公开(公告)号：CN109596538A

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201811122846.7

申请日：2018-09-26

Applicant: 株式会社堀场制作所

Inventor： 涩谷享司 ,  福城显辅 ,  太田敏雄 ,  西村克美

IPC: G01N21/31

CPC classification number: G01N21/39 ,  G01J3/10 ,  G01J3/433 ,  G01J3/4338 ,  G01J2001/4242 ,  G01J2003/4332 ,  G01J2003/4334 ,  G01N21/3504 ,  G01N2021/396 ,  G01N2201/12 ,  G01N21/31

Abstract: 本发明提供一种分析装置(100)，对导入样品的测量腔(1)照射脉冲振荡的光，分析所述样品中所含有的测量对象成分，所述分析装置不缩短脉冲宽度就能够抑制波长分辨率降低，所述分析装置具备：脉冲振荡的多个光源(2)；光检测器(3)，检测由所述光源(2)射出并通过所述测量腔(1)的光；信号分离部(6)，从由所述光检测器(3)得到的光强度信号中分离出与所述光源的脉冲振荡的一部分对应的信号。

公开(公告)号：CN106289528B

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201610814526.2

申请日：2016-09-09

Applicant: 深圳市太赫兹系统设备有限公司 ,  华讯方舟科技有限公司

Inventor： 彭世昌 ,  潘奕 ,  李辰 ,  丁庆

IPC: G01J3/433 ,  G01J3/06

CPC classification number: G01J3/06 ,  G01J3/433

Abstract: 本发明适用于太赫兹技术领域，提供一种电控光取样系统及太赫兹时域光谱仪，其中，电控光取样系统包括第一激光模块、第二激光模块、第一分束器、第二分束器、第一光电传感器、第二光电传感器、相位探测器、加法器和函数发生器，其中，第一激光模块包括压电传感器；第一分束器通过光纤与第一激光模块连接，第二分束器通过光纤与第二激光模块连接，第一光电传感器和第二光电传感器均与相位探测器连接，相位探测器和函数发生器均与加法器连接，加法器与压电传感器连接。本发明通过采用电控光取样系统来实现时域扫描，并采用光纤取代传统的自由空间来传输光信号，提高了扫描速度、保证了光束传播的稳定性。

公开(公告)号：CN107144545A

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201710437468.0

申请日：2017-06-09

Applicant: 深圳市太赫兹科技创新研究院 ,  深圳市太赫兹系统设备有限公司

Inventor： 彭世昌 ,  丁庆 ,  冯军正

IPC: G01N21/3581 ,  G01J3/433

CPC classification number: G01J3/433 ,  G01N21/3581

Abstract: 本发明涉及一种全光纤式太赫兹时域光谱仪。全光纤式太赫兹时域光谱仪，包括：光纤激光器，用于提供飞秒激光脉冲；全光纤传输模块，包括多段传输光纤；飞秒激光脉冲能够完全在传输光纤中传输且保持飞秒激光脉冲的偏振方向不变，分束器，用于将飞秒激光脉冲进行分束，并分别通过传输光纤对应输出泵浦光和探测光；太赫兹辐射模块，用于接收在传输光纤中传输的泵浦光并辐射出太赫兹波；以及太赫兹探测模块，用于接收在传输光纤中传输的探测光并探测太赫兹波。上述全光纤式太赫兹时域光谱仪能够保证光纤激光器辐射出的飞秒激光脉冲全程都在传输光纤中传输，即使有外界环境的变动也能保证光谱仪性能的稳定性。

公开(公告)号：CN107112255A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580059150.2

申请日：2015-08-28

Applicant: 奥罗拉太阳能科技(加拿大)公司

Inventor： 斯蒂芬·沃伦·布莱恩

IPC: H01L21/66 ,  G01J3/433 ,  H01L31/18 ,  H01L33/00

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01J3/0254 ,  G01J3/433 ,  G01N21/55 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/062 ,  G01N2201/065 ,  H01L22/12 ,  H01L31/18

Abstract: 一种通过以下来非接触地测量半导体材料的掺杂物含量的系统和方法：将离开材料的红外(IR)辐射反射到积分球中以散射所接收的辐射，并使部分的辐射穿过不同波长范围的带通滤波器，比较穿过每个滤波器的能级，并且通过参照由用于该系统的已知晶圆掺杂物含量制成的相关曲线来计算掺杂物含量。

公开(公告)号：CN106841094A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201710002309.8

申请日：2017-01-03

Applicant: 北京环境特性研究所

Inventor： 蔡禾 ,  孙金海 ,  张少华 ,  张旭涛

IPC: G01N21/3586 ,  G01J3/433

CPC classification number: G01N21/3586 ,  G01J3/433

Abstract: 本发明公开了一种提高太赫兹时域光谱系统频谱分辨率的方法，包括：将太赫兹时域光谱系统中的电光晶体设计为楔形，电光晶体的前表面与探测激光的光轴垂直、后表面与探测激光的光轴形成夹角；使用吸波体遮挡住在电光晶体内震荡后出射的探测激光。本发明通过设计电光晶体的切割角度能够改变激光在晶体后表面的传播方向，避免了在晶体内多次震荡的探测激光与太赫兹波发生多次重复相互作用后进入探测器，能够从系统回波产生的根源处着手消除回波，增加有效的太赫兹波测量数据，提高太赫兹时域光谱系统的频谱分辨率。

公开(公告)号：CN105784609A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201511036236.1

申请日：2015-12-24

Applicant: 通用电气公司

Inventor： N·卡沃里塞图马哈文 ,  S·梅蒂 ,  S·帕兰甘达普纳查 ,  M·穆赫吉 ,  P·哈尔德 ,  H·萨西库马 ,  P·潘迪

IPC: G01N21/31 ,  G01N21/39

CPC classification number: G01N21/31 ,  G01J3/433 ,  G01N21/03 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/39 ,  G01N2201/061 ,  G01N2021/399

Abstract: 一种用于确定存在于气体混合物中的至少一个个别气体的浓度的方法包含：通过由所确定吸收波长范围、调制频率和调制幅度所表征的入射调制光束来辐射第一组分以生成第一传播光束；通过第一入射调制光束来辐射包括所确定浓度的至少一个个别气体的第二组分以生成第二传播光束；生成表示第一传播光束的特性的噪声信号；生成表示第二传播光束的特性的无噪声信号；基于噪声信号和无噪声信号来从调制频率和调制幅度中选择最佳调制频率和最佳调制幅度；并且基于所确定吸收波长范围的最佳调制频率和最佳调制幅度来确定气体混合物中的至少一个个别气体的浓度。

公开(公告)号：CN105628205A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201510917195.0

申请日：2015-12-11

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王智宏 ,  季绪飞 ,  刘杰 ,  王婧茹

IPC: G01J3/433 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01J3/433 ,  G01J3/02

Abstract: 本发明涉及一种调幅信号的周期同步测频修正数字解调检测系统及检测方法，本发明是采用整周期或半周期同步测频修正的数字累积解调的检测系统和方法实现幅度调制信号的幅值检测。检测系统以微控制器单元控制高速模数转换单元进行信号采集，并通过绝对值累计平均计算实现锁相放大的数字化积分和滤波处理；同时捕获信号整周期或半周期的起点，利用高频计数测量信号的频率，并对检测结果进行频率修正。与现有的采用模拟锁相放大电路的检测系统相比，电路简单、无中间调试环节、检测精度高；与已有的简化的数字解调检测系统相比，在没有增加电路和算法的复杂度以及检测时间和成本的前提下降低了系统检测的噪声，提高了检测精度。

公开(公告)号：CN104792728A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201510030169.6

申请日：2015-01-21

Applicant: 西门子公司

Inventor： 拉尔夫·比特 ,  托马斯·汉凯维奇 ,  克里斯托弗·沃尔夫冈·马夸特 ,  阿德里安·穆哈 ,  扬·奈格伦 ,  凯-乌韦·普莱班 ,  弗朗茨·施泰因巴赫尔

IPC: G01N21/39 ,  G01J3/433

CPC classification number: G01N21/39 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/28 ,  G01J3/433 ,  G01N33/0062 ,  G01N2021/399

Abstract: 本发明涉及一种基于波长调制光谱学(WMS)的、用于气体分析的方法，在该方法中，在调制频率的谐波中解调所获得的测量信号(13)并且通过使额定曲线(19)拟合到解调的测量信号(13′)的变化曲线上分析出测量结果(17)。为了减少由于干扰影响(例如：温度变化，干扰气体的浓度变化)所产生的测量结果的变化，无论是解调的测量信号(13′)还是额定曲线(19)均利用相同的过滤函数(滤波器15，20)过滤，其中，过滤函数设计用于，抑制干扰信号部分，其既与解调的测量信号(13′)的有效信号部分发生干涉也与额定曲线(19)发生干涉。

公开(公告)号：CN104515745A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201410521849.3

申请日：2014-09-30

Applicant: 西克股份公司

Inventor： 托尔斯滕·沃尔德曼 ,  罗尔夫·迪施

IPC: G01N21/3504

CPC classification number: G01J3/0205 ,  G01J3/0235 ,  G01J3/12 ,  G01J3/26 ,  G01J3/433 ,  G01J2003/1282 ,  G01N21/3504 ,  G01N33/0062

Abstract: 本发明涉及用于气体分析的光谱仪。其中提出了一种用于气体分析的光谱仪(10)，该光谱仪包括：填充有待测气体(30)的测量室(28)；用于在光路(16)上将光(14)发射到测量室(28)的光源(12)；滤波器布置(22)，其具有在光路(16)上的法布里-珀罗滤波器(24a-c)以便通过滤波器布置(22)的透射光谱来调节光(14)的频率特性；以及，检测器(36、38)，其通过测量室(28)中的气体(30)来测量光(14)的吸收。同时，滤波器布置(22)具有多个依次布置在光路(14)中的法布里-珀罗滤波器(24a-c)，并且还设置了用于滤波器布置(22)的控制器(44)，以便通过调节至少一个法布里-珀罗滤波器(24a-c)来改变透射光谱。

公开(公告)号：CN104458650A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410494303.3

申请日：2014-09-24

Applicant: 西门子公司

Inventor： 弗朗茨·施泰因巴赫尔

IPC: G01N21/39

CPC classification number: G01N21/00 ,  G01J3/433 ,  G01J2003/4334 ,  G01N21/39 ,  G01N33/0062 ,  G01N2201/0691

Abstract: 本发明涉及用于测量试样气体中气体成分浓度的方法和气体分析仪。为依波长扫描试样气体中待测气体成分的吸收谱线，能调谐波长的光源的光的波长在周期性依次连续的扫描区间中变化并在此附加利用调制频率来调制。调制光引导穿过试样气体至探测器，其测量信号在调制频率的二次谐波中来解调并分析在此获得的解调的测量信号来得出每个扫描区间的测量结果。为改进测量信号噪音关系，附加利用至少一个其他频率调制光源光的波长，该频率比下一个更低的其他频率或者调制频率大调制频率值的两倍。在至少一个其他频率的二次谐波中附加解调测量信号。此时获得的至少一个其他解调测量信号或与解调测量信号组合，或经分析得出其他测量结果，其与测量结果组合。