公开(公告)号：CN100378038C

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200510072941.7

申请日：1994-12-09

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 渡部俊也 ,  小岛荣一 ,  则本圭一郎 ,  木村太门 ,  町田光义 ,  早川信 ,  北村厚 ,  千国真 ,  佐伯义光 ,  久我辰彦 ,  中岛靖

IPC: C04B41/85 ,  B01J21/06 ,  B01J23/00 ,  B01J35/02

Abstract: 本发明的多功能材料分为在基材1的表面上直接设置具有光催化功能的光催化剂层2的多功能材料和通过粘结剂层6在基材1的表面上间接设置光催化剂层2的多功能材料；构成光催化剂层2的光催化剂颗粒的结合形态，有利用表面能结合和利用固相烧结结合的情况，此外光催化剂层2的结构，有在光催化剂颗粒间的间隙中填充细小颗粒的结构和不填充细小颗粒的结构，还有在光催化剂颗粒的表面固定Ag 和 Pt 等金属的结构和不固定 Ag 和 Pt 等金属的结构。

公开(公告)号：CN100347333C

公开(公告)日：2007-11-07

申请号：CN02819627.9

申请日：2002-09-30

Applicant: TOTO株式会社 ,  株式会社东京大学TLO

Inventor： 福久孝治 ,  中岛章 ,  筱原贤次 ,  渡部俊也 ,  大崎寿 ,  芹川正

IPC: C23C8/36 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58

CPC classification number: C01B13/145 ,  C01P2002/01 ,  C01P2004/03 ,  C23C8/02 ,  C23C8/36 ,  C23C14/08 ,  C23C14/083 ,  C23C14/086 ,  C23C14/5826 ,  C23C18/14 ,  C23C26/00 ,  H01L21/02175 ,  H01L21/02186 ,  H01L21/02197 ,  H01L21/02266 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02337 ,  H01L21/0234 ,  H01L21/02348 ,  H01L21/02356 ,  H01L21/31604 ,  H01L21/31616 ,  H01L21/31691 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/1884

Abstract: 本发明提供一种形成主要由非晶质构成的金属氧化物膜后，作为后处理，在温度180℃以下，在高频电场中，暴露于低温等离子体中，从而制造结晶性的金属氧化物薄膜的方法；以及采用该方法制造的结晶性金属氧化物薄膜。根据该制造方法，不伴有积极的加热处理，可在低温下在基材上形成致密而均匀的结晶金属氧化物薄膜，因此即使对于耐热性比较低的基材，也不会损害基材的特性，能够形成所需特性的金属氧化物薄膜。