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公开(公告)号：CN103606815A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201310524354.1
申请日：2010-02-04
申请人： IMRA美国公司
IPC分类号： H01S3/23
CPC分类号： H01S3/10046 , G01B9/02001 , G01N21/31 , G01N2021/317 , G02B6/02304 , H01S3/0675 , H01S3/06754 , H01S3/08054 , H01S3/1067 , H01S3/1068 , H01S3/11 , H01S3/1115 , H01S3/13 , H01S3/1307 , H01S3/1392 , H01S3/1394 , H01S3/2383
摘要： 本发明涉及用于光学成像的扫描脉冲激光器系统。披露了相干双扫描激光器系统（CDSL）及其一些应用。示出了用于实施的不同替换例，包括高度集成结构。在至少一个实施例中，相干双扫描激光器系统（CDSL）包括两个被动锁模光纤振荡器。所述振荡器被设置成工作在稍微不同的重复频率，使得与振荡器的重复频率的值fr1和fr2相比重复频率的差δfr是小的。所述CDSL系统还包括光学连接至每个振荡器的非线性频率转换部分。所述部分包括非线性光学元件，所述非线性光学元件产生具有光谱带宽的频率转换光谱输出；和频梳，所述频梳包括振荡器重复频率的谐波。CDSL被设置在用于光学成像、显微镜学、微光谱学和/或THz成像的一个或多个的成像系统中。
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公开(公告)号：CN104428963A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201380037008.9
申请日：2013-07-19
申请人： 株式会社爱德万测试
CPC分类号： H01S3/13 , H01S3/10046 , H01S3/10053 , H01S3/1307 , H01S3/137 , H01S3/139 , H01S3/1394 , H01S3/23 , H01S3/2383
摘要： 本发明的脉冲光源(1)具备：主激光器(112)，其输出重复频率被控制成预定值的主激光脉冲；辅激光器(212)，其输出辅激光脉冲；相位比较器(232)，其检测预定值的频率的电信号与基于辅激光脉冲的光强度的电信号的相位差；环路滤波器(234)；加法器(235)，其对环路滤波器(234)的输出相加具有恒定的重复周期的重复频率控制信号；以及相位比较器(306)，其对主激光脉冲与辅激光脉冲的相位差即脉冲间相位差进行测定。辅激光脉冲的重复频率根据加法器(235)的输出而变化。对重复频率控制信号的大小进行控制，以便使测定出的脉冲间相位差与脉冲间相位差的目标值一致。
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公开(公告)号：CN102349205B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201080009937.5
申请日：2010-02-04
申请人： IMRA美国公司
IPC分类号： H01S3/23
CPC分类号： H01S3/10046 , G01B9/02001 , G01N21/31 , G01N2021/317 , G02B6/02304 , H01S3/0675 , H01S3/06754 , H01S3/08054 , H01S3/1067 , H01S3/1068 , H01S3/11 , H01S3/1115 , H01S3/13 , H01S3/1307 , H01S3/1392 , H01S3/1394 , H01S3/2383
摘要： 本发明涉及用于光学成像的扫描脉冲激光器系统。披露了相干双扫描激光器系统(CDSL)及其一些应用。示出了用于实施的不同替换例，包括高度集成结构。在至少一个实施例中，相干双扫描激光器系统(CDSL)包括两个被动锁模光纤振荡器。所述振荡器被设置成工作在稍微不同的重复频率，使得与振荡器的重复频率的值fr1和fr2相比重复频率的差δfr是小的。所述CDSL系统还包括光学连接至每个振荡器的非线性频率转换部分。所述部分包括非线性光学元件，所述非线性光学元件产生具有光谱带宽的频率转换光谱输出；和频梳，所述频梳包括振荡器重复频率的谐波。CDSL被设置在用于光学成像、显微镜学、微光谱学和/或THz成像的一个或多个的成像系统中。
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公开(公告)号：CN100526992C
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200680001363.0
申请日：2006-06-30
申请人： 株式会社尼康
发明人： 新井诚义
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70458 , G03F7/7005 , G03F7/70525 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , G03F7/70625 , H01S3/10069 , H01S3/1055 , H01S3/1394 , H01S3/225 , H01S2301/08
摘要： 曝光装置(10)包括：射出激光的激光装置(16)；存储有第1信息的存储器(51)，该第1信息表示形成在晶圆上的图案的线宽误差与从激光装置射出的激光的光谱特性之间的关系；以及主控制装置(50)，根据第1信息及与所使用的掩膜相关的信息，通过激光控制装置(16e)来控制激光的光谱带宽。主控制装置(50)根据第1信息及与所使用的掩膜相关的信息来执行例如抑制线宽误差之类的激光的光谱带宽控制。
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公开(公告)号：CN101080807A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200680001363.0
申请日：2006-06-30
申请人： 株式会社尼康
发明人： 新井诚义
IPC分类号： H01L21/027 , H01S3/00 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70458 , G03F7/7005 , G03F7/70525 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , G03F7/70625 , H01S3/10069 , H01S3/1055 , H01S3/1394 , H01S3/225 , H01S2301/08
摘要： 曝光装置(10)包括：射出激光的激光装置(16)；存储有第1信息的存储器(51)，该第1信息表示形成在晶圆上的图案的线宽误差与从激光装置射出的激光的光谱特性之间的关系；以及主控制装置(50)，根据第1信息及与所使用的掩膜相关的信息，通过激光控制装置(16e)来控制激光的光谱带宽。主控制装置(50)根据第1信息及与所使用的掩膜相关的信息来执行例如抑制线宽误差之类的激光的光谱带宽控制。
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公开(公告)号：CN104428963B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201380037008.9
申请日：2013-07-19
申请人： 株式会社爱德万测试
CPC分类号： H01S3/13 , H01S3/10046 , H01S3/10053 , H01S3/1307 , H01S3/137 , H01S3/139 , H01S3/1394 , H01S3/23 , H01S3/2383
摘要： 本发明的脉冲光源(1)具备：主激光器(112)，其输出重复频率被控制成预定值的主激光脉冲；辅激光器(212)，其输出辅激光脉冲；相位比较器(232)，其检测预定值的频率的电信号与基于辅激光脉冲的光强度的电信号的相位差；环路滤波器(234)；加法器(235)，其对环路滤波器(234)的输出相加具有恒定的重复周期的重复频率控制信号；以及相位比较器(306)，其对主激光脉冲与辅激光脉冲的相位差即脉冲间相位差进行测定。辅激光脉冲的重复频率根据加法器(235)的输出而变化。对重复频率控制信号的大小进行控制，以便使测定出的脉冲间相位差与脉冲间相位差的目标值一致。
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公开(公告)号：CN102349205A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201080009937.5
申请日：2010-02-04
申请人： IMRA美国公司
IPC分类号： H01S3/23
CPC分类号： H01S3/10046 , G01B9/02001 , G01N21/31 , G01N2021/317 , G02B6/02304 , H01S3/0675 , H01S3/06754 , H01S3/08054 , H01S3/1067 , H01S3/1068 , H01S3/11 , H01S3/1115 , H01S3/13 , H01S3/1307 , H01S3/1392 , H01S3/1394 , H01S3/2383
摘要： 本发明涉及用于光学成像的扫描脉冲激光器系统。披露了相干双扫描激光器系统(CDSL)及其一些应用。示出了用于实施的不同替换例，包括高度集成结构。在至少一个实施例中，相干双扫描激光器系统(CDSL)包括两个被动锁模光纤振荡器。所述振荡器被设置成工作在稍微不同的重复频率，使得与振荡器的重复频率的值fr1和fr2相比重复频率的差δfr是小的。所述CDSL系统还包括光学连接至每个振荡器的非线性频率转换部分。所述部分包括非线性光学元件，所述非线性光学元件产生具有光谱带宽的频率转换光谱输出；和频梳，所述频梳包括振荡器重复频率的谐波。CDSL被设置在用于光学成像、显微镜学、微光谱学和/或THz成像的一个或多个的成像系统中。
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公开(公告)号：CN1763557A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510109425.7
申请日：2005-10-18
申请人： 安捷伦科技有限公司
发明人： 朱淼 , 来纳德·S·卡特勒 , 约翰·埃德温·伯伯里恩
IPC分类号： G01R33/00
CPC分类号： H01S3/1392 , H01S3/1394 , H01S3/1398
摘要： 本发明公开了一种用于产生稳定的频率信号的装置(20)。该装置(20)包括具有第一、第二和第三能态的量子吸收体(13)。量子吸收体(13)被第一辐射源(21)照射，第一辐射源(21)产生具有频率νL的电磁辐射，该电磁辐射激发第一和第三能态之间的跃迁。量子吸收体(13)还被第二辐射源(18)照射，第二辐射源(18)产生具有频率νM的电磁辐射，该电磁辐射激发第一和第二能态之间的跃迁。检测器被多个伺服回路使用，所述检测器产生检测器信号，该信号指示出离开量子吸收体(13)的辐射在包括νL在内的频率范围中的辐射水平。伺服回路之一确定νL的值，该值使检测器信号最小化或最大化，并且第二伺服回路(31)确定偏移信号，该偏移信号降低了νM对第一辐射源(21)的强度的依赖性。
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