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公开(公告)号：CN105143101A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480024045.0
申请日：2014-02-25
申请人： 普莱克斯技术有限公司
CPC分类号： B01J20/186 , C01B23/0068 , C01B23/0078 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045
摘要： 本申请描述了最佳材料组合物，其允许用于从流体进料流中纯化至少一种进料组分，以使得吸附剂具有至少10重量%的氧容量。更具体地，所述材料是具有大于或等于3:1的比例的氧相对氩的选择性的用于流体进料流纯化的吸附剂，所述吸附剂为使用锂进行部分离子交换以产生小于4A型沸石且大于3A型沸石的孔尺寸的A型沸石。在经交换的沸石中，非锂电荷平衡抗衡阳离子基本是钠。所述吸附剂是具有至多20重量%的粘合剂的团聚颗粒形式，所述团聚吸附剂颗粒在0.4至1.2 mm的范围内。
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公开(公告)号：CN105143101B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201480024045.0
申请日：2014-02-25
申请人： 普莱克斯技术有限公司
CPC分类号： B01J20/186 , C01B23/0068 , C01B23/0078 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045
摘要： 本申请描述了最佳材料组合物，其允许用于从流体进料流中纯化至少一种进料组分，以使得吸附剂具有至少10重量%的氧容量。更具体地，所述材料是具有大于或等于3:1的比例的氧相对氩的选择性的用于流体进料流纯化的吸附剂，所述吸附剂为使用锂进行部分离子交换以产生小于4A型沸石且大于3A型沸石的孔尺寸的A型沸石。在经交换的沸石中，非锂电荷平衡抗衡阳离子基本是钠。所述吸附剂是具有至多20重量%的粘合剂的团聚颗粒形式，所述团聚吸附剂颗粒在0.4至1.2 mm的范围内。
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公开(公告)号：CN105939961A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201580006723.5
申请日：2015-01-14
申请人： 信越半导体株式会社
CPC分类号： C01B23/0094 , B01D53/0462 , B01D53/047 , B01D53/261 , B01D53/62 , B01D53/75 , B01D53/864 , B01D53/8671 , B01D2253/104 , B01D2253/106 , B01D2253/108 , B01D2255/1021 , B01D2256/18 , B01D2257/102 , B01D2257/104 , B01D2257/502 , B01D2257/504 , B01D2257/80 , B01D2258/0216 , C01B23/001 , C01B23/0015 , C01B23/0021 , C01B23/0057 , C01B23/0068 , C01B23/0078 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045 , C01B2210/0046 , C01B2210/005 , C01B2210/0098 , Y02A50/2341 , Y02C10/04 , Y02C10/08 , Y02P20/152
摘要： 本发明是一种氩气回收精制方法及氩气回收精制装置，该方法具有从单晶硅制造装置向废氩气贮槽导入含有氮气、氧气及一氧化碳的废氩气的工序、用去除所述废氩气中的固形物的预处理设备来去除所述固形物的工序、通过催化反应分别将所述氧气转化为水、将所述一氧化碳转化为二氧化碳的工序、及去除所述水、所述二氧化碳及所述氮气得到回收气体的工序，在通过将催化剂配置于双级压缩机内，仅用压缩热进行所述催化反应来得到所述回收气体的工序中，在预先用干燥机去除所述水后，用常温吸附塔吸附去除所述氮气、所述二氧化碳。由此提供一种使用简单且低成本的设备，就能够稳定去除从单晶硅制造装置排出的大风量氩气中所含的杂质气体的氩气回收精制方法。
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公开(公告)号：CN105939961B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201580006723.5
申请日：2015-01-14
申请人： 信越半导体株式会社
CPC分类号： C01B23/0094 , B01D53/0462 , B01D53/047 , B01D53/261 , B01D53/62 , B01D53/75 , B01D53/864 , B01D53/8671 , B01D2253/104 , B01D2253/106 , B01D2253/108 , B01D2255/1021 , B01D2256/18 , B01D2257/102 , B01D2257/104 , B01D2257/502 , B01D2257/504 , B01D2257/80 , B01D2258/0216 , C01B23/001 , C01B23/0015 , C01B23/0021 , C01B23/0057 , C01B23/0068 , C01B23/0078 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045 , C01B2210/0046 , C01B2210/005 , C01B2210/0098 , Y02A50/2341 , Y02C10/04 , Y02C10/08 , Y02P20/152
摘要： 本发明是一种氩气回收精制方法及氩气回收精制装置，该方法具有从单晶硅制造装置向废氩气贮槽导入含有氮气、氧气及一氧化碳的废氩气的工序、用去除所述废氩气中的固形物的预处理设备来去除所述固形物的工序、通过催化反应分别将所述氧气转化为水、将所述一氧化碳转化为二氧化碳的工序、及去除所述水、所述二氧化碳及所述氮气得到回收气体的工序，在通过将催化剂配置于双级压缩机内，仅用压缩热进行所述催化反应来得到所述回收气体的工序中，在预先用干燥机去除所述水后，用常温吸附塔吸附去除所述氮气、所述二氧化碳。由此提供一种使用简单且低成本的设备，就能够稳定去除从单晶硅制造装置排出的大风量氩气中所含的杂质气体的氩气回收精制方法。
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公开(公告)号：CN105026313A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201480011775.7
申请日：2014-02-21
申请人： 普莱克斯技术有限公司
CPC分类号： F25J3/08 , C01B23/0052 , C01B23/0068 , C01B23/0078 , C01B2210/0021 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045 , F25J3/04733 , F25J2205/60 , F25J2220/44
摘要： 本发明涉及使用TSA(温度摆动吸附)循环方法从液态氩移除氧的方法，所述方法包括冷却吸附剂床以使氩维持在液相；向所述吸附剂床供应被氧污染的液态氩进料以及纯化所述液态氩，从而制备具有比在初始液态氩进料中更少的氧污染物的氩产物；排空所述纯化的残留液态氩产物，以及将纯化的氩送出所述吸附剂床。特别制备的吸附剂的再生允许所述吸附剂床升温至排除需要真空或从所述床撤空吸附剂的应用的温度。
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