用于向半导电介质材料施加射频电磁场的工业设备

    公开(公告)号:CN100474986C

    公开(公告)日:2009-04-01

    申请号:CN02829037.2

    申请日:2002-05-28

    Abstract: 用于向半导电介质材料施加射频电磁场的工业设备包括一个射频电压发电机(10)和一个用来施加射频电磁场的施加部件(1)。该施加部件包括:多个电极,它们在使用中和发电机连接,该发电机用来在它们之间产生包含沿纵向方向的电分量和磁分量的射频电磁场,以及用于容纳和输送半导电介质材料的材料输送装置,在该纵向方向对齐排列的至少一对等电位电极,该材料输送装置在该施加部件内沿和该纵向方向平行的方向输送该材料,其特征在于,每个电极包括一块其上形成至少一个开口的导电板,该输送装置插在该开口中以便穿过这些板沿择优方向延伸,并且施加装置和该至少一对等电位电极啮合而且靠近该输送装置部署。

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