公开(公告)号：CN102056860A

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200980121500.8

申请日：2009-08-27

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 井出贵之 ,  安藤正美 ,  有光宏美

IPC: C04B35/50 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明提供一种耐腐蚀性部件，具体为，在本发明的一实施方式中，通过形成由以氧化钇为主要成分、含有铈元素、在非氧化气氛中煅烧而得到的陶瓷部件所形成的耐腐蚀性部件，可以提供由具有高耐腐蚀性、体积电阻率低的陶瓷部件所形成的耐腐蚀性部件。

公开(公告)号：CN102056860B

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN200980121500.8

申请日：2009-08-27

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 井出贵之 ,  安藤正美 ,  有光宏美

IPC: H01L21/3065 ,  C04B35/50

Abstract: 本发明提供一种耐腐蚀性部件，具体为，在本发明的一实施方式中，通过形成由以氧化钇为主要成分、含有铈元素、在非氧化气氛中煅烧而得到的陶瓷部件所形成的耐腐蚀性部件，可以提供由具有高耐腐蚀性、体积电阻率低的陶瓷部件所形成的耐腐蚀性部件。