公开(公告)号：CN108751121A

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201810365735.2

申请日：2018-04-23

申请人： 西安电子科技大学

发明人： 胡波 ,  宜浪浪 ,  牛兴振 ,  赵磊 ,  袁时芳

IPC分类号： B81C1/00

CPC分类号： B81C1/00214 ,  B81C2201/0147

摘要： 本发明涉及一种微流管道引导的微电极制备方法，该方法具体包括PDMS微流控芯片的制备、微流管道的制备、银镜反应三个步骤。本发明利用微流控芯片做引导，在微流管道内进行银镜反应，在基底表面沉积银粒子，进而制备图案化的微电极，无需大型专业设备便可制备，具有成本低、易图案化、操作简单等特点。

公开(公告)号：CN107434239A

公开(公告)日：2017-12-05

申请号：CN201710613928.0

申请日：2017-07-25

申请人： 清华大学

发明人： 尤政 ,  罗川 ,  徐雨辰

IPC分类号： B81B7/02 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00 ,  A61N1/36 ,  A61N1/05

CPC分类号： B81B7/02 ,  A61N1/0541 ,  B81B7/04 ,  B81B2201/06 ,  B81B2203/04 ,  B81C1/00214 ,  B81C1/00349 ,  B81C1/00531 ,  B81C2201/0107 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0147 ,  B81C2201/0174

摘要： 本发明公开了一种可应用于人工耳蜗的MEMS薄膜电极阵列与加工方法。包括：所述薄膜电极阵列采用直线型结构，薄膜平面内电极形状为圆形，垂直于平面方向电极具有凸起形状；薄膜电极阵列内电极的尺寸根据人工耳蜗激励电流要求与电极材料电荷密度安全值设计，其中，电极中心间距≥150μm，每个电极暴露面积直径≥70μm。本发明引入MEMS微加工技术，提升了电极阵列的电极密度，降低了手工加工的加工成本。