用于分离多晶硅-碳夹头的装置和方法

    公开(公告)号:CN107867693A

    公开(公告)日:2018-04-03

    申请号:CN201710866470.X

    申请日:2017-09-22

    申请人: OCI有限公司

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本发明公开了一种用于将多晶硅与碳夹头分离的装置和方法。该装置通过在其上附着有多晶硅的碳夹头(多晶硅-碳夹头)上施加高频电流进行感应加热,从而选择性地加热碳夹头,所述碳夹头来自用于合成多晶硅的室。因此,可以熔化多晶硅与碳夹头接触的接触表面,并且分离并收集多晶硅和碳夹头而不造成损伤。