公开(公告)号：CN101283113A

公开(公告)日：2008-10-08

申请号：CN200680037768.X

申请日：2006-10-11

申请人： W.C.贺利氏有限公司

发明人： 马丁·施洛特 ,  汉斯-约阿希姆·帕维尔 ,  马库斯·舒尔特海斯

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： B22F5/106 ,  B22F3/15 ,  B22F5/006 ,  B22F2998/10 ,  C23C14/3414 ,  B22F3/20 ,  B22F3/17 ,  B22F3/18

摘要： 本发明涉及一种由包含至少两相或至少两种组分的材料构成的溅射靶，其中至少一相具有晶粒结构，所述溅射靶的特征在于：所述的至少一相的晶粒结构具有大于2的直径比，其中所述直径比是该晶粒结构的最大直径与其垂直方向上的直径之比；并且所述材料的密度为其理论密度的至少98％。本发明还涉及制备溅射靶的方法。

公开(公告)号：CN101283110A

公开(公告)日：2008-10-08

申请号：CN200680037624.4

申请日：2006-10-10

申请人： W.C.贺利氏有限公司

发明人： 马库斯·舒尔特海斯 ,  马丁·魏格特

IPC分类号： C22C32/00

CPC分类号： C23C14/3414 ,  B22F2998/10 ,  C22C32/0026 ,  B22F2201/01 ,  B22F9/04 ,  B22F3/15

摘要： 本发明涉及一种材料混合物，该材料混合物含有钴基合金作为主要成分，并且至少还含有TiOx。

公开(公告)号：CN101460650A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200780020115.5

申请日：2007-05-30

申请人： W.C.贺利氏有限公司

发明人： 马库斯·舒尔特海斯 ,  马丁·魏格特

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： C23C14/3414

摘要： 本发明涉及一种包含溅射材料的溅射靶，所述溅射材料由合金或材料混合物制成，该合金或材料混合物由至少两种处于热力学不平衡状态的组分构成。根据本发明，所述组分是通过等静压冷压法或单轴冷压法来压缩的。

公开(公告)号：CN101080508A

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN200580042924.7

申请日：2005-12-07

申请人： W.C.贺利氏有限公司

发明人： 克里斯托夫·西蒙斯 ,  马丁·施洛特 ,  马库斯·舒尔特海斯 ,  马丁·魏格特 ,  拉尔斯·古塞克

IPC分类号： C23C14/34 ,  H01J37/34

CPC分类号： C23C14/3414 ,  H01J37/3435

摘要： 本发明涉及一种具有圆柱形承载管和至少一个设置在其外表面上的靶管的管状靶，其中在所述靶管与所述承载管之间设置有连接层，本发明的特征在于，所述连接层是导电的，并且具有大于90％的润湿度。