圆盘状元件保持装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1327029C

    公开(公告)日:2007-07-18

    申请号:CN03805434.5

    申请日:2003-03-07

    申请人: TDK株式会社

    摘要: 本发明提供一种对即使是在中央部位没有贯通孔的圆盘状元件也可进行良好的定位保持的圆盘状元件保持装置。在基板(1)上设置接合部(1B),在基板保持侧的贴合部(11)设置接合部(11B)。通过这些接合部将基板(1)保持在保持装置(10)上。通过机械卡盘(15)来保持基板(1)的外周边部。使基板(1)在变形成一凹面形状的状态下被保持。如此,即使是对在中央部位没有贯通孔的基板(1)也可以进行良好的定位保持,可以提高通过溅射处理形成的薄膜质量的均匀化程度。还可以提高贴合面(1A)与贴合面(11A)的紧贴程度,从而可以提高在溅射处理时对基板(1)的冷却效率。

    转台及盘驱动装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1284720A

    公开(公告)日:2001-02-21

    申请号:CN00122745.9

    申请日:2000-08-11

    IPC分类号: G11B23/00 G11B19/20 G11B33/00

    CPC分类号: G11B17/022

    摘要: 可以用比较廉价的材料、用普通的注射成形技术和金属模具管理廉价地制造转台。它在台的中央部分形成形成有压入转轴的嵌插孔的薄壁圆筒状的固定部和在固定部的外侧同心地形成为大径的薄壁圆筒状的加强部,在固定部和加强部之间放射状地架设有加强肋。由此,可以在注射模塑成形时不产生由缩孔等产生的变形,可将压入嵌插孔内的转轴的拔去力符合于规定值。