公开(公告)号：CN102016525B

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN200980116526.3

申请日：2009-05-07

申请人： 恪纳腾公司

发明人： M·维茨-依拉凡尼 ,  M·那瑟尔戈德斯 ,  G·赵

IPC分类号： G01J3/00 ,  G01J3/42

CPC分类号： H01J37/244 ,  G01N2223/079 ,  G01N2223/086 ,  G01N2223/33 ,  H01J37/256 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/2511 ,  H01J2237/2807

摘要： 具有电子束生成器的谱仪，所述电子束生成器用于生成被导向试样的电子束。电子束定位器将所述电子束引导至所述试样上的适当位置上，并且从而产生来自所述试样的二次发射流，其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种。二次发射流定位器将所述二次发射流定位到检测器阵列上，所述检测器阵列接收所述二次发射流并且检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者。调制器调制被引导至所述试样上的所述电子束，并且从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间扫描所述电子束。提取器与所述调制器和所述检测器阵列两者信号通信。

公开(公告)号：CN102016525A

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN200980116526.3

申请日：2009-05-07

申请人： 恪纳腾公司

发明人： M·维茨-依拉凡尼 ,  M·那瑟尔戈德斯 ,  G·赵

IPC分类号： G01J3/00 ,  G01J3/42

CPC分类号： H01J37/244 ,  G01N2223/079 ,  G01N2223/086 ,  G01N2223/33 ,  H01J37/256 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/2511 ,  H01J2237/2807

摘要： 具有电子束生成器的谱仪，所述电子束生成器用于生成被导向试样的电子束。电子束定位器将所述电子束引导至所述试样上的适当位置上，并且从而产生来自所述试样的二次发射流，其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种。二次发射流定位器将所述二次发射流定位到检测器阵列上，所述检测器阵列接收所述二次发射流并且检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者。调制器调制被引导至所述试样上的所述电子束，并且从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间扫描所述电子束。提取器与所述调制器和所述检测器阵列两者信号通信。