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公开(公告)号：CN104755485A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380052746.0
申请日：2013-11-26
申请人： 株式会社艾迪科
IPC分类号： C07F5/06 , C23C16/40 , H01L21/316
CPC分类号： C23C16/45553 , C07F5/069 , C23C16/06 , C23C16/403 , C23C16/44 , C23C16/12 , H01L21/28556
摘要： 本发明涉及下述通式(I)所示的铝化合物。另外，本发明涉及含有该铝化合物而成的薄膜形成用原料。下述通式(I)中，R1及R2各自独立地表示碳数为2～5的直链或支链状的烷基，R3表示甲基或乙基。优选R1及R2为乙基。本发明的化合物为低熔点，显示充分的挥发性且具有高的热稳定性，适合作为利用CVD法的薄膜形成用原料。
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公开(公告)号：CN103921492A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410143291.X
申请日：2010-05-18
申请人： 豪梅特公司
发明人： K·S·莫菲
CPC分类号： F01D5/288 , B32B15/01 , B32B15/018 , C22C5/04 , C22C16/00 , C22C21/00 , C22C27/00 , C23C10/52 , C23C16/12 , C23C16/14 , Y10T428/12 , Y10T428/12736
摘要： 本发明涉及Pt-Al-Hf/Zr涂层及方法。本发明提供了Pt-Al-Hf/Zr铝化物涂层，该涂层可用作TBC的粘接涂层并改善在高温下使用的TBC剥落寿命。该铝化物涂层可包括亚稳三元或更高元X-Pt/Pd-Ni相，其中该相和合金系统中的其它元素存在于涂层的NiAlβ相中。该亚稳相在粘接涂层的沉积态条件下可存在并可观察到；例如在粘接涂层的CVD沉积态条件下。
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公开(公告)号：CN101418447B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN200810168251.5
申请日：2008-10-06
申请人： 赛峰飞机发动机公司
CPC分类号： C23C10/48 , C23C10/08 , C23C16/045 , C23C16/12 , C23C16/4488 , F01D5/189 , F01D5/288 , F01D9/065 , F05D2230/313 , F05D2230/314 , F05D2300/121 , Y02T50/67 , Y10T428/265 , Y10T428/31678
摘要： 本发明涉及一种采用气相沉积的渗铝方法，适用于涡轮机金属部件的高温氧化防护；所述部件(1)包括一个腔室，金属部件(9)就装在该腔室内，并从开口(5)装配到所述部件内；根据本发明方法，卤素和含有铝的金属给体之间发生反应而形成卤化物，然后，卤化物再通过运载气体运输与所述金属部件相接触；其特征在于，金属部件(9)在实施该方法前首先进行表面富铝处理，以便起到铝给体的作用。本发明特别涉及到装有一种衬套的喷嘴导向叶片。
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公开(公告)号：CN102292465B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201080005405.4
申请日：2010-05-18
申请人： 豪梅特公司
发明人： K·S·莫菲
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： F01D5/288 , B32B15/01 , B32B15/018 , C22C5/04 , C22C16/00 , C22C21/00 , C22C27/00 , C23C10/52 , C23C16/12 , C23C16/14 , Y10T428/12 , Y10T428/12736
摘要： 提供了Pt-Al-Hf/Zr铝化物涂层，该涂层可用作TBC的粘接涂层并改善在高温下使用的TBC剥落寿命。该铝化物涂层可包括亚稳三元或更高元X-Pt/Pd-Ni相，其中该相和合金系统中的其它元素存在于涂层的NiAlβ相中。该亚稳相在粘接涂层的沉积态条件下可存在并可观察到；例如在粘接涂层的CVD沉积态条件下。
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公开(公告)号：CN102292465A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080005405.4
申请日：2010-05-18
申请人： 豪梅特公司
发明人： K·S·莫菲
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： F01D5/288 , B32B15/01 , B32B15/018 , C22C5/04 , C22C16/00 , C22C21/00 , C22C27/00 , C23C10/52 , C23C16/12 , C23C16/14 , Y10T428/12 , Y10T428/12736
摘要： 提供了Pt-Al-Hf/Zr铝化物涂层，该涂层可用作TBC的粘接涂层并改善在高温下使用的TBC剥落寿命。该铝化物涂层可包括亚稳三元或更高元X-Pt/Pd-Ni相，其中该相和合金系统中的其它元素存在于涂层的NiAlβ相中。该亚稳相在粘接涂层的沉积态条件下可存在并可观察到；例如在粘接涂层的CVD沉积态条件下。
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公开(公告)号：CN101403103A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810168250.0
申请日：2008-10-06
申请人： 斯奈克玛
IPC分类号： C23C16/12
CPC分类号： C23C16/4488 , C23C10/06 , C23C10/08 , C23C16/045 , C23C16/12 , F01D5/18 , F01D5/288 , F01D9/041 , F01D9/065 , F05D2230/90 , F05D2300/121 , Y02T50/676
摘要： 本发明涉及通过在蒸汽相中沉积而保护涡轮机械金属部件不受高温氧化的铝化方法，所述部件包括空穴，该空穴带有可以由外部进入的开口。根据该方法，通过在卤素和含有铝的金属供体之间反应形成卤化物，然后，载运气体运输该卤化物接触所述金属部件，所述金属供体至少部分地放置于所述空穴内，其中金属供体是球粒形式，该球粒是通过在金属粉末混合物的压力下热烧结而获得。
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公开(公告)号：CN104947063B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201510359211.9
申请日：2008-10-06
申请人： 斯奈克玛
CPC分类号： C23C10/48 , C23C10/08 , C23C16/045 , C23C16/12 , C23C16/4488 , F01D5/189 , F01D5/288 , F01D9/065 , F05D2230/313 , F05D2230/314 , F05D2300/121 , Y02T50/67 , Y10T428/265 , Y10T428/31678
摘要： 本发明涉及一种采用气相沉积的渗铝方法，适用于金属涡轮机空心叶片(1)的高温氧化防护；所述叶片(1)包括一个腔室，金属部件(9)就装在该腔室内，并从开口(5)内装配到所述叶片内，所述金属部件(9)由一个多孔衬套组成，用来在所述腔室内散布冷却剂；根据本方法，卤素和含有铝的金属给体之间发生反应而形成卤化物，然后，卤化物再通过运载气体传输以与所述腔室内的金属部分相接触；其特征在于，所述金属部件(9)在实施该方法前首先进行表面富铝处理，以在其表面形成层从而起到铝给体的作用。本发明特别涉及装有所述衬套的喷嘴导向叶片。
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公开(公告)号：CN107176601A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201610268853.2
申请日：2016-04-27
申请人： 财团法人工业技术研究院
IPC分类号： C01B32/186 , C23C16/12 , C23C16/14 , C23C16/26 , C23C16/511
CPC分类号： H01M4/8652 , C23C16/26 , C23C16/511 , H01G11/36 , H01G11/86 , H01M4/8867 , H01M4/9041 , H01M4/9083 , H01M4/921 , H01M4/926 , Y02E60/13 , C01P2002/85 , C23C16/12 , C23C16/14
摘要： 一种金属掺杂石墨烯及其成长方法。所述金属掺杂石墨烯包括石墨烯与金属元素，其中金属元素占金属掺杂石墨烯总含量的1at％到30at％。所述成长方法包括以碳前驱物、金属前驱物以及VI族前驱物，经等离子体化学气相沉积法(PECVD)成长金属掺杂石墨烯。
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公开(公告)号：CN104947063A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510359211.9
申请日：2008-10-06
申请人： 斯奈克玛
CPC分类号： C23C10/48 , C23C10/08 , C23C16/045 , C23C16/12 , C23C16/4488 , F01D5/189 , F01D5/288 , F01D9/065 , F05D2230/313 , F05D2230/314 , F05D2300/121 , Y02T50/67 , Y10T428/265 , Y10T428/31678
摘要： 本发明涉及一种采用气相沉积的渗铝方法，适用于金属涡轮机空心叶片(1)的高温氧化防护；所述叶片(1)包括一个腔室，金属部件(9)就装在该腔室内，并从开口(5)内装配到所述叶片内，所述金属部件(9)由一个多孔衬套组成，用来在所述腔室内散布冷却剂；根据本方法，卤素和含有铝的金属给体之间发生反应而形成卤化物，然后，卤化物再通过运载气体传输以与所述腔室内的金属部分相接触；其特征在于，所述金属部件(9)在实施该方法前首先进行表面富铝处理，以在其表面形成层从而起到铝给体的作用。本发明特别涉及装有所述衬套的喷嘴导向叶片。
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公开(公告)号：CN1965102A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN200580018510.0
申请日：2005-04-01
申请人： 奈伊科公司
CPC分类号： C23C16/12 , C03C17/001 , C03C17/36 , C03C17/3649 , C03C17/3652 , C03C17/3657 , C03C17/3684 , C03C2217/72 , C03C2218/153 , C23C16/006 , C23C16/0272 , C23C16/402
摘要： 该方法包括下列步骤：把该基体(12)置于一真空盒(14)中；一液体成分在常温常压下蒸发成一气体；以及把该气体引入该盒(14)中。该气体分解后把一辅助气体引入该盒(14)中与该分解气体反应而在该基体(12)上生成至少一层薄层。本发明还涉及一种形成一彩色薄膜的方法和能实施本发明方法的一种装置(10)。
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