具有保护测试的集成电路及其测试方法

    公开(公告)号:CN107728042A

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201711117894.2

    申请日:2017-11-13

    IPC分类号: G01R31/28 H01L23/544

    摘要: 本发明提供一种具有保护测试的集成电路及其测试方法,其中的具有保护测试的集成电路,包括芯片本体及芯片测试电路,芯片测试电路包括:保护环,环绕芯片本体的电路区,以形成非封闭环;信号源电路,连接于保护环,用于向保护环提供测试信号;以及检测点,设置于保护环上,在检测点处检测测试信号,以根据所检测的测试信号确定芯片本体是否破损。本发明的技术方案可以测试芯片是否破损以及获得发生破损的掩膜层、位置和破损程度。

    晶片的加工方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107492520A

    公开(公告)日:2017-12-19

    申请号:CN201710421651.1

    申请日:2017-06-07

    发明人: 山下阳平

    IPC分类号: H01L21/78 H01L21/66

    CPC分类号: H01L21/78 H01L22/34

    摘要: 提供晶片的加工方法,通过探测而可靠地判别器件芯片的良好与不良,并且高效地生产器件芯片。晶片的加工方法将在由分割预定线划分的多个区域中形成有器件的晶片加工成通过基板来支承器件的器件芯片,该器件在基板的正面上层叠有功能层并且具有多个电极,该方法至少包含如下的工序:分离槽形成工序,沿着分割预定线形成深度至少相当于该器件芯片的厚度并且不到达晶片的背面的分离槽,维持该晶片的形态;品质检查工序,通过对形成有该分离槽的该晶片的各器件的电极通电的探测来对器件的良好与不良的品质进行检查;以及背面磨削工序,在该晶片的正面上配设保护部件,对该晶片的背面进行磨削而使分离槽在背面露出从而将晶片分割成各个器件芯片。