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公开(公告)号:CN1178274C
公开(公告)日:2004-12-01
申请号:CN01811072.X
申请日:2001-06-14
申请人: 东京毅力科创株式会社
IPC分类号: H01L21/02
CPC分类号: H01L21/67276 , G05B19/0428 , G05B2219/2208 , G05B2219/24119 , G05B2219/25156 , G05B2219/25209 , G05B2219/45031 , H01L21/67253 , Y02P90/14 , Y02P90/18
摘要: 一种联锁系统可以在半导体制造装置的控制系统中立即确定具有不正常情况的控制器,其中控制器通过网络连接。控制系统包括至少一个装置控制器和操纵装置控制器的设备控制器,该装置控制器控制含有至少一个进行半导体制造工艺的处理室的处理系统和将待处理物体运进和运出处理室的运输系统。装置控制器和设备控制器通过网络通信连接。两种控制器经过硬布线连接以将这些控制器的状态信号输送给控制系统,以便可以在不用网络通信的情况下检测每个控制器的存在和控制器之间的连接状态。
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公开(公告)号:CN1443363A
公开(公告)日:2003-09-17
申请号:CN01811072.X
申请日:2001-06-14
申请人: 东京毅力科创株式会社
IPC分类号: H01L21/02
CPC分类号: H01L21/67276 , G05B19/0428 , G05B2219/2208 , G05B2219/24119 , G05B2219/25156 , G05B2219/25209 , G05B2219/45031 , H01L21/67253 , Y02P90/14 , Y02P90/18
摘要: 一种联锁系统可以在半导体制造装置的控制系统中立即确定具有不正常情况的控制器,其中控制器通过网络连接。控制系统包括至少一个装置控制器和操纵装置控制器的设备控制器,该装置控制器控制含有至少一个进行半导体制造工艺的处理室的处理系统和将待处理物体运进和运出处理室的运输系统。装置控制器和设备控制器通过网络通信连接。两种控制器经过硬线连接以将这些控制器的状态信号输送给控制系统,以便可以在不用网络通信的情况下检测每个控制器的存在和控制器之间的连接状态。
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