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公开(公告)号：CN105048986A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510201346.2
申请日：2015-04-24
申请人： 安华高科技通用IP(新加坡)公司
CPC分类号： H03H9/02102 , H03H3/013 , H03H9/02086 , H03H9/132 , H03H9/173
摘要： 本申请案涉及一种具有空气环及温度补偿层的声谐振器装置。一种体声波BAW谐振器装置包含界定腔的衬底、形成于所述衬底及所述腔的至少一部分上方的底部电极、形成于所述底部电极上的压电层及形成于所述压电层上的顶部电极。空气翼及空气桥形成于所述压电层与所述顶部电极之间，所述空气翼具有界定所述BAW谐振器装置的作用区域的外边界的内边缘。所述BAW谐振器装置进一步包含温度补偿特征，所述温度补偿特征具有正温度系数以用于抵消所述压电层的负温度系数的至少一部分。所述温度补偿特征在所述作用区域外侧延伸达预定长度。
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公开(公告)号：CN104229721B
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201410247128.8
申请日：2014-06-05
申请人： 硅谷实验室公司
CPC分类号： H02N1/00 , B81B3/0081 , H03B5/30 , H03H3/013 , H03H9/02259 , H03H2007/006 , H03H2009/02291 , H03H2009/02385 , H03H2009/0248 , H03H2009/2442 , H03L1/02 , H03L1/04 , Y10T29/49005 , Y10T29/49117
摘要： 一种以减少或消除应变从基板至结构，或者应变至电极和主体的传递以使得变换器为耐应变的传递方式，来机械锚定悬浮电极的MEMS结构的技术将MEMS设备从应变源解耦。该技术包括使用嵌入至传导结构材料中的电绝缘材料以用于机械地耦合和电绝缘。一种装置包括MEMS设备，该MEMS设备包括第一电极和第二电极以及从MEMS设备的基板悬浮的主体。主体和第一电极形成第一静电变换器。主体和第二电极形成第二静电变换器。所述装置包括机械地耦合至主体并与主体电隔离的悬浮无源元件。
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公开(公告)号：CN105048986B
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201510201346.2
申请日：2015-04-24
申请人： 安华高科技通用IP(新加坡)公司
CPC分类号： H03H9/02102 , H03H3/013 , H03H9/02086 , H03H9/132 , H03H9/173
摘要： 本申请案涉及一种具有空气环及温度补偿层的声谐振器装置。一种体声波BAW谐振器装置包含界定腔的衬底、形成于所述衬底及所述腔的至少一部分上方的底部电极、形成于所述底部电极上的压电层及形成于所述压电层上的顶部电极。空气翼及空气桥形成于所述压电层与所述顶部电极之间，所述空气翼具有界定所述BAW谐振器装置的作用区域的外边界的内边缘。所述BAW谐振器装置进一步包含温度补偿特征，所述温度补偿特征具有正温度系数以用于抵消所述压电层的负温度系数的至少一部分。所述温度补偿特征在所述作用区域外侧延伸达预定长度。
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公开(公告)号：CN104229721A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410247128.8
申请日：2014-06-05
申请人： 硅谷实验室公司
CPC分类号： H02N1/00 , B81B3/0081 , H03B5/30 , H03H3/013 , H03H9/02259 , H03H2007/006 , H03H2009/02291 , H03H2009/02385 , H03H2009/0248 , H03H2009/2442 , H03L1/02 , H03L1/04 , Y10T29/49005 , Y10T29/49117
摘要： 一种以减少或消除应变从基板至结构，或者应变至电极和主体的传递以使得变换器为耐应变的传递方式，来机械锚定悬浮电极的MEMS结构的技术将MEMS设备从应变源解耦。该技术包括使用嵌入至传导结构材料中的电绝缘材料以用于机械地耦合和电绝缘。一种装置包括MEMS设备，该MEMS设备包括第一电极和第二电极以及从MEMS设备的基板悬浮的主体。主体和第一电极形成第一静电变换器。主体和第二电极形成第二静电变换器。所述装置包括机械地耦合至主体并与主体电隔离的悬浮无源元件。
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公开(公告)号：CN106788262A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201610851338.7
申请日：2016-09-26
申请人： 三星电子株式会社
CPC分类号： H02J50/12 , H03B5/1265 , H03B5/1268 , H03H1/02 , H03H7/325 , H03H19/008 , H03H2210/01 , H03H2210/043 , H04B5/0037 , H03B5/08 , H03H3/013
摘要： 提供一种谐振器和控制谐振器的方法。所述谐振器包括：LC电路，包括电感器和电容器；开关，被构造为在选择时间段期间保持在电感器和电容器中的至少一个中的能量并且在另一时间段期间使电感器和电容器中的所述至少一个中的能量变化，以设置电感器和电容器的谐振频率。
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公开(公告)号：CN106190616A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610549209.2
申请日：2016-07-13
申请人： 苏州普锐晶科技有限公司
发明人： 徐亮
IPC分类号： C11D1/72 , C11D3/60 , C11D3/20 , C11D3/34 , C11D3/16 , C11D3/37 , C11D3/075 , C11D7/18 , C11D7/26 , C11D7/32 , C11D7/20 , C11D7/34 , H03H3/013 , B08B3/08 , B08B3/10
CPC分类号： C11D1/721 , B08B3/08 , B08B3/10 , C11D3/075 , C11D3/168 , C11D3/2013 , C11D3/2034 , C11D3/349 , C11D3/3765 , C11D3/3942 , C11D7/20 , C11D7/265 , C11D7/267 , C11D7/32 , C11D7/3209 , C11D7/34 , C11D11/0047 , H03H3/013
摘要： 本发明公开了一种频率片的腐蚀方法，首先利用高效清洗液对频率片表面洁净处理，去除脂类、微生物类污渍，为腐蚀打下良好基础；再设计性质温和的腐蚀体系，结合旋转腐蚀工艺，有效对频率片进行腐蚀，腐蚀速度提高到0.3μm/min，远高于现有0.18μm/min，腐蚀后的频率片频率偏差范围从±50KHz下降到±10KHz。
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公开(公告)号：CN104242868A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410247050.X
申请日：2014-06-05
申请人： 硅谷实验室公司
CPC分类号： H02N1/00 , B81B3/0081 , H03B5/30 , H03H3/013 , H03H9/02259 , H03H2007/006 , H03H2009/02291 , H03H2009/02385 , H03H2009/0248 , H03H2009/2442 , H03L1/02 , H03L1/04 , Y10T29/49005 , Y10T29/49117
摘要： 一种以减少或消除应变从基板至结构的传递方式机械锚定悬浮电极的MEMS结构的技术将MEMS设备从应变源解耦，悬浮电极以一方式机械锚定，该方式减少或消除应变从基板至结构的传递，或应变至电极和主体的传递以使得变换器为耐应变。该技术包括使用嵌入至传导结构材料中的电绝缘材料以用于机械地耦合和电绝缘。
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