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公开(公告)号：CN119586327A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202380054512.3
申请日：2023-07-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明的等离子体处理装置包括腔室、基板支承部、高频电源和偏置电源。基板支承部具有偏置电极，设置在腔室内。高频电源构成为为了在腔室内生成等离子体而产生源高频功率。偏置电源构成为向偏置电极周期性地供给具有波形周期的电偏置。高频电源构成为将波形周期中的多个相位期间各自的源高频功率的源频率设定为对先行的波形周期内的同一相位期间的源频率加上用于抑制源高频功率的反射的程度的频率偏移量和随机噪声而得到的频率。
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公开(公告)号：CN119582808A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411560574.4
申请日：2024-11-04
Applicant: 中国原子能科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种用于脉冲高频电离装置的双频驱动装置，该双频驱动装置用于为第三方可调双频矢量阻抗匹配装置提供待放大的双频信号，该待放大的双频信号内禀有双频的频率、幅度和时延特征；该双频驱动装置的双频频率控制信号、双频幅度控制信号、正/余弦信号、已调信号均为位宽一定的数字信号；本发明通过将双频驱动装置和第三方的功率放大器+可调双频矢量阻抗匹配装置相结合，用双频驱动装置的一个频率实现负载端的高产额等离子体；再用双频驱动装置的另一个频率实现负载端的冷启动点火功能和维持等离子体存续功能，解决了单一频率的脉冲高频电离方法不能同时兼顾特定频率功率需求和脉冲高频电离装置冷启动打火和打火维持阶段功率需求的问题。
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公开(公告)号：CN118973069B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411454775.6
申请日：2024-10-17
Applicant: 华硼中子科技(杭州)有限公司
Abstract: 本申请涉及一种射频四极场加速器及加速装置。所述射频四极场加速器包括电极。沿质子传输方向，所述电极为一体式结构，包括常规部和延长部；所述延长部包括一个或多个聚束单元，聚束单元带有负同步相位，通过设置聚束单元的长度、数量和同步相位调节所述射频四极场加速器的聚束能力；所述聚束单元的孔径和调制系数与前一单元的孔径和调制系数相同，所述前一单元为常规部或聚束单元。本申请的射频四极场加速器的电极使得束流在经由常规部加速后通过延长部的位置，而延长部的同步相位能够进行粒子的聚束。这提高了射频四极场加速器的聚束能力。延长部靠近出口端设置，因此离开出口端的束流在延长部的作用下保持较小的束流发散度进入下一粒子进程。
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公开(公告)号：CN110519903B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN201910747525.4
申请日：2019-08-14
Applicant: 成都金创立科技有限责任公司
Inventor： 李裔红
Abstract: 空气筒状等离子发生器间隙结构,阴阳极为设在中下端的中空筒状体,间隙在两极连接处。间隙处设气环柱体:其内设W条斜导气通孔；同时设W组间隙竖向进水管,两者周向间隔均布。间隙引弧,且实现了导水、导气、定位等功能,满足筒状阴阳极总体设计的需求。电弧在两筒内壁移动,受热面大大增大,受水直接冷却的筒壁温度低,电极不易烧坏,而喷出电弧温度高达3000度；满足高温处理长寿命的需求。水冷系统是从上端进水管、阴极螺旋水道、间隙进水管、阳极螺旋水道、下回水槽,再反向经环状出水道和出水管排出。两螺旋水道和两次冷却热交换面很大,冷却效果极优化。本发明不仅解决现有惰性气体材料昂贵、成本高、结构寿命短、难维护,且解决了高温处理长寿命的问题,特别是工业危险废物的处理。
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公开(公告)号：CN119375594B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411922709.7
申请日：2024-12-25
Applicant: 山东协和学院 , 国科瀚升智能科技(深圳)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种脉冲式电磁推力器性能检测系统及分析方法，采用直流电源、点火触发控制器、脉冲电流检测器、脉冲高压检测器、放电波形采集器、脉冲式电磁推力器、极板电感强度测量装置、推力器冲量测量装置和等离子体运动速度测量装置。极板电感强度测量装置用于测量脉冲式电磁推力器在不同极板构型下极板放电通道的电感梯度；推力器冲量测量装置位于脉冲式电磁推力器下方，用于获取脉冲式电磁推力器放电工作时推力器输出冲量值；等离子体运动速度测量装置设于脉冲式电磁推力器喷口前端，用于测量脉冲式电磁推力器喷射出的等离子体羽流的运动速度。本发明实现了对脉冲式电磁推力器宏观性能参数的测量的同时能够实现对推力器微观特性的定量表征。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118201184B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202410298440.3
申请日：2024-03-15
Applicant: 南方科技大学
IPC: H05H3/02
Abstract: 本申请提供了一种原子束速度控制系统、方法、设备及介质，属于原子束速度控制技术领域。该系统包括：原子束发生模块用于对目标样品进行原子束生成处理得到第一原子束；速度控制模块用于根据塞曼减速器的目标参数对第一原子束进行速度调节，得到目标原子束；其中，目标原子束的平均速度小于第一原子束的平均速度，目标参数用于表征塞曼减速器进行速度调节时对应设定的多个参数。本申请实施例能够实现对原子束在大范围的速度调控，可广泛应用于相关的物理化学反应的研究中。
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公开(公告)号：CN113438793B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202110548970.5
申请日：2021-05-20
Applicant: 安徽中科大禹科技有限公司
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明属于等离子体设备技术领域，具体的说是一种用于细胞培养板的介质阻挡放电等离子体设备，包括介质阻挡放电等离子体设备本体；所述介质阻挡放电等离子体设备本体的底部设置有底座；所述底座内设置有升降机构；所述升降机构包括支撑板、二号杆和凸轮；所述底座的顶部开设有一号凹槽；所述支撑板固接在介质阻挡放电等离子体设备本体的底部，且支撑板与一号凹槽内壁滑动连接；所述一号杆转动连接在一号凹槽的内壁；所述一号杆的一端贯穿底座的侧壁，且固接有L形杆；所述凸轮套设于二号杆并且与二号杆固接；能够调节介质阻挡放电等离子体设备本体所在的高度，使得本设备适应不同身高的人群。
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公开(公告)号：CN119542099A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411610581.0
申请日：2024-11-12
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: H01J37/147 , H05H3/06
Abstract: 本发明公开了一种用于中性束注入的紧凑型磁偏转系统，包括：铁轭组件、两个结构相同的磁体组件和磁体防护组件；铁轭组件为矩形框架结构，构成一个完整的磁回路，两个磁体组件相对设置在铁轭组件内，中间留有通道；磁体防护组件包围两个磁体组件；其中，磁体组件包括：励磁线圈盒、铁芯和通电线圈；励磁线圈盒内回字形设置两个空间槽，铁芯位于处于内层的空间槽内，通电线圈处于外层的空间槽内，以及通电线圈的首尾端同方向从励磁线圈盒的侧边伸出；通过改变通电线圈的电流或者线圈匝数，以使带电离子灵活地偏转出原束线通道。本发明可以有效滤除混合带电离子束流，实现纯化中性束注入。
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公开(公告)号：CN119532150A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411664106.1
申请日：2024-11-20
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明属于航天推进技术领域，涉及一种自中和微波离子推力器及其工作方法。该推力器包括经腔体连接通道连通的放电腔体A和放电腔体B，放电腔体A、微波接头与正电荷粒子引出系统形成放电室A，放电腔体B、微波接头与负电荷粒子引出系统包围形成放电室B；在放电腔体的腔体连接通道一侧无永磁体，两个永磁体阵列提供的磁场磁极方向相反，使腔体连接通道内部形成连通的磁感线。两个放电腔体之间连通的磁感线引导带电粒子运动，使两个放电腔体内部的等离子体连通，进行电荷交换，维持准电中性，为推力器下游实现羽流中和提供内部条件。通过施加直流偏置电压，正电荷粒子引出系统引出正电荷粒子，负电荷粒子引出系统引出负电荷粒子，实现羽流中和。
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公开(公告)号：CN119522475A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202380052520.4
申请日：2023-07-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/683 , H05H1/46
Abstract: 本发明的监视方法包括：确定向在腔室内设置于基片支承部内的多个分区的加热器提供了的第一电功率的步骤。第一电功率是在腔室内生成等离子体且各分区由设置于其中的加热器控制为一定温度时的电功率。监视方法还包括：确定向各分区去的来自等离子体的热通量的步骤。向各分区去的来自等离子体的热通量，通过将向设置于各分区的加热器提供的第二电功率与第一电功率之差除以各分区的面积而得到。向各分区提供的第二电功率是在腔室内没有生成等离子体且各分区由设置于其中的加热器控制为一定温度时向加热器提供的电功率。
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