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公开(公告)号：CN115406492B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202211216807.X
申请日：2022-09-30
申请人： 重庆川仪自动化股份有限公司 , 上海核工程研究设计院股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种带有保护电路的热扩散式开关，通过对第一温度采集模块采集流体的第一温度信号作为基准信号，然后通过加热模块对目标区域进行加热，并通过第二温度采集模块采集目标区域的第二温度信号，流体的流速越快，目标区域散热效果越好，第一温度信号与第二温度信号的温差越小；因此利用温差信号与流体速度的对应关系对流体的流速进行测量，当流速下降，导致温差信号的值超过阈值时，通过开关信号输出模块输出开关信号，实现基于流体流量的开关功能。同时，在流速下降时，第二温度信号上升至温度阈值时，利用高温切断模块产生关断信号，使开关模块根据关断信号对加热模块进行关断，避免温度继续上升，从而对热扩散开关进行温度限制保护。
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公开(公告)号：CN118102842A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410508848.9
申请日：2024-04-26
申请人： 无锡芯感智半导体有限公司
摘要： 本发明涉及一种自清洁流量芯片的制作工艺。本发明包括提供衬底；制作支撑结构层；制作铂薄膜层；形成铂热电阻丝层；沉积一层第一氧化硅层；制作上游测温元件热电堆下层热电偶、下游测温元件热电堆下层热电偶以及中心热源；制作上游测温元件热电堆上层热电偶和下游测温元件热电堆上层热电偶；制作连接导线；所述铂热电阻丝层分别形成于靠近上游测温元件热电堆下层热电偶、下游测温元件热电堆下层热电偶各自冷端下方。本发明能够实现对测温元件敏感区的自清洁处理，从而保证下次使用时的精度不受影响。
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公开(公告)号：CN112074729B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201980017370.7
申请日：2019-01-07
申请人： 汉席克卡德应用研究协会 , GS电子医疗设备G.斯坦普有限公司
发明人： 索菲·比亚 , 弗兰克·黑德里希 , 贝恩德·埃尔布雷希特 , 路易·萨尔兰 , 格哈德·卡廷格
IPC分类号： G01N25/18 , G01F1/688 , G01N33/497
摘要： 本发明涉及一种气体传感器，所述气体传感器包括：膜片和加热元件，所述加热元件在膜片上设置在膜片的第一中断区域与膜片的第二中断区域之间。膜片的第一中断区域具有膜片的至少一个中断部，并且膜片的第二中断区域具有膜片的至少一个中断部。气体传感器还包括：第一温度传感器结构，所述第一温度传感器结构至少部分地在膜片上设置在膜片的第一中断区域的与加热元件相反的一侧上；以及第二温度传感器结构，所述第二温度传感器结构至少部分地在膜片上设置在膜片的第二中断区域的与加热元件相反的一侧上。
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公开(公告)号：CN117029943A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310811943.1
申请日：2023-07-04
申请人： 上海市园林科学规划研究院
摘要： 本申请提供一种可堆叠式树木液流测量仪，包括硬件组件和软件组件，硬件组件包括主机、多个从机、多个包裹式液流传感器、土壤传感器、气象站和电源；主机与从机、电池、土壤传感器、气象站相连接；从机与从机之间通过上下堆叠的形式相互连接、每个从机可连两个液流传感器。本发明可有效防止热量流失，还可以直接测量茎杆直径并换算出茎杆的横截面面积，为使用者提供了很大的自由度和灵活度。既节省数据采集和数据通信成本，使电量分配最优，延长野外测量时间，还方便数据进行统一管理，便于液流数据与环境数据进行时空相关性分析。
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公开(公告)号：CN116907593A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310786142.4
申请日：2023-06-29
申请人： 西安西热锅炉环保工程有限公司
IPC分类号： G01F1/688 , G01K11/3206
摘要： 本发明公开了一种准分布式光纤多点热线流量测量装置及方法，包括温度主机、工控主机及测温光纤；测温光纤的一端放置在受测空间内，温度主机与测温光纤的另一端相连接，温度主机的输出端与工控主机的输入端相连接，测温光纤上设置有若干恒功率加热器，测温光纤上的不同位置处均设置有温度测点对，其中一个温度测点对对应一个恒功率加热器，所述恒功率加热器位于对应温度测点对中一个温度测点处，一个温度测点对及其对应的恒功率加热器构成一个点测速部件，该装置能够较为准确的测量烟道中的烟气流速分布和被测空间的烟气流量，且结构较为简单。
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公开(公告)号：CN116558589A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310650836.5
申请日：2020-04-20
申请人： 霍尼韦尔国际公司
发明人： 罗伯特.西嘉石 , 斯科特.爱德华.贝克 , 王勇发 , 伊恩.本特利 , 比尔.胡佛
IPC分类号： G01F1/688
摘要： 本发明题为“基于热电堆的流量感测设备”。本文公开了使用基于热电堆的流量感测设备感测流体的流量的示例系统、装置和方法。示例装置包括流量感测设备，该流量感测设备包括具有中心线的加热结构。流量感测设备可以进一步包括热电堆。热电堆的至少一部分可以设置在加热结构上。热电堆可以包括第一热电偶，该第一热电偶具有设置在加热结构的中心线上游的第一热电偶结。热电堆可以进一步包括第二热电偶，该第二热电偶具有设置在加热结构的中心线下游的第二热电偶结。
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公开(公告)号：CN116465467A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310553678.1
申请日：2017-06-22
申请人： 哈希公司
摘要： 实施方案提供了一种装置，所述装置包括：包括基体和盖子的盒；位于盒的基体和盖子之间的至少一个流体管线；位于基体或盖子上并且与至少一个流体管线紧密接触地对齐的至少一个加热元件；与至少一个流体管线紧密接触的至少一个热传感元件，其中所述至少一个热传感元件与所述至少一个加热元件在下游间隔开；向所述盒供电的电源；以及与所述盒电连通的处理器，所述处理器执行指令程序以：操作所述至少一个加热元件在第一位置处产生对所述至少一个流体管线的加热；并且操作所述至少一个热传感元件在所述第一位置下游的位置处检测在所述至少一个流体管线内的流体的热量。描述并要求保护其他实施方案。
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公开(公告)号：CN115790750A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202210462540.6
申请日：2022-04-28
申请人： 苏州司南传感科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种红外检测MEMS流量传感器，包含红外辐射单元和红外接收单元；所述红外辐射单元包括悬臂设置在管道内且呈空心结构的细软支架、悬挂在细软支架头部的加热电阻、附着在加热电阻上用于向外辐射红外波的黑体、设置在管道外的电压源、两条穿过细软支架用于连接电压源和加热电阻的导线；所述红外接收单元为MEMS红外热电堆传感器阵列，且接收端正对黑体，用于吸收黑体辐射出的红外波，并转化为直流电压；本发明中用于释放红外辐射的黑体位于管道内部，而用于检测流体流速的MEMS红外热电堆传感器阵列位于管道外部，在工作时其受环境干扰小、热污染低，具有更高的准确度，且对防水、密封性要求低，具有成本低、安装方便等优点。
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公开(公告)号：CN115420341A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211381726.5
申请日：2022-11-07
申请人： 东南大学
摘要： 本发明公开了一种背面接触型MEMS热式流量传感器及制备方法，该传感器包括导热衬底（100）、隔热衬底（200）、加热电阻（101）、测温热电堆（300）。其中加热电阻对称设计在传感器中间位置，其两侧相同距离处对称分布两个测温热电堆。本发明采用硅衬底与玻璃晶圆的阳极键合工艺以及高温热回流工艺生成的隔热衬底，可以提供加热元件和测温元件之间良好的热隔离，降低传感器因为横向热传导损耗的功率。高热导率导热衬底的使用可以提高流体与芯片表面的热交换效率，提高了器件的灵敏度与最大量程。
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公开(公告)号：CN115280113A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202080097935.X
申请日：2020-12-15
申请人： MMI半导体有限公司
摘要： 热电堆型传感器具备热电堆，该热电堆是由多晶硅和金属膜构成的热电偶在绝缘膜上串联连结而成，在各个对中，金属膜以重叠的方式连接在多晶硅上，各个对隔开规定的间隙排列配置，并且在对和对的连接部分中，金属膜横穿多晶硅和多晶硅之间的间隙，金属膜横穿的部分的多晶硅彼此的间隔比其以外的部分的多晶硅彼此的间隔宽。
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