公开(公告)号：CN102197293A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200980141673.6

申请日：2009-08-21

申请人： 木村光照

发明人： 木村光照

IPC分类号： G01L21/14

CPC分类号： G01L21/14 ,  G01L9/0019 ,  G01L11/002

摘要： 提供一种用于测量高带宽气压的高灵敏高精度的(利用加热激振的)热传导式气压传感器。该传感器拥有简单的结构和电路构成，且利用一个芯片能测量从一个极低气压到1atm或更高的气压。在悬臂状薄膜10上形成薄膜温度感应器、加热装置及激振装置。激振装置利用加热装置间歇加热时基于构成所述薄膜的主2层的热膨胀差异而形成的翘曲和弯曲，作为2个主层使用热膨胀系数有很大差异的硅层和硅热氧化膜。而且，还可以具有通过塞贝克电流对所定时间的积分而变得高灵敏化的电路或抑制气流影响的帽。

公开(公告)号：CN103196628A

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201310074987.7

申请日：2013-03-08

申请人： 成都倍特科技有限责任公司

发明人： 郑文宸 ,  钟骁 ,  段宇麟 ,  明长友 ,  罗存益

IPC分类号： G01L21/14

CPC分类号： G01L21/14

摘要： 本发明公开了一种真空度在线检测系统，包括数据显示模块、数据采集终端、真空度在线检测模块、真空在线检测密封塞；所述真空在线检测密封塞用于获取真空设备内的真空数据；所述真空度在线检测模块用于对真空在线检测密封塞获取的真空数据进行处理得到真空设备真空层的真空度；所述数据采集终端用于获取至少一个真空度在线检测模块送来的真空度数据，并根据该真空度数据与预设真空度参数的比较结果进行报警提示和/或输出控制真空设备关闭信号。本发明真空度在线检测系统实现对真空设备的真空度进行在线检测，可检测多个目标，有效起到安全隐患防范作用，降低设备真空泄露率及事故发生率，保障使用安全。

公开(公告)号：CN105628296A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201510976923.5

申请日：2015-12-22

申请人： 成都蓝泰士真空技术有限公司

发明人： 何伟 ,  代林

IPC分类号： G01L21/14

CPC分类号： G01L21/14

摘要： 一种通用型热偶真空计，包括：管脚插座，具有多对管脚插孔，可插入各种型号的热偶真空规管；规管型号识别电路，用于识别规管型号；基本测试电路，用于检测规管的信号大小；管脚及信号切换电路，用于切换规管的管脚接线，使受试规管与规管型号识别电路或基本测试电路联通，并对规管检测信号和规管型号识别信号进行切换；主控器，用于控制上述电路的工作步骤。其优点是：一台真空计可以测试国产和进口所有型号的热偶真空规管，极大地减小了用户的装备成本；自动化程度高，除国产热偶规管的加热电流需人工设置外，其它测试步骤均自动完成，操作简便，工作效率高；由于采用触摸屏作为操作界面，加热电流设置也无需实体按键，故障率低，可靠性高。

公开(公告)号：CN106500762A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201610898622.X

申请日：2016-10-14

申请人： 合肥工业大学

发明人： 马培勇 ,  张静 ,  王玉青 ,  邢献军 ,  张贤文

IPC分类号： G01D21/02 ,  G01L21/00 ,  G01L21/14 ,  G01L21/02 ,  G01L21/12 ,  G01G19/00 ,  G05D27/02

CPC分类号： G01D21/02 ,  G01G19/00 ,  G01L21/00 ,  G01L21/02 ,  G01L21/12 ,  G01L21/14 ,  G05D27/02

摘要： 本发明公开了一种复合式智能真空干燥动力学实验平台，包括真空系统模块、温度控制模块、数据采集模块和控制系统模块，所述真空系统模块包括真空干燥室，所述温度控制模块用于控制真空干燥室的温度，所述数据采集模块包括物料组数据采集模块和参照组数据采集模块。与现有技术相比，该复合式智能真空干燥动力学实验平台能够智能控制实验温度稳定，可直接用于真空脉动干燥、红外真空干燥等实验的研究，可以适应不同干燥实验的要求，通过记录物料盘与参照盘下的补偿电热丝功率之差随时间的变化关系，即可得到物料在干燥过程中实时吸收或放出的热量，参照盘在实验时可以直接代替空白试验，避免了周围环境的影响，使结果更准确。

公开(公告)号：CN106017790A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610530278.9

申请日：2016-07-07

申请人： 江西师范大学

发明人： 骆兴芳 ,  俞挺 ,  袁彩雷

IPC分类号： G01L21/14 ,  H01L21/8238

CPC分类号： G01L21/14 ,  H01L21/8238

摘要： 本申请提供一种热电堆真空传感器及其制造方法，其中热电堆真空传感器包括，提供衬底，所述衬底具有第一区域和第二区域；在第一区域形成CMOS电路；在第二区域形成热电堆真空传感器。本申请能够采用标准CMOS工艺形成CMOS电路和热电堆真空传感器，并且工艺步骤节约。

公开(公告)号：CN102197293B

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN200980141673.6

申请日：2009-08-21

申请人： 木村光照

发明人： 木村光照

IPC分类号： G01L21/14

CPC分类号： G01L21/14 ,  G01L9/0019 ,  G01L11/002

摘要： 本发明提供一种用于测量高带宽气压的高灵敏高精度的(利用加热激振的)热传导式气压传感器。该传感器拥有简单的结构和电路构成，且利用一个芯片能测量从一个极低气压到1atm或更高的气压。在悬臂状薄膜10上形成薄膜温度感应器、加热装置及激振装置。激振装置利用加热装置间歇加热时基于构成所述薄膜的主2层的热膨胀差异而形成的翘曲和弯曲，作为2个主层使用热膨胀系数有很大差异的硅层和硅热氧化膜。而且，还可以具有通过塞贝克电流对所定时间的积分而变得高灵敏化的电路或抑制气流影响的帽。