公开(公告)号：CN100336063C

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN00817357.5

申请日：2000-11-17

申请人： PDF全解公司

发明人： 布赖恩·E.·斯泰恩 ,  约翰·基巴里安 ,  基蒙·米歇尔斯 ,  乔·戴维斯 ,  P·K.·摩祖姆德 ,  谢丽·李 ,  克里斯托弗·赫斯 ,  拉格·威兰德 ,  丹尼斯·J.·西普里卡斯 ,  大卫·M.·斯塔绍尔

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G05B15/02 ,  H01L22/20 ,  H01L22/34 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种用于预测集成电路产量的系统和方法包括至少一种类型的特征化载体，它包括用于表示包括于集成电路最后产品中的至少一种类型特征的至少一个特征。该特征化载体经受至少一个组成将要用于制造集成电路产品制造周期的操作过程以便产生一个产量模型。该产量模型包含一个由该特征化载体所定义的布局，并且优选地包括有助于采集电气测试数据和以操作速度测试原型段的各特征。一个提取引擎从一个建议的产品布局中提取预定布局属性。该提取引擎在产量模型上操作而产生作为布局属性的函数的产量预测，并且被分解为制造过程中的各层或各步骤。这些产量预测然后被用于确定制造过程中哪些区域最需要改进。

公开(公告)号：CN1535436A

公开(公告)日：2004-10-06

申请号：CN00817357.5

申请日：2000-11-17

申请人： PDF全解公司

发明人： 布赖恩·E.·斯泰恩 ,  约翰·基巴里安 ,  基蒙·米歇尔斯 ,  乔·戴维斯 ,  P·K.·摩祖姆德 ,  谢丽·李 ,  克里斯托弗·赫斯 ,  拉格·威兰德 ,  丹尼斯·J.·西普里卡斯 ,  大卫·M.·斯塔绍尔

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G05B15/02 ,  H01L22/20 ,  H01L22/34 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种用于预测集成电路产量的系统和方法包括至少一种类型的特征化载体，它包括用于表示包括于集成电路最后产品中的至少一种类型特征的至少一个特征。该特征化载体经受至少一个组成将要用于制造集成电路产品制造周期的操作过程以便产生一个产量模型。该产量模型包含一个由该特征化载体所定义的布局，并且优选地包括有助于采集电气测试数据和以操作速度测试原型段的各特征。一个提取引擎从一个建议的产品布局中提取预定布局属性。该提取引擎在产量模型上操作而产生作为布局属性的函数的产量预测，并且被分解为制造过程中的各层或各步骤。这些产量预测然后被用于确定制造过程中哪些区域最需要改进。