-
公开(公告)号:CN102742156A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201080052314.6
申请日:2010-11-19
CPC分类号: H01P11/008 , H01P7/082 , H03H3/0076 , H03H9/172 , H03H9/2436 , H03H2009/0233 , H03H2009/241 , H03H2009/2442
摘要: 本发明涉及一种新颖的体声波(BAW)谐振器设计及其制造方法。所述体声波谐振器包括:谐振器部分,其设有至少一个空隙,所述空隙具有在所述谐振器部分上形成连续封闭路径的沟槽的形式。通过在与所述谐振器部分的外部尺寸相同的处理步骤中制造所述空隙,处理变化对谐振器的谐振频率的影响可被减小。通过本发明,BAW谐振器的精确度可被增加。