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公开(公告)号：CN101733209A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910222412.9
申请日：2009-11-06
申请人： 帕洛阿尔托研究中心公司
发明人： 戴维·K·福克 , 斯科特·E·索尔伯格
CPC分类号： H01L21/6715 , B29C47/0002 , B29C47/0016 , B29C47/026 , B29C47/062 , B29C47/084 , B29C47/128 , B29L2031/06 , B81B2207/07 , B81C99/0015
摘要： 一种在微挤压系统中用于在基底上形成平行的挤压材料线的微挤压印刷头组件，包括用于将材料推/吸出该印刷头组件中限定的挤压喷管的送料系统，Z轴定位机构和底座。该微挤压印刷头包括夹在背部和前部板结构之间的分层喷管结构。该分层喷管结构包括堆叠的板，其包括中间夹有喷管出口板的顶部和底部喷管板。根据各实施方式，修改该印刷头组件的该喷管结构材料、该印刷头组件的输出几何形状以及该印刷头组件的内部导管的几何形状中的至少一项以使穿过该挤压喷管移动的圆珠在离开该印刷头喷管孔时被可靠地朝该目标基底引导(偏斜)。
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公开(公告)号：CN106629587A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610953927.6
申请日：2016-10-25
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： B81C99/00
CPC分类号： B81C99/0015
摘要： 本发明属于复杂微纳结构和器件的微纳加工技术领域，涉及一种基于聚焦离子束(Focused ion beam，FIB)的微型加工技术，该方法将聚焦离子束应用于正三棱锥压头的加工制备中，结合聚焦离子束双束系统与其内部可实现高精度倾转及旋转的样品实验台，利用聚焦离子束的铣削功能对不同角度的正三棱锥压头毛坯进行加工。通过调整聚焦离子束的加工参数及样品台的相对位置，能够加工出大角度正三棱锥形的压头。与传统的压头加工方式相比，该发明不仅加工精度高、可重复性强，还具备一次性加工成型的优点，可避免加工过程中多次工装及人为操作产生的误差。
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公开(公告)号：CN102646752B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201110425122.1
申请日：2011-12-16
申请人： 帕洛阿尔托研究中心公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0224
CPC分类号： B29C47/0064 , B01F5/0604 , B29C47/0019 , B29C47/026 , B29C47/061 , B29C47/062 , B29C47/065 , B29C47/707 , B29L2009/00 , B29L2031/3468 , B29L2031/7146 , B29L2031/737 , B81C99/0015 , Y10S425/049
摘要： 共挤设备，具有：至少一个第一入口，接收第一材料；至少一个第二入口，接收第二材料；第一组合通道，接收第一材料和第二材料并将它们组合成在第一方向上流动的第一组合流；分裂通道，接收第一组合流并将它分裂成至少部分地正交于第一方向的第二方向上的至少两个分裂流，每个分裂流由第一材料和第二材料组成；第二组合通道，接收分裂流并将它组合成第一方向上的第二组合流；及至少一个出口，布置为允许材料作为单个流流出该设备。用于沉积包括交指型材料的结构的方法，包括：将至少两个材料的流合并成第一方向上的第一组合流；在第二方向上分割第一组合流以产生至少两个分离流，其中该第二方向垂直于该第一方向；将两个分离流合并成第二组合流。
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公开(公告)号：CN102646752A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201110425122.1
申请日：2011-12-16
申请人： 帕洛阿尔托研究中心公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0224
CPC分类号： B29C47/0064 , B01F5/0604 , B29C47/0019 , B29C47/026 , B29C47/061 , B29C47/062 , B29C47/065 , B29C47/707 , B29L2009/00 , B29L2031/3468 , B29L2031/7146 , B29L2031/737 , B81C99/0015 , Y10S425/049
摘要： 共挤设备，具有：至少一个第一入口，接收第一材料；至少一个第二入口，接收第二材料；第一组合通道，接收第一材料和第二材料并将它们组合成在第一方向上流动的第一组合流；分裂通道，接收第一组合流并将它分裂成至少部分地正交于第一方向的第二方向上的至少两个分裂流，每个分裂流由第一材料和第二材料组成；第二组合通道，接收分裂流并将它组合成第一方向上的第二组合流；及至少一个出口，布置为允许材料作为单个流流出该设备。用于沉积包括交指型材料的结构的方法，包括：将至少两个材料的流合并成第一方向上的第一组合流；在第二方向上分割第一组合流以产生至少两个分离流，其中该第二方向垂直于该第一方向；将两个分离流合并成第二组合流。
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公开(公告)号：CN104010515B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201280012190.8
申请日：2012-02-24
申请人： 呼瓦基有限责任公司
CPC分类号： B29C47/003 , B29C47/0016 , B29C47/0021 , B29C47/0023 , B29C47/0026 , B29C47/12 , B29C47/8895 , B29C47/90 , B29C55/22 , B29K2101/12 , B29K2995/0074 , B29K2995/0093 , B29L2031/756 , B81C99/0015
摘要： 一种用于制造具有微结构的挤出部件的制造设备，包括：一个支撑结构；由该支撑结构承载的一个用于接纳原料的料斗；与该料斗操作性相关联的一个挤出室，该挤出室用于从该料斗中接纳原料并且在一个原料熔化温度以上熔化该原料；由该支撑结构承载的一个模口，该模口具有布置在该模口的内表面上的多个模口微结构，这些模口微结构具有各自具有一个上表面和一个下表面的多个微特征，熔化的原料被迫使穿过该模口以便产生具有挤出物微结构的一种挤出物；以及一个冷却组件，其中该冷却前的挤出物的挤出物微结构具有比经冷却的挤出物的挤出物微结构更大的物理尺寸。
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公开(公告)号：CN101219446B
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN200710167684.4
申请日：2007-10-31
申请人： 太阳世界创新有限公司
CPC分类号： B81C99/0015 , B29C47/0014 , B29C47/0021 , B29C47/30 , Y10T156/108
摘要： 一种用于在微挤出设备中制作高纵横比的网格线结构的共挤出头，包括多个板(如金属板)，它们被加工并装配成限定了三部件的流道，该流道具有沿挤出头的边缘表面布置的相关出口。参照面在板上得到蚀刻并沿与三流道空腔的输出接合部相交的直线排列。装配后(如使用高压结合技术)，每个参照面被定位于在边缘表面上设置的槽内。接着采用作为精确导向的参照面将共挤出头的边缘表面平整(如使用线EDM切割加工)，由此生成具有均匀流动阻抗的均匀长度的出口孔。
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公开(公告)号：CN104010515A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201280012190.8
申请日：2012-02-24
申请人： 呼瓦基有限责任公司
IPC分类号： A23C3/04
CPC分类号： B29C47/003 , B29C47/0016 , B29C47/0021 , B29C47/0023 , B29C47/0026 , B29C47/12 , B29C47/8895 , B29C47/90 , B29C55/22 , B29K2101/12 , B29K2995/0074 , B29K2995/0093 , B29L2031/756 , B81C99/0015
摘要： 一种用于制造具有微结构的挤出部件的制造设备，包括：一个支撑结构；由该支撑结构承载的一个用于接纳原料的料斗；与该料斗操作性相关联的一个挤出室，该挤出室用于从该料斗中接纳原料并且在一个原料熔化温度以上熔化该原料；由该支撑结构承载的一个模口，该模口具有布置在该模口的内表面上的多个模口微结构，这些模口微结构具有各自具有一个上表面和一个下表面的多个微特征，熔化的原料被迫使穿过该模口以便产生具有挤出物微结构的一种挤出物；以及一个冷却组件，其中该冷却前的挤出物的挤出物微结构具有比经冷却的挤出物的挤出物微结构更大的物理尺寸。
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公开(公告)号：CN101733209B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN200910222412.9
申请日：2009-11-06
申请人： 太阳世界创新有限公司
发明人： 戴维·K·福克 , 斯科特·E·索尔伯格
CPC分类号： H01L21/6715 , B29C47/0002 , B29C47/0016 , B29C47/026 , B29C47/062 , B29C47/084 , B29C47/128 , B29L2031/06 , B81B2207/07 , B81C99/0015
摘要： 一种在微挤压系统中用于在基底上形成平行的挤压材料线的微挤压印刷头组件，包括用于将材料推/吸出该印刷头组件中限定的挤压喷管的送料系统，Z轴定位机构和底座。该微挤压印刷头包括夹在背部和前部板结构之间的分层喷管结构。该分层喷管结构包括堆叠的板，其包括中间夹有喷管出口板的顶部和底部喷管板。根据各实施方式，修改该印刷头组件的该喷管结构材料、该印刷头组件的输出几何形状以及该印刷头组件的内部导管的几何形状中的至少一项以使穿过该挤压喷管移动的圆珠在离开该印刷头喷管孔时被可靠地朝该目标基底引导(偏斜)。
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公开(公告)号：CN101219447A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200710184986.2
申请日：2007-10-31
申请人： 帕洛阿尔托研究中心公司
CPC分类号： B81C1/00634 , B29C47/0019 , B29C47/0023 , B29C47/003 , B29C47/0052 , B29C47/062 , B29C47/065 , B29C47/884 , B29C49/061 , B81B2203/0376 , B81C99/0015
摘要： 本发明涉及具有平衡形状的挤出结构，其中挤出头被置于在基材上，并且材料通过所述挤出头的倾斜(例如，半圆形或锥形)的出口孔被挤出以形成具有平衡形状的关联挤出结构，其在被沉积在所述基材上之后抵抗下陷。所述挤出头包括流体通道，其具有由平坦的第一(例如，金属)片板形成的平坦表面，以及由细长的倾斜沟形成的倾斜(例如，基本上半圆柱形的)表面，其是蚀刻的，否则在第二片板中形成。所述流体通道与所述出口孔连通，其具有由所述第一片板形成的平坦边缘，以及由所述倾斜沟的端部形成的倾斜边缘。所述材料被挤出通过所述出口孔，从而使其平坦的下表面接触所述基材，并且其倾斜的上表面背向所述基材。两种材料被共挤出以形成大高宽比的网格。
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公开(公告)号：CN101219446A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200710167684.4
申请日：2007-10-31
申请人： 帕洛阿尔托研究中心公司
CPC分类号： B81C99/0015 , B29C47/0014 , B29C47/0021 , B29C47/30 , Y10T156/108
摘要： 一种用于在微挤出设备中制作高纵横比的网格线结构的共挤出头，包括多个板(如金属板)，它们被加工并装配成限定了三部件的流道，该流道具有沿挤出头的边缘表面布置的相关出口。参照面在板上得到蚀刻并沿与三流道空腔的输出接合部相交的直线排列。装配后(如使用高压结合技术)，每个参照面被定位于在边缘表面上设置的槽内。接着采用作为精确导向的参照面将共挤出头的边缘表面平整(如使用线EDM切割加工)，由此生成具有均匀流动阻抗的均匀长度的出口孔。
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