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公开(公告)号：CN102411338B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201110268204.X
申请日：2011-09-09
申请人： 西门子公司
IPC分类号： G05B19/406
CPC分类号： G05B19/4148 , G05B2219/25472 , G05B2219/35291 , G05B2219/37532
摘要： 本发明涉及一种运动控制系统(1)，具有第一运动控制器(3)、第二运动控制器(5)、数据总线(11)和全局时间，其中第一运动控制器(3)的第一跟踪数据(15)具有取决于全局时间的时间标记，并且其中第二运动控制器(5)的第二跟踪数据(17)具有取决于全局时间的时间标记。
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公开(公告)号：CN101438217A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200780016375.5
申请日：2007-02-20
申请人： 先进微装置公司
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/66 , G05B13/04
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B13/048 , G05B2219/32053 , G05B2219/37532 , G05B2219/45031 , Y02P90/20
摘要： 一种用于评估关联于处理过程的状态的方法，包含接收关联于该处理过程的状态观察。该状态观察具有关联之处理过程时间。根据该处理过程时间产生酌减(discount)该状态观察的加权因子。根据该酌减的状态观察产生状态评估。一种系统，包含处理过程工具、量测工具、和处理过程控制器。该处理过程工具可操作以根据操作方案执行处理过程。该量测工具可操作以产生关联于该处理过程的状态观察。该处理过程控制器可操作以接收具有关联之处理过程时间的状态观察，根据该处理过程时间产生用以酌减该状态观察的加权因子，根据该酌减的状态观察产生状态评估，以及根据该状态评估决定该操作方案之至少一个参数。
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公开(公告)号：CN103959185B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201280058740.X
申请日：2012-06-26
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
发明人： 野岛章
CPC分类号： G06F17/30598 , G05B15/02 , G05B19/4183 , G05B2219/37532 , G05B2219/37533 , G06Q10/06311 , H04Q9/00 , H04Q2209/10 , H04Q2209/30 , Y02P90/10 , Y02P90/20
摘要： 本发明包括：小组选择部(431)，该小组选择部(431)从分割第一存储部(411b)的存储区域而得到的多个子小组中选择收集小组；收集小组分配部(432)，该收集小组分配部(432)将所选择的收集小组分别分配给数据收集装置(41～43)，以分散收集数据时的负荷；以及计划生成部(433)，该计划生成部(433)生成从第一存储部(411b)中读取数据的计划，数据收集装置(42～43)具有计划生成部(443)，该计划生成部(443)基于分配给该数据收集装置(42)的收集小组的个数和收集周期，生成从第一存储部(411b)中读取数据的计划。
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公开(公告)号：CN103959187A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201280058825.8
申请日：2012-06-26
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
发明人： 野岛章
CPC分类号： G06F17/30598 , G05B19/4183 , G05B2219/37532 , G05B2219/37533 , G06Q10/06 , H04Q9/00 , H04Q2209/10 , H04Q2209/30 , Y02P90/10 , Y02P90/20
摘要： 本发明包括：第一存储部(411b)，该第一存储部(411b)存储在多个控制装置(21～23)之间扫描传输的数据；小组选择部(414a)，该小组选择部(414a)将第一存储部(411b)的存储区域分割成多个小组，并将小组的存储区域进一步分割成多个子小组，基于数据传输速度特性来选择收集小组；计划生成部(414b)，该计划生成部(414b)基于收集小组的个数和收集周期来生成计划；以及数据读取部(414e)，该数据读取部(414e)基于生成的计划读取出数据。
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公开(公告)号：CN101438217B
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN200780016375.5
申请日：2007-02-20
申请人： 格罗方德半导体公司
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/66 , G05B13/04
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B13/048 , G05B2219/32053 , G05B2219/37532 , G05B2219/45031 , Y02P90/20
摘要： 一种用于评估关联于处理过程的状态的方法，包含接收关联于该处理过程的状态观察。该状态观察具有关联之处理过程时间。根据该处理过程时间产生酌减(discount)该状态观察的加权因子。根据该酌减的状态观察产生状态评估。一种系统，包含处理过程工具、量测工具、和处理过程控制器。该处理过程工具可操作以根据操作方案执行处理过程。该量测工具可操作以产生关联于该处理过程的状态观察。该处理过程控制器可操作以接收具有关联之处理过程时间的状态观察，根据该处理过程时间产生用以酌减该状态观察的加权因子，根据该酌减的状态观察产生状态评估，以及根据该状态评估决定该操作方案之至少一个参数。
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公开(公告)号：CN103988137B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280058772.X
申请日：2012-06-26
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
发明人： 野岛章
CPC分类号： G05B15/02 , G05B19/4183 , G05B2219/37532 , G05B2219/37533 , G06Q10/06 , G06Q50/04 , Y02P90/10 , Y02P90/30
摘要： 本发明包括：第二存储部(412)，该第二存储部(412)将由计时器(411a)计时得到的时刻与数据建立关联，并作为过程数据进行存储；以及微处理器(414)，该微处理器(414)中，微处理器内核(414d)仅执行判定处理，该判定处理基于计时得到的时刻对是否达到采样周期进行判定，在判定为达到采样周期时，其他的微处理器内核(414a～414c)将过程数据存储到第二存储部(412)中。
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公开(公告)号：CN103959187B
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201280058825.8
申请日：2012-06-26
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
发明人： 野岛章
CPC分类号： G06F17/30598 , G05B19/4183 , G05B2219/37532 , G05B2219/37533 , G06Q10/06 , H04Q9/00 , H04Q2209/10 , H04Q2209/30 , Y02P90/10 , Y02P90/20
摘要： 本发明包括：第一存储部(411b)，该第一存储部(411b)存储在多个控制装置(21～23)之间扫描传输的数据；小组选择部(414a)，该小组选择部(414a)将第一存储部(411b)的存储区域分割成多个小组，并将小组的存储区域进一步分割成多个子小组，基于数据传输速度特性来选择收集小组；计划生成部(414b)，该计划生成部(414b)基于收集小组的个数和收集周期来生成计划；以及数据读取部(414e)，该数据读取部(414e)基于生成的计划读取出数据。
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公开(公告)号：CN103988137A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201280058772.X
申请日：2012-06-26
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
发明人： 野岛章
CPC分类号： G05B15/02 , G05B19/4183 , G05B2219/37532 , G05B2219/37533 , G06Q10/06 , G06Q50/04 , Y02P90/10 , Y02P90/30
摘要： 本发明包括：第二存储部(412)，该第二存储部(412)将由计时器(411a)计时得到的时刻与数据建立关联，并作为过程数据进行存储；以及微处理器(414)，该微处理器(414)中，微处理器内核(414d)仅执行判定处理，该判定处理基于计时得到的时刻对是否达到采样周期进行判定，在判定为达到采样周期时，其他的微处理器内核(414a～414c)将过程数据存储到第二存储部(412)中。
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公开(公告)号：CN1497910A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN03164932.7
申请日：2003-09-30
申请人： 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
发明人： E·布拉茨德拉姆
CPC分类号： G05B19/408 , G05B2219/37494 , G05B2219/37512 , G05B2219/37526 , G05B2219/37532
摘要： 提供一种方法和一种装置，用于在一个处理单元与在线形总线拓扑中相互连接的多个位置测量系统之间的数据传输。为同时处理位置测量装置中的位置数据－要求信号，分别为每个位置测量装置考虑一个特定延迟校正值，从而从位置数据－要求信号在处理单元侧出现起，直到同时处理所有位置测量装置内的位置数据－要求信号产生各自相同的延迟时间。
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公开(公告)号：CN103959186B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280058775.3
申请日：2012-06-26
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
发明人： 野岛章
IPC分类号： G05B23/02
CPC分类号： G06F17/30312 , G05B19/4183 , G05B2219/37532 , G05B2219/37533 , Y02P90/10
摘要： 本发明包括：排列模式采样数据生成部(111b)，该排列模式采样数据生成部(111b)将具有历时变化的过程数据与经过时间建立关联，并作为排列模式采样数据而生成；位模式采样数据生成部(111c)，该位模式采样数据生成部(111c)将在每次获取过程数据时表示过程数据是否具有历时变化的标记与具有历时变化的过程数据建立关联，并作为位模式采样数据而生成；以及存储控制部(111a)，该存储控制部(111a)对位模式采样数据和排列模式采样数据中存储容量较小的任意一方进行存储。
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