使四卤化硅及硅氢化成三卤硅烷的装置和方法

    公开(公告)号:CN102203009B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN200980144676.5

    申请日:2009-11-02

    IPC分类号: C01B33/107 C01B33/04

    摘要: 一种用于使四卤化硅及冶金级硅(MGS)氢化成三卤硅烷的反应器,其包括由冶金硅颗粒构成的底座、一个或多个进气口、一个或多个固体进口、一个或多个固体排出口及一个或多个用于从反应器中移除三卤硅烷的端口。由于进入反应器的四卤化硅/氢气进料流中夹带进料硅颗粒以及在所述硅颗粒构成的底座上碰撞所述流而引起内部磨削及磨蚀,使底座颗粒上可形成新生表面。这样具有的优点为较高的三卤硅烷产率、较高的MGS燃耗率、可将废MGS作为在离开反应器的三卤硅烷排出物中所携带的细粉尘而去除、以及在停机进行底座移除之间间隔的时间较长。

    甲硅烷的连续式制造方法

    公开(公告)号:CN101511732B

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN200780032589.1

    申请日:2007-09-27

    摘要: 本发明提供简便且高效地制造在工业上非常有用的甲硅烷的方法。所述方法的特征在于,采用具有反应塔、与所述反应塔的顶部串联连结的带回流液供给导管的多个上段冷凝器、所述反应塔的底部再沸器以及与所述反应塔的底部连结的蒸发槽的甲硅烷制造装置;向所述反应塔的中段部供给三氯硅烷和二氯硅烷中的至少一方,向所述反应塔的上段部供给作为催化剂的脂肪族烃取代叔胺和脂肪族烃取代叔胺的盐酸盐中的至少一方,从所述反应塔的顶部向所述多个上段冷凝器导入包含甲硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷和三氯硅烷的生成混合物,通过上段冷凝器在50~-50℃的温度下从包含一氯硅烷、二氯硅烷和三氯硅烷的冷凝液中分离甲硅烷,将分离了甲硅烷的冷凝液通过所述回流液供给导管导回反应塔的上段部,在所述反应塔内使其与催化剂接触,从所述反应塔的底部获取包含四氯硅烷和催化剂的底部回收液并导入所述蒸发槽,将从所述蒸发槽的底部回收的催化剂导回所述反应塔。

    甲硅烷的连续式制造方法

    公开(公告)号:CN101511732A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200780032589.1

    申请日:2007-09-27

    摘要: 本发明提供简便且高效地制造在工业上非常有用的甲硅烷的方法。所述方法的特征在于,采用具有反应塔、与所述反应塔的顶部串联连结的带回流液供给导管的多个上段冷凝器、所述反应塔的底部再沸器以及与所述反应塔的底部连结的蒸发槽的甲硅烷制造装置;向所述反应塔的中段部供给三氯硅烷和二氯硅烷中的至少一方,向所述反应塔的上段部供给作为催化剂的脂肪族烃取代叔胺和脂肪族烃取代叔胺的盐酸盐中的至少一方,从所述反应塔的顶部向所述多个上段冷凝器导入包含甲硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷和三氯硅烷的生成混合物,通过上段冷凝器在50~-50℃的温度下从包含一氯硅烷、二氯硅烷和三氯硅烷的冷凝液中分离甲硅烷,将分离了甲硅烷的冷凝液通过所述回流液供给导管导回反应塔的上段部,在所述反应塔内使其与催化剂接触,从所述反应塔的底部获取包含四氯硅烷和催化剂的底部回收液并导入所述蒸发槽,将从所述蒸发槽的底部回收的催化剂导回所述反应塔。