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公开(公告)号：CN105229451B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201480029219.2
申请日：2014-05-22
申请人： 木村光照
发明人： 木村光照
CPC分类号： G01N25/20 , G01N25/4893 , G01N27/16 , G01N27/4141 , G01N33/005 , G01N2033/0019
摘要： 本发明提供一种小型、具有量产性、廉价、对氢气的选择性高、并且是高灵敏度、高精度的氢气传感器。在从基板(1)上热分离的薄膜(10)上具有加热器(25)和温度传感器(20)以及氢吸收材料(5)的氢气的浓缩部(300)与氢气传感器元件(500)设置在相同的微腔室(100)内。通过氢气传感器元件(500)，对经过加热器加热而从浓缩部(300)释出并成为高浓度化的氢气进行测量。通过使氢吸收材料(5)具有氢气的选择性，从而氢气传感器元件(500)不需要具有氢气选择性。通过在微腔室(100)的出入口设置气流限制部(250)，从而防止因外部气体的流入而引起的氢气的稀薄化。可以使用泵等导入机构(150)，以规定的周期进行被检测气体向微腔室(100)的导入。
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公开(公告)号：CN102197293B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN200980141673.6
申请日：2009-08-21
申请人： 木村光照
发明人： 木村光照
IPC分类号： G01L21/14
CPC分类号： G01L21/14 , G01L9/0019 , G01L11/002
摘要： 本发明提供一种用于测量高带宽气压的高灵敏高精度的(利用加热激振的)热传导式气压传感器。该传感器拥有简单的结构和电路构成，且利用一个芯片能测量从一个极低气压到1atm或更高的气压。在悬臂状薄膜10上形成薄膜温度感应器、加热装置及激振装置。激振装置利用加热装置间歇加热时基于构成所述薄膜的主2层的热膨胀差异而形成的翘曲和弯曲，作为2个主层使用热膨胀系数有很大差异的硅层和硅热氧化膜。而且，还可以具有通过塞贝克电流对所定时间的积分而变得高灵敏化的电路或抑制气流影响的帽。
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公开(公告)号：CN102197293A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200980141673.6
申请日：2009-08-21
申请人： 木村光照
发明人： 木村光照
IPC分类号： G01L21/14
CPC分类号： G01L21/14 , G01L9/0019 , G01L11/002
摘要： 提供一种用于测量高带宽气压的高灵敏高精度的(利用加热激振的)热传导式气压传感器。该传感器拥有简单的结构和电路构成，且利用一个芯片能测量从一个极低气压到1atm或更高的气压。在悬臂状薄膜10上形成薄膜温度感应器、加热装置及激振装置。激振装置利用加热装置间歇加热时基于构成所述薄膜的主2层的热膨胀差异而形成的翘曲和弯曲，作为2个主层使用热膨胀系数有很大差异的硅层和硅热氧化膜。而且，还可以具有通过塞贝克电流对所定时间的积分而变得高灵敏化的电路或抑制气流影响的帽。
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公开(公告)号：CN1099590C
公开(公告)日：2003-01-22
申请号：CN95191843.5
申请日：1995-12-27
IPC分类号： G01N27/18
CPC分类号： G01N27/18
摘要： 为了提供一种可用1个热敏电阻进行湿度测定的、可减少由测定气氛的温度变化产生的特性变化并可实现低成本化的热传导式湿度传感器，用热敏电阻1和三个固定电阻R1、R2、R3构成惠斯登桥式电路，而且利用热敏电阻1的散热随温度变化的特性测定湿度。用由焦耳热自身发热的发热体2加热热敏电阻1，将该热敏电阻1的温度控制在300℃以上的一个固定温度，而且按照由热敏电阻1的气氛温度产生的上述输出电压值的变化部分对惠斯登桥式电路的输出电压值进行修正。
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公开(公告)号：CN1142263A
公开(公告)日：1997-02-05
申请号：CN95191843.5
申请日：1995-12-27
IPC分类号： G01N27/18
CPC分类号： G01N27/18
摘要： 为了提供一种可用1个热敏电阻进行湿度测定的、可减少由测定气氛的温度变化产生的特性变化并可实现低成本化的热传导式湿度传感器，用热敏电阻1和三个固定电阻R1、R2、R3构成惠斯登桥式电路，而且利用热敏电阻1的散热随温度变化的特性测定湿度。用由焦耳热自身发热的发热体2加热热敏电阻1，将该热敏电阻1的温度控制在300℃以上的一个固定温度，而且按照由热敏电阻1的气氛温度产生的上述输出电压值的变化部分对惠斯登桥式电路的输出电压值进行修正。
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公开(公告)号：CN105229451A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201480029219.2
申请日：2014-05-22
申请人： 木村光照
发明人： 木村光照
CPC分类号： G01N25/20 , G01N25/4893 , G01N27/16 , G01N27/4141 , G01N33/005 , G01N2033/0019
摘要： 本发明提供一种小型、具有量产性、廉价、对氢气的选择性高、并且是高灵敏度、高精度的氢气传感器。在从基板(1)上热分离的薄膜(10)上具有加热器(25)和温度传感器(20)以及氢吸收材料(5)的氢气的浓缩部(300)与氢气传感器元件(500)设置在相同的微腔室(100)内。通过氢气传感器元件(500)，对经过加热器加热而从浓缩部(300)释出并成为高浓度化的氢气进行测量。通过使氢吸收材料(5)具有氢气的选择性，从而氢气传感器元件(500)不需要具有氢气选择性。通过在微腔室(100)的出入口设置气流限制部(250)，从而防止因外部气体的流入而引起的氢气的稀薄化。可以使用泵等导入机构(150)，以规定的周期进行被检测气体向微腔室(100)的导入。
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