公开(公告)号：CN107123584A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201710041635.X

申请日：2017-01-20

申请人： FEI 公司

发明人： E.R.基伊夫特 ,  W.范迪克

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/045 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2802 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/266

摘要： 一种使用带电粒子显微镜的方法，包括：—样本保持器，其用于保持样本；—源，其用于产生带电粒子的照射射束；—照明器，其用于引导所述射束从而照射样本；—检测器，其用于响应于所述照射而检测从样本放射的出射辐射通量，另外包括以下步骤：—在所述照明器中，提供包括孔径阵列的孔径板；—使用偏转装置来跨所述阵列扫描所述射束，从而交替地使射束中断和透射以便产生一串射束脉冲；—用所述脉冲串照射所述样本，并且使用所述检测器来执行伴随的出射辐射的位置分辨（时间辨别）检测。

公开(公告)号：CN105593966B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201480053931.6

申请日：2014-10-07

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 青木贤治 ,  斋藤勉 ,  细谷幸太郎 ,  中村光宏 ,  重藤训志

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/292 ,  H01J37/073 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2809

摘要： 本发明的目的在于提供一种识别反射电子检测元件与试样之间的位置关系、试样周围的真空状态，自动地选择适合获取目的图像的反射电子检测元件的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器离开时选择全部的反射电子检测元件，在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器接近时选择适合于获取组成图像或凹凸图像的反射电子检测元件。在试样室内的真空度低时选择全部的反射电子检测元件(参照图7)。

公开(公告)号：CN105593966A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201480053931.6

申请日：2014-10-07

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 青木贤治 ,  斋藤勉 ,  细谷幸太郎 ,  中村光宏 ,  重藤训志

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/292 ,  H01J37/073 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2809

摘要： 本发明的目的在于提供一种识别反射电子检测元件与试样之间的位置关系、试样周围的真空状态，自动地选择适合获取目的图像的反射电子检测元件的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器离开时选择全部的反射电子检测元件，在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器接近时选择适合于获取组成图像或凹凸图像的反射电子检测元件。在试样室内的真空度低时选择全部的反射电子检测元件(参照图7)。

公开(公告)号：CN105388173A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201510644709.X

申请日：2015-08-25

申请人： FEI公司

发明人： M·恩科斯基 ,  P·斯特斯卡 ,  T·维斯塔维

IPC分类号： G01N23/203

CPC分类号： G01N23/203 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2555 ,  H01J2237/31745

摘要： 本发明涉及获取EBSP图样的方法。本发明涉及一种获取带电粒子设备中的样品(126)的能量背散射图样(EBSP)图像的方法，所述样品显示出一个平坦表面，所述带电粒子设备被装配有用于产生精细聚焦的电子束的电子镜筒(110)、用于检测EBSP图样的位敏检测器(128)以及用于保持并定位所述样品的样品支架(124)，所述方法包括步骤：相对于所述电子束定位所述样品，将所述电子束引导至所述样品上的撞击点，从而导致背散射电子辐照所述检测器，并且当所述电子束保持静止时从所述检测器获取信号，其特征在于：所述检测器被装配成选择性地检测具有高于预定阈值的能量的电子，并且具有高于所述阈值的能量的电子的信号被用于形成EBSP图像。

公开(公告)号：CN108431587A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201680075531.4

申请日：2016-12-30

申请人： 科磊股份有限公司

发明人： K·巴哈斯卡尔 ,  G·H·陈 ,  K·韦尔斯 ,  W·麦克米连 ,  张晶 ,  S·A·永 ,  B·达菲

IPC分类号： G01N21/95 ,  G01N21/956

CPC分类号： H01J37/222 ,  G01N21/9501 ,  G01N23/2251 ,  G01N2201/12 ,  G01N2223/304 ,  G01N2223/401 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/6116 ,  G01N2223/646 ,  G03F7/7065 ,  H01J37/06 ,  H01J37/226 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/2817 ,  H01L22/20

摘要： 本发明提供混合检验器。一种系统包含计算机子系统，其经配置以接收针对样品产生的基于光学的输出及基于电子束的输出。所述计算机子系统包含一或多个虚拟系统，其经配置以使用针对所述样品产生的所述基于光学的输出及所述基于电子束的输出的至少一些执行一或多个功能。所述系统还包含由所述计算机子系统执行的一或多个组件，其包含经配置以针对所述样品执行一或多个模拟的一或多个模型。所述计算机子系统经配置以基于所述基于光学的输出、所述基于电子束的输出、所述一或多个功能的结果及所述一或多个模拟的结果中的至少两者检测所述样品上的缺陷。

公开(公告)号：CN106575595A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201580036950.2

申请日：2015-04-23

申请人： 代尔夫特理工大学

发明人： P·库鲁伊特 ,  A·C·左内维勒 ,  任岩

IPC分类号： H01J37/28

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/141 ,  H01J37/20 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2808

摘要： 本发明涉及用于检查样本的装置和方法。该装置包括：用于保持样本(15)的样本支持器(150)，用于生成基本带电粒子束(3)阵列的多波束带电粒子发生器，用于将该基本带电粒子束阵列定向到单独聚焦到该样本上的基本带电粒子束阵列的电磁透镜系统(13)，布置成用于检测在该基本带电粒子束撞击到该样本上时或者在该基本带电粒子束穿透过该样本之后由该聚焦基本带电粒子束产生的光子的多像素光子检测器(20),以及用于与将由该单独的聚焦基本带电粒子束的阵列中的至少两个相邻聚焦基本带电粒子束产生的光子(30，31，32)传送到该多像素光子检测器的不同和/或单独像素或者不同和/或单独像素群。

公开(公告)号：CN104364877A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380029956.8

申请日：2013-06-03

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 安藤彻 ,  重藤训志 ,  玉山尚太朗 ,  成田祐介

IPC分类号： H01J37/20 ,  G09G5/00 ,  G09G5/36 ,  G09G5/377 ,  H01J37/22

CPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/2809 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/24495

摘要： 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。

公开(公告)号：CN101971091A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200980106819.3

申请日：2009-02-24

申请人： 卡尔蔡司SMS有限责任公司

发明人： 迈克尔·巴达科 ,  特里斯坦·布雷特 ,  克劳斯·埃丁格 ,  索斯藤·霍夫曼

IPC分类号： G03F1/00

CPC分类号： G03F1/74 ,  C23C16/047 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/30466 ,  H01J2237/30483 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/31744

摘要： 本发明涉及一种加工具有微型化结构的物体的方法，具有步骤：将反应气体送到物体的表面上；为了在物体上沉积材料或从物体移除材料，通过将能量束引导到物体的表面上的要被加工的区域中的加工位置上来加工物体；探测该束与物体的相互作用产物，以及借助于从束与物体的探测的相互作用产物获得的信息，决定物体的加工是必须继续还是可被终止，为了确定所述物体的加工是必须继续还是可被终止，要被加工的区域被分解成为多个表面片段，且相同的表面片段的束照射的区域上探测的相互作用的产物被积分以形成总信号。

公开(公告)号：CN1820194A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200380110408.4

申请日：2003-10-22

申请人： 应用材料以色列公司

发明人： 德罗尔·塞梅斯 ,  帕维尔·阿达梅克

IPC分类号： G01N23/00

CPC分类号： H01J37/244 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/281 ,  H01J2237/2815 ,  H01J2237/2817

摘要： 本发明公开了一种使用多个检测器(14，40)检测电子的方法和系统，所述方法包括下述步骤：引导原电子束通过一柱(column)以接触被检测对象(晶元)；通过引入强静电场，将由被检测对象(晶元)反射或散射的电子引向多个内部检测器(14，40)，同时至少一些被引导的电子以相对于所述被检测对象(晶元)较小的角度反射或散射；以及接收来自至少一个内部检测器的检测信号。

公开(公告)号：CN104126217B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380010185.8

申请日：2013-02-20

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 南里光荣 ,  富松聪 ,  关原雄

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/244 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/24571

摘要： 提供一种能够高分辨率检测从试样(101)释放的荷电粒子(201)，高灵敏度的荷电粒子束装置。在配置为与试样(101)接触，由此由于照射的荷电粒子束(104)在试样(101)产生的吸收电流在自身中流过来进行检测，通过荷电粒子束(104)在试样(101)上扫描取得吸收电流图像的荷电粒子束装置中，在离开试样(101)配置了吸收电流检测器(202)的情况下，吸收电流检测器(202)在通过荷电粒子束(101)的照射从试样(101)出射的荷电粒子束(201)入射时，将入射的荷电粒子束(201)作为信号电流(Ia)检测，该信号电流(Ia)依存于从荷电粒子束(104)在试样(101)上的照射位置向吸收电流检测器(202)的方向相对于试样(101)的表面的法线方向和荷电粒子束(104)的入射方向中的至少一个方向所形成的角度θ。