫里
IPC: H01L21/02 , H01L27/08 , H01L21/334
CPC classification number: H01L27/0805 , H01L27/10817 , H01L27/10829 , H01L27/10852 , H01L27/10861 , H01L28/40 , H01L28/82 , H01L28/90 , H01L29/6609 , H01L29/66181 , H01L29/861
Abstract: 本发明涉及一种包括电元件(102)的电器件(100),所述电元件包括具有第一表面(106)和支柱(108)的第一电极(104),所述支柱在第一方向(110)从所述第一表面延伸,所述支柱具有从所述第一表面平行于所述第一方向而测量的长度,所述支柱具有垂直于所述第一方向的截面(112),而且所述支柱具有侧壁表面(114),所述侧壁表面围绕所述支柱并且在所述第一方向上延伸,其特征在于,所述支柱包括沿着所述支柱的长度的至少一部分延伸的刻痕(116)和突出(118)中任意一个,以赋予所述支柱(108)改进的机械稳定性。该电极允许以成本有效的方式制成具有改进特性的诸如电容器、储能器件或二极管的电元件。
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