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公开(公告)号:CN102203009B
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN200980144676.5
申请日:2009-11-02
申请人: 劳德有限公司
发明人: 斯蒂芬·M·劳德
IPC分类号: C01B33/107 , C01B33/04
CPC分类号: C01B33/10773 , B01J8/1827 , B01J8/24 , C01B33/1071
摘要: 一种用于使四卤化硅及冶金级硅(MGS)氢化成三卤硅烷的反应器,其包括由冶金硅颗粒构成的底座、一个或多个进气口、一个或多个固体进口、一个或多个固体排出口及一个或多个用于从反应器中移除三卤硅烷的端口。由于进入反应器的四卤化硅/氢气进料流中夹带进料硅颗粒以及在所述硅颗粒构成的底座上碰撞所述流而引起内部磨削及磨蚀,使底座颗粒上可形成新生表面。这样具有的优点为较高的三卤硅烷产率、较高的MGS燃耗率、可将废MGS作为在离开反应器的三卤硅烷排出物中所携带的细粉尘而去除、以及在停机进行底座移除之间间隔的时间较长。
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公开(公告)号:CN101466463B
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN200680035693.1
申请日:2006-06-19
申请人: 赢创德固赛有限责任公司
CPC分类号: C01B33/043 , B01D3/009 , B01J8/0085 , B01J8/009 , B01J8/025 , B01J8/0285 , B01J8/0426 , B01J8/0438 , B01J8/0453 , B01J8/048 , B01J8/0484 , B01J8/0492 , B01J8/0496 , B01J8/065 , B01J8/067 , B01J19/30 , B01J19/32 , B01J2208/00176 , B01J2208/00212 , B01J2208/00221 , B01J2208/00247 , B01J2208/00274 , B01J2208/00283 , B01J2208/0053 , B01J2208/00884 , B01J2208/021 , B01J2219/30475 , B01J2219/32466 , B01J2219/3325 , C01B33/10773 , Y02P20/127 , Y10S203/06
摘要: 本发明涉及通过催化歧化三氯硅烷来连续生产甲硅烷和四氯化硅的设备和方法,其中在根据权利要求1的设备中以一定操作温度和1-50bar绝压下操作,在权利要求1的设备中:三氯硅烷(A)在热交换器(7)中预热,并且将预热后的三氯硅烷进料到提供催化剂(3)的逆流反应器(1)中;在逆流反应器(1)中形成的产物混合物至少部分被冷凝器(5)冷凝,冷凝温度为-25至50℃之间,冷凝物流回到逆流反应器(1)中;冷凝器(5)中没有被冷凝的产物相进入到冷凝单元(8)中,其中该冷凝单元在温度为-40至-110℃下操作;来自冷凝单元(8)的挥发性产物相被进料到蒸馏塔9中,该塔的操作温度为-60至-170℃之间,并且甲硅烷(C)在蒸馏塔(9)的顶部排出;来自逆流反应器(1)的含SiCl4底部产物在蒸发单元(6)中被加热到60-110℃的温度范围;来自蒸发器(6)的底部产物经过热交换器(7)送入逆流反应器(1)的双壁(2)内,并且含SiCl4产物流(B)在反应器(1)的上部区域位置排出。
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公开(公告)号:CN101511732B
公开(公告)日:2011-12-07
申请号:CN200780032589.1
申请日:2007-09-27
申请人: 电气化学工业株式会社
CPC分类号: B01J31/0239 , B01J31/0237 , C01B33/043 , C01B33/10773 , Y02P20/584
摘要: 本发明提供简便且高效地制造在工业上非常有用的甲硅烷的方法。所述方法的特征在于,采用具有反应塔、与所述反应塔的顶部串联连结的带回流液供给导管的多个上段冷凝器、所述反应塔的底部再沸器以及与所述反应塔的底部连结的蒸发槽的甲硅烷制造装置;向所述反应塔的中段部供给三氯硅烷和二氯硅烷中的至少一方,向所述反应塔的上段部供给作为催化剂的脂肪族烃取代叔胺和脂肪族烃取代叔胺的盐酸盐中的至少一方,从所述反应塔的顶部向所述多个上段冷凝器导入包含甲硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷和三氯硅烷的生成混合物,通过上段冷凝器在50~-50℃的温度下从包含一氯硅烷、二氯硅烷和三氯硅烷的冷凝液中分离甲硅烷,将分离了甲硅烷的冷凝液通过所述回流液供给导管导回反应塔的上段部,在所述反应塔内使其与催化剂接触,从所述反应塔的底部获取包含四氯硅烷和催化剂的底部回收液并导入所述蒸发槽,将从所述蒸发槽的底部回收的催化剂导回所述反应塔。
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公开(公告)号:CN101511732A
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200780032589.1
申请日:2007-09-27
申请人: 电气化学工业株式会社
CPC分类号: B01J31/0239 , B01J31/0237 , C01B33/043 , C01B33/10773 , Y02P20/584
摘要: 本发明提供简便且高效地制造在工业上非常有用的甲硅烷的方法。所述方法的特征在于,采用具有反应塔、与所述反应塔的顶部串联连结的带回流液供给导管的多个上段冷凝器、所述反应塔的底部再沸器以及与所述反应塔的底部连结的蒸发槽的甲硅烷制造装置;向所述反应塔的中段部供给三氯硅烷和二氯硅烷中的至少一方,向所述反应塔的上段部供给作为催化剂的脂肪族烃取代叔胺和脂肪族烃取代叔胺的盐酸盐中的至少一方,从所述反应塔的顶部向所述多个上段冷凝器导入包含甲硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷和三氯硅烷的生成混合物,通过上段冷凝器在50~-50℃的温度下从包含一氯硅烷、二氯硅烷和三氯硅烷的冷凝液中分离甲硅烷,将分离了甲硅烷的冷凝液通过所述回流液供给导管导回反应塔的上段部,在所述反应塔内使其与催化剂接触,从所述反应塔的底部获取包含四氯硅烷和催化剂的底部回收液并导入所述蒸发槽,将从所述蒸发槽的底部回收的催化剂导回所述反应塔。
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公开(公告)号:CN101450323A
公开(公告)日:2009-06-10
申请号:CN200810179808.5
申请日:2008-12-05
申请人: 赢创德固赛有限责任公司
IPC分类号: B01J31/02
CPC分类号: B01J31/127 , B01J31/0254 , B01J31/0274 , C01B33/10773
摘要: 本发明涉及一种用于歧化含氢卤代硅烷的催化剂、其应用以及用于歧化含氢卤代硅烷特别是含氢氯硅烷的方法。
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公开(公告)号:CN103249673B
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201180060488.1
申请日:2011-12-02
申请人: 赢创德固赛有限公司
IPC分类号: C01B33/04 , C01B33/107 , B01J31/02
CPC分类号: C01B33/10773 , B01J31/0267 , C01B33/021 , C01B33/04
摘要: 本发明涉及通过低级卤硅烷歧化反应制备高级卤硅烷的方法。本发明还涉及从通过歧化反应制备的高级卤硅烷制备高级氢化硅烷的方法。本发明另外涉及包含通过所述方法制备的至少一种高级卤硅烷或至少一种高级氢化硅烷的混合物。本发明最后涉及这种包含至少一种高级氢化硅烷的混合物用于制备电子或光电部件层或制备含硅层的用途。
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公开(公告)号:CN105121343A
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201480023124.X
申请日:2014-02-28
申请人: 赢创德固赛有限公司
IPC分类号: C01B33/107
CPC分类号: C01B33/107 , B01J19/088 , B01J2219/0805 , C01B33/10742 , C01B33/10773
摘要: 本发明涉及使氯代多硅烷反应成六氯二硅烷的方法,其中使至少一种三聚体的氯代多硅烷或与更高分子量的氯代多硅烷混合的三聚体的氯代多硅烷暴露于气体放电中,并形成和分离出六氯二硅烷。
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公开(公告)号:CN102365235B
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN200980158582.3
申请日:2009-03-30
申请人: 电气化学工业株式会社
IPC分类号: C01B33/107
CPC分类号: C01B33/107 , B01D53/002 , B01D2251/202 , B01D2257/204 , B01D2257/553 , C01B33/1071 , C01B33/10773
摘要: 本发明涉及由四氯硅烷和氢气生产三氯硅烷时作为副产物生成的六氯乙硅烷的回收方法,其具有如下工序:在700~1400℃范围的温度下,使含有气化的四氯硅烷和氢气的原料气体发生反应从而得到反应生成气体的工序;将反应生成气体冷却至30~60℃的温度范围从而得到含有六氯乙硅烷的冷凝液的工序;以及从冷凝液中浓缩回收含有六氯乙硅烷的高沸点物的工序。
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公开(公告)号:CN103354802A
公开(公告)日:2013-10-16
申请号:CN201280008841.6
申请日:2012-01-19
申请人: 赢创德固赛有限公司
IPC分类号: C01B33/107
CPC分类号: C01B33/1071 , B01J31/0274 , B01J31/0275 , C01B33/10773
摘要: 本发明涉及通过在催化剂存在下甲硅烷和二氯硅烷反应制备一氯硅烷的方法。在本发明方法中,通过甲硅烷与二氯硅烷的对称歧化反应形成一氯硅烷。本发明进一步涉及制备的一氯硅烷的用途以及实施所述方法的装置。
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公开(公告)号:CN102725229A
公开(公告)日:2012-10-10
申请号:CN201080061762.2
申请日:2010-12-15
申请人: 赢创德固赛有限公司
IPC分类号: C01B33/107 , B01J12/00 , B01J19/02 , B01J19/24 , B01J8/06
CPC分类号: C01B33/10773 , B01J8/062 , B01J12/007 , B01J19/0053 , B01J19/02 , B01J19/2425 , B01J2208/00415 , B01J2208/00504 , B01J2208/00513 , B01J2219/00157 , B01J2219/0263 , C01B33/1071 , C01B33/10731 , Y02P20/129
摘要: 本发明涉及一种在加氢脱氯反应器中使四氯化硅与氢气反应生成三氯硅烷的方法,其中该加氢脱氯反应器是压力驱动的,并且包含一个或多个由陶瓷材料制成的反应器管。本发明进一步涉及这样的加氢脱氯反应器的用途,其用作由冶金硅来生产三氯硅烷的设备中的整体部件。
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