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公开(公告)号:CN101946400B
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN200880127024.6
申请日:2008-11-26
申请人: 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号: H03H9/02244 , B81B3/007 , B81B3/0072 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
摘要: 本发明提供一种微机电谐振器,所述微机电谐振器可以包括以体模式振动并且包括分别具有密度的第一多个区域以及分别具有密度的第二多个区域的一个或者多个谐振器块,所述第二多个区域中的每一个区域的所述密度与所述第一多个区域中的每一个区域的所述密度不同。可以将所述第二多个区域设置成非均匀结构。所述振动可以包括第一状态,在所述第一状态下,所述谐振器块至少部分沿第一和/或第二方向收缩,并且至少部分沿第三和/或第四方向膨胀,所述第二方向与所述第一方向相反,所述第四方向与所述第三方向相反。
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公开(公告)号:CN101946410A
公开(公告)日:2011-01-12
申请号:CN200880126943.1
申请日:2008-11-26
申请人: 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号: H03H9/46
CPC分类号: H03B5/30 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H9/505 , H03H2009/0233 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02503
摘要: 布置成N×M MEMS阵列结构的谐振器包括由弯曲/圆角部分连接的基本平直延伸的梁部分,并经由耦合部分机械耦合到阵列的至少一个相邻谐振器,每个细长梁部分经由弯曲/圆角部分在远端连接到另一细长梁部分,形成几何形状,耦合部分设置于相邻谐振器的细长梁部分之间。在被诱发时,谐振器在组合的伸长/呼吸和弯曲模式下以基本相同的频率振动,(即,梁部分表现出像伸长/呼吸那样和像弯曲那样的运动)。一个或多个阵列结构的谐振器可以在结构的弯曲部分的一个或多个区域中包括一个或多个节点(即,基本静止和/或几乎不运动),这些是将谐振器/阵列锚定到基底的适当和/或优选位置。
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公开(公告)号:CN104052430A
公开(公告)日:2014-09-17
申请号:CN201410087868.X
申请日:2014-03-11
申请人: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司
IPC分类号: H03H9/24
CPC分类号: H03H9/2452 , B81B3/0078 , B81B2201/0271 , B81C1/00158 , B81C1/00246 , B81C1/00301 , B81C1/00396 , B81C2203/0145 , H03H3/0072 , H03H3/0073 , H03H9/02259 , H03H9/2463 , H03H2009/02291 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496
摘要: 本发明提供了一种微机电谐振器。实施例具体涉及能够施加最大可用芯片上电压的MEMS谐振器结构和方法。在实施例中,MEMS谐振器包括在接地电势与谐振器的间隙电极之间的连接。实施例也涉及复杂度较低并且能够生产减小尺寸的MEMS谐振器的制造系统和方法。
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公开(公告)号:CN101946400A
公开(公告)日:2011-01-12
申请号:CN200880127024.6
申请日:2008-11-26
申请人: 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号: H03H9/02244 , B81B3/007 , B81B3/0072 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
摘要: 本发明提供一种微机电谐振器,所述微机电谐振器可以包括以体模式振动并且包括分别具有密度的第一多个区域以及分别具有密度的第二多个区域的一个或者多个谐振器块,所述第二多个区域中的每一个区域的所述密度与所述第一多个区域中的每一个区域的所述密度不同。可以将所述第二多个区域设置成非均匀结构。所述振动可以包括第一状态,在所述第一状态下,所述谐振器块至少部分沿第一和/或第二方向收缩,并且至少部分沿第三和/或第四方向膨胀,所述第二方向与所述第一方向相反,所述第四方向与所述第三方向相反。
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公开(公告)号:CN104052430B
公开(公告)日:2018-04-27
申请号:CN201410087868.X
申请日:2014-03-11
申请人: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司
IPC分类号: H03H9/24
CPC分类号: H03H9/2452 , B81B3/0078 , B81B2201/0271 , B81C1/00158 , B81C1/00246 , B81C1/00301 , B81C1/00396 , B81C2203/0145 , H03H3/0072 , H03H3/0073 , H03H9/02259 , H03H9/2463 , H03H2009/02291 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496
摘要: 本发明提供了一种微机电谐振器。实施例具体涉及能够施加最大可用芯片上电压的MEMS谐振器结构和方法。在实施例中,MEMS谐振器包括在接地电势与谐振器的间隙电极之间的连接。实施例也涉及复杂度较低并且能够生产减小尺寸的MEMS谐振器的制造系统和方法。
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公开(公告)号:CN101946410B
公开(公告)日:2014-07-23
申请号:CN200880126943.1
申请日:2008-11-26
申请人: 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号: H03H9/46
CPC分类号: H03B5/30 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H9/505 , H03H2009/0233 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02503
摘要: 布置成N×M MEMS阵列结构的谐振器包括由弯曲/圆角部分连接的基本平直延伸的梁部分,并经由耦合部分机械耦合到阵列的至少一个相邻谐振器,每个细长梁部分经由弯曲/圆角部分在远端连接到另一细长梁部分,形成几何形状,耦合部分设置于相邻谐振器的细长梁部分之间。在被诱发时,谐振器在组合的伸长/呼吸和弯曲模式下以基本相同的频率振动,(即,梁部分表现出像伸长/呼吸那样和像弯曲那样的运动)。一个或多个阵列结构的谐振器可以在结构的弯曲部分的一个或多个区域中包括一个或多个节点(即,基本静止和/或几乎不运动),这些是将谐振器/阵列锚定到基底的适当和/或优选位置。
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公开(公告)号:CN102742156A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201080052314.6
申请日:2010-11-19
CPC分类号: H01P11/008 , H01P7/082 , H03H3/0076 , H03H9/172 , H03H9/2436 , H03H2009/0233 , H03H2009/241 , H03H2009/2442
摘要: 本发明涉及一种新颖的体声波(BAW)谐振器设计及其制造方法。所述体声波谐振器包括:谐振器部分,其设有至少一个空隙,所述空隙具有在所述谐振器部分上形成连续封闭路径的沟槽的形式。通过在与所述谐振器部分的外部尺寸相同的处理步骤中制造所述空隙,处理变化对谐振器的谐振频率的影响可被减小。通过本发明,BAW谐振器的精确度可被增加。
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