用于凝相制备三甲硅烷基胺的设备和方法

    公开(公告)号:CN103958401A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201280049320.5

    申请日:2012-10-04

    CPC classification number: C01B21/087

    Abstract: 本发明涉及用于合成三甲硅烷基胺(TSA)的凝相分批方法。描述了一种改良的合成方法,该方法引入溶剂以帮助促进氨气(或液体)与液化一氯甲硅烷(MCS)之间以良好产率进行凝相反应。该方法有利于去除副产物废料,并且几乎没有反应器停车时间,实质性地减少下游固体污染和得自第一轮蒸馏的高纯度产物。

    含氮硅烷化合物粉末及其制造方法

    公开(公告)号:CN102365232A

    公开(公告)日:2012-02-29

    申请号:CN201080015350.5

    申请日:2010-03-30

    CPC classification number: C01B21/087 C01P2006/11 C01P2006/12 C01P2006/80

    Abstract: 本发明的目的是提供一种无需有机溶剂回收工序或小型化,同时表观密度高的含氮硅烷化合物,不经过加压成型等追加的工序,提高氮化硅制造工序的生产效率。使卤化硅烷化合物与液体氨进行反应,用液体氨洗涤、干燥得到的主要含硅二酰亚胺的含氮硅烷化合物粉末,干燥后的表观密度为0.10~0.30g/cm3,优选含有的卤成分浓度以重量基准为100ppm以下的含氮硅烷化合物粉末。使卤化硅烷化合物与液体氨进行混合反应时,卤化硅烷化合物作为无溶剂或卤化硅烷化合物浓度为50体积%以上的惰性有机溶剂的溶液,从液体氨中设置的供给口喷出、供给的含氮硅烷化合物粉末的制造方法。通过惰性气体导入反应器内,该反应器内压力比该反应器内含有的反应混合物的温度时的液体氨的蒸气压保持高0.5MPa以上是优选的。

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