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公开(公告)号:CN116103752A
公开(公告)日:2023-05-12
申请号:CN202211396415.6
申请日:2022-11-09
申请人: OCI有限公司
发明人: 金佳福 , 姜秉昶 , 朴秉铉 , 田埈基 , 郑昌垣 , 全昇安
IPC分类号: C30B25/00 , C30B29/36 , C30B28/14
摘要: 高纯SiC晶体的制造方法,本发明涉及制造高纯碳化硅(silicon carbide,SiC)晶体的方法,更具体地,涉及以优秀的收率大量生产杂质的含量极低的高纯SiC的方法。
公开(公告)号:CN107867693A
公开(公告)日:2018-04-03
申请号:CN201710866470.X
申请日:2017-09-22
发明人: 朴秉铉 , 金佳福 , 郑昌垣 , 姜秉昶
IPC分类号: C01B33/035
摘要: 本发明公开了一种用于将多晶硅与碳夹头分离的装置和方法。该装置通过在其上附着有多晶硅的碳夹头(多晶硅-碳夹头)上施加高频电流进行感应加热,从而选择性地加热碳夹头,所述碳夹头来自用于合成多晶硅的室。因此,可以熔化多晶硅与碳夹头接触的接触表面,并且分离并收集多晶硅和碳夹头而不造成损伤。